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邵陽(yáng)市城步苗族自治縣、荊州市松滋市、宣城市郎溪縣、阜新市細(xì)河區(qū)、昭通市大關(guān)縣、內(nèi)蒙古烏海市烏達(dá)區(qū)、佳木斯市湯原縣、佳木斯市樺南縣、貴陽(yáng)市開陽(yáng)縣
果洛瑪沁縣、三明市三元區(qū)、安陽(yáng)市龍安區(qū)、韶關(guān)市湞江區(qū)、永州市冷水灘區(qū)、成都市溫江區(qū)、廣西桂林市荔浦市、黔東南從江縣、雅安市名山區(qū)、哈爾濱市香坊區(qū)
太原市婁煩縣、定西市臨洮縣、龍巖市新羅區(qū)、大連市西崗區(qū)、黔東南黎平縣
重慶市璧山區(qū)、五指山市南圣、廣西柳州市城中區(qū)、撫州市樂(lè)安縣、開封市龍亭區(qū)、菏澤市巨野縣、長(zhǎng)治市潞城區(qū)、廣西貴港市港北區(qū)、寧波市寧?？h、遂寧市大英縣
溫州市洞頭區(qū)、蘇州市虎丘區(qū)、衡陽(yáng)市常寧市、成都市武侯區(qū)、鄂州市華容區(qū)
大連市莊河市、四平市伊通滿族自治縣、青島市即墨區(qū)、黃石市陽(yáng)新縣、遼陽(yáng)市宏偉區(qū)、大理彌渡縣、洛陽(yáng)市宜陽(yáng)縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市準(zhǔn)格爾旗、鎮(zhèn)江市潤(rùn)州區(qū)
內(nèi)蒙古興安盟阿爾山市、蘇州市姑蘇區(qū)、屯昌縣楓木鎮(zhèn)、東營(yíng)市廣饒縣、德州市武城縣、南平市武夷山市、平頂山市魯山縣、淮南市鳳臺(tái)縣、新鄉(xiāng)市獲嘉縣
廣西貴港市港北區(qū)、樂(lè)東黎族自治縣尖峰鎮(zhèn)、宜昌市當(dāng)陽(yáng)市、揭陽(yáng)市揭西縣、通化市東昌區(qū)
淄博市沂源縣、許昌市襄城縣、湘潭市岳塘區(qū)、遂寧市船山區(qū)、焦作市博愛(ài)縣、五指山市毛道
煙臺(tái)市牟平區(qū)、樂(lè)東黎族自治縣千家鎮(zhèn)、漳州市長(zhǎng)泰區(qū)、南通市如皋市、西安市新城區(qū)、廣西柳州市魚峰區(qū)、樂(lè)東黎族自治縣大安鎮(zhèn)、洛陽(yáng)市欒川縣
宜春市奉新縣、平?jīng)鍪嗅轻紖^(qū)、無(wú)錫市新吳區(qū)、泰安市岱岳區(qū)、松原市扶余市、大慶市紅崗區(qū)、宿州市蕭縣、許昌市鄢陵縣
白城市鎮(zhèn)賚縣、沈陽(yáng)市和平區(qū)、重慶市酉陽(yáng)縣、臨沂市蘭山區(qū)、南陽(yáng)市宛城區(qū)、榆林市佳縣
佛山市三水區(qū)、南昌市南昌縣、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼前旗、鞍山市千山區(qū)、廣西桂林市資源縣、杭州市臨安區(qū)、新余市分宜縣、莆田市城廂區(qū)、昆明市石林彝族自治縣、文山富寧縣
鶴壁市?？h、廣西桂林市靈川縣、黑河市嫩江市、潮州市潮安區(qū)、聊城市茌平區(qū)、煙臺(tái)市龍口市、珠海市香洲區(qū)
眉山市彭山區(qū)、廣西百色市樂(lè)業(yè)縣、南昌市安義縣、成都市成華區(qū)、自貢市大安區(qū)、亳州市譙城區(qū)、金華市蘭溪市、文昌市昌灑鎮(zhèn)
中山市石岐街道、廣元市青川縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特右旗、襄陽(yáng)市襄州區(qū)、安慶市大觀區(qū)
龍巖市上杭縣、衡陽(yáng)市蒸湘區(qū)、涼山普格縣、白沙黎族自治縣細(xì)水鄉(xiāng)、菏澤市巨野縣、廣西河池市金城江區(qū)、雅安市滎經(jīng)縣
雞西市麻山區(qū)、黔東南錦屏縣、廣西崇左市龍州縣、銅仁市石阡縣、銅仁市松桃苗族自治縣、文昌市公坡鎮(zhèn)、隴南市成縣、朝陽(yáng)市朝陽(yáng)縣、朔州市懷仁市、大興安嶺地區(qū)塔河縣
天津市紅橋區(qū)、昆明市盤龍區(qū)、德宏傣族景頗族自治州梁河縣、孝感市漢川市、九江市永修縣、三沙市南沙區(qū)、棗莊市嶧城區(qū)、東莞市樟木頭鎮(zhèn)
金華市武義縣、佛山市順德區(qū)、定西市岷縣、楚雄牟定縣、澄邁縣金江鎮(zhèn)
中山市南區(qū)街道、梅州市大埔縣、濮陽(yáng)市臺(tái)前縣、溫州市泰順縣、張掖市肅南裕固族自治縣、衡陽(yáng)市衡南縣、咸寧市赤壁市、南昌市南昌縣、中山市中山港街道、昆明市石林彝族自治縣
宜昌市當(dāng)陽(yáng)市、宜昌市西陵區(qū)、宜春市樟樹市、阿壩藏族羌族自治州金川縣、金華市義烏市、洛陽(yáng)市嵩縣
長(zhǎng)治市壺關(guān)縣、廣西河池市金城江區(qū)、楚雄姚安縣、吉安市廬陵新區(qū)、平?jīng)鍪袥艽h、呂梁市石樓縣
黃南同仁市、寶雞市金臺(tái)區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市陳巴爾虎旗、牡丹江市西安區(qū)、濰坊市高密市、德陽(yáng)市什邡市、瀘州市江陽(yáng)區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市準(zhǔn)格爾旗
洛陽(yáng)市瀍河回族區(qū)、佛山市禪城區(qū)、淮安市淮安區(qū)、煙臺(tái)市棲霞市、洛陽(yáng)市孟津區(qū)、海北剛察縣、白銀市平川區(qū)、鷹潭市月湖區(qū)
宜賓市江安縣、達(dá)州市渠縣、遵義市仁懷市、陽(yáng)江市陽(yáng)春市、廣西柳州市柳南區(qū)、伊春市伊美區(qū)、汕頭市金平區(qū)
屯昌縣屯城鎮(zhèn)、佳木斯市撫遠(yuǎn)市、瓊海市陽(yáng)江鎮(zhèn)、江門市恩平市、菏澤市鄆城縣、玉溪市通?？h、樂(lè)東黎族自治縣利國(guó)鎮(zhèn)、鹽城市東臺(tái)市、甘孜稻城縣
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長(zhǎng)治市武鄉(xiāng)縣、阜新市新邱區(qū)、昭通市威信縣、杭州市桐廬縣、西雙版納勐臘縣、駐馬店市遂平縣、臨沂市費(fèi)縣、甘孜巴塘縣
金華市永康市、大連市中山區(qū)、定安縣新竹鎮(zhèn)、東莞市寮步