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江門(mén)市江海區(qū)、焦作市解放區(qū)、贛州市于都縣、廣西百色市平果市、紅河紅河縣、蘇州市姑蘇區(qū)、甘孜瀘定縣、重慶市長(zhǎng)壽區(qū)
撫順市新賓滿(mǎn)族自治縣、鞍山市臺(tái)安縣、雞西市恒山區(qū)、三明市尤溪縣、濰坊市濰城區(qū)、長(zhǎng)春市綠園區(qū)
衡陽(yáng)市衡東縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市和林格爾縣、撫順市清原滿(mǎn)族自治縣、畢節(jié)市織金縣、丹東市振安區(qū)、荊門(mén)市東寶區(qū)、佳木斯市郊區(qū)、廣州市天河區(qū)
澄邁縣老城鎮(zhèn)、蚌埠市蚌山區(qū)、廣西崇左市扶綏縣、岳陽(yáng)市云溪區(qū)、南京市溧水區(qū)、撫順市新?lián)釁^(qū)、北京市延慶區(qū)、周口市商水縣、西安市新城區(qū)、福州市鼓樓區(qū)
煙臺(tái)市福山區(qū)、保山市昌寧縣、銅仁市碧江區(qū)、牡丹江市林口縣、聊城市茌平區(qū)、臨沂市平邑縣、菏澤市巨野縣
內(nèi)蒙古呼倫貝爾市阿榮旗、長(zhǎng)治市沁源縣、寧波市寧?？h、煙臺(tái)市牟平區(qū)、德宏傣族景頗族自治州瑞麗市、濰坊市壽光市、保山市施甸縣、阜陽(yáng)市潁上縣
內(nèi)蒙古包頭市石拐區(qū)、深圳市寶安區(qū)、清遠(yuǎn)市連山壯族瑤族自治縣、青島市即墨區(qū)、本溪市桓仁滿(mǎn)族自治縣、肇慶市鼎湖區(qū)、佳木斯市樺川縣
佳木斯市東風(fēng)區(qū)、廣西桂林市荔浦市、重慶市大足區(qū)、十堰市竹山縣、齊齊哈爾市泰來(lái)縣、池州市石臺(tái)縣、遵義市播州區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市東勝區(qū)
大連市中山區(qū)、平頂山市郟縣、安康市白河縣、廣西梧州市龍圩區(qū)、曲靖市陸良縣、怒江傈僳族自治州福貢縣、池州市貴池區(qū)、大同市渾源縣、廣西桂林市荔浦市
內(nèi)蒙古赤峰市元寶山區(qū)、廣西南寧市賓陽(yáng)縣、十堰市鄖陽(yáng)區(qū)、阿壩藏族羌族自治州松潘縣、臺(tái)州市溫嶺市
廣西來(lái)賓市金秀瑤族自治縣、鶴崗市南山區(qū)、晉中市太谷區(qū)、金華市金東區(qū)、大同市云岡區(qū)、綏化市綏棱縣、黔南荔波縣
吉安市吉安縣、南充市閬中市、張家界市慈利縣、懷化市溆浦縣、咸陽(yáng)市楊陵區(qū)、寧夏中衛(wèi)市中寧縣、楚雄雙柏縣、三門(mén)峽市陜州區(qū)
泰安市肥城市、滁州市南譙區(qū)、南陽(yáng)市鄧州市、普洱市寧洱哈尼族彝族自治縣、雅安市滎經(jīng)縣、長(zhǎng)治市沁縣、龍巖市永定區(qū)、松原市長(zhǎng)嶺縣、屯昌縣新興鎮(zhèn)、六盤(pán)水市鐘山區(qū)
榆林市神木市、梅州市蕉嶺縣、汕頭市金平區(qū)、大連市瓦房店市、宿遷市泗陽(yáng)縣、綏化市蘭西縣、楚雄姚安縣、忻州市定襄縣、萬(wàn)寧市大茂鎮(zhèn)
泰安市東平縣、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼中旗、伊春市大箐山縣、哈爾濱市松北區(qū)、廣西來(lái)賓市合山市、南通市海門(mén)區(qū)
阿壩藏族羌族自治州松潘縣、昭通市鎮(zhèn)雄縣、西寧市城中區(qū)、信陽(yáng)市浉河區(qū)、成都市新都區(qū)、廣西南寧市邕寧區(qū)、淄博市淄川區(qū)、長(zhǎng)春市德惠市、牡丹江市西安區(qū)
撫州市樂(lè)安縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市五原縣、泉州市晉江市、廣西梧州市藤縣、莆田市仙游縣
畢節(jié)市織金縣、荊州市石首市、紹興市新昌縣、臨沂市沂南縣、雞西市梨樹(shù)區(qū)、九江市彭澤縣、漢中市漢臺(tái)區(qū)、韶關(guān)市南雄市、永州市零陵區(qū)
松原市乾安縣、湖州市安吉縣、阿壩藏族羌族自治州松潘縣、萍鄉(xiāng)市湘東區(qū)、酒泉市金塔縣、深圳市福田區(qū)、黔東南丹寨縣、馬鞍山市雨山區(qū)、青島市市北區(qū)
鞍山市臺(tái)安縣、廣州市黃埔區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市玉泉區(qū)、天津市河西區(qū)、懷化市洪江市、廣州市從化區(qū)、福州市臺(tái)江區(qū)、吉安市萬(wàn)安縣、益陽(yáng)市資陽(yáng)區(qū)
沈陽(yáng)市沈北新區(qū)、渭南市大荔縣、內(nèi)蒙古赤峰市松山區(qū)、定西市臨洮縣、長(zhǎng)沙市岳麓區(qū)、重慶市江北區(qū)、廣西欽州市欽南區(qū)、紅河金平苗族瑤族傣族自治縣、酒泉市阿克塞哈薩克族自治縣
廣西來(lái)賓市忻城縣、淄博市周村區(qū)、齊齊哈爾市甘南縣、遵義市仁懷市、金華市磐安縣、荊州市公安縣
臨汾市洪洞縣、廣西柳州市魚(yú)峰區(qū)、中山市古鎮(zhèn)鎮(zhèn)、聊城市茌平區(qū)、銅陵市銅官區(qū)、嘉興市海寧市、武漢市江岸區(qū)、漳州市詔安縣、溫州市蒼南縣、玉溪市新平彝族傣族自治縣
福州市平潭縣、漳州市龍海區(qū)、焦作市解放區(qū)、臺(tái)州市臨海市、綏化市蘭西縣、永州市冷水灘區(qū)、常州市溧陽(yáng)市、南京市棲霞區(qū)、麗水市蓮都區(qū)、南京市建鄴區(qū)
贛州市信豐縣、鹽城市鹽都區(qū)、黑河市愛(ài)輝區(qū)、北京市懷柔區(qū)、濟(jì)南市天橋區(qū)、廣西柳州市柳城縣、駐馬店市驛城區(qū)、酒泉市金塔縣
宜春市上高縣、馬鞍山市雨山區(qū)、九江市柴桑區(qū)、衡陽(yáng)市珠暉區(qū)、泰安市新泰市、紅河金平苗族瑤族傣族自治縣、九江市瑞昌市、咸寧市崇陽(yáng)縣、長(zhǎng)治市屯留區(qū)、無(wú)錫市錫山區(qū)
雅安市寶興縣、漢中市西鄉(xiāng)縣、紅河個(gè)舊市、長(zhǎng)沙市天心區(qū)、忻州市保德縣、襄陽(yáng)市樊城區(qū)
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廣西玉林市北流市、平頂山市魯山縣、果洛達(dá)日縣、湘西州保靖縣、甘孜瀘定縣、廣元市劍閣縣、合肥市廬江縣、廣西貴港市覃塘區(qū)
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商洛市柞水縣、三沙市南沙區(qū)、朝陽(yáng)市朝陽(yáng)縣、滁州市鳳陽(yáng)縣、晉城市高平市、景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)、黔東南錦屏縣
贛州市信豐縣、通化市輝南縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎賚諾爾區(qū)、雅安市雨城區(qū)、長(zhǎng)春市朝陽(yáng)區(qū)、重慶市大渡口區(qū)、泰州市泰興市、丹東市元寶區(qū)、陵水黎族自治縣文羅鎮(zhèn)、阜陽(yáng)市太和縣
大連市金州區(qū)、畢節(jié)市赫章縣、漢中市漢臺(tái)區(qū)、西安市臨潼區(qū)、瓊海市大路鎮(zhèn)、綏化市蘭西縣
貴陽(yáng)市修文縣、齊齊哈爾市泰來(lái)縣、廣西南寧市賓陽(yáng)縣、長(zhǎng)春市朝陽(yáng)區(qū)、昆明市尋甸回族彝族自治縣、鶴壁市鶴山區(qū)、臨高縣加來(lái)鎮(zhèn)
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無(wú)錫市宜興市、撫順市順城區(qū)、哈爾濱市延壽縣、大理洱源縣、天水市武山縣、肇慶市高要區(qū)、三亞市海棠區(qū)、洛陽(yáng)市洛寧縣、許昌市鄢陵縣
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牡丹江市愛(ài)民區(qū)、贛州市崇義縣、儋州市大成鎮(zhèn)、廣西欽州市浦北縣、淄博市淄川區(qū)
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重慶市彭水苗族土家族自治縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市準(zhǔn)格爾旗、徐州市賈汪區(qū)、東莞市中堂鎮(zhèn)、白山市臨江市、汕頭市潮陽(yáng)區(qū)、西寧市城西區(qū)、果洛瑪沁縣、白沙黎族自治縣元門(mén)鄉(xiāng)
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宿遷市宿城區(qū)、運(yùn)城市垣曲縣、長(zhǎng)沙市長(zhǎng)沙縣、銅仁市萬(wàn)山區(qū)、臺(tái)州市三門(mén)縣、常州市新北區(qū)、南京市鼓樓區(qū)、銅仁市印江縣
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開(kāi)發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開(kāi)展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶(hù)有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷(xiāo)售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專(zhuān)注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線(xiàn)中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線(xiàn)，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷(xiāo)售收入4.64億元、封測(cè)銷(xiāo)售收入1.48億元、材料銷(xiāo)售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷(xiāo)售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開(kāi)源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車(chē)廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶(hù)和目標(biāo)客戶(hù)中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門(mén)檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶(hù)會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜。”黃道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車(chē)用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車(chē)用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開(kāi)發(fā)。
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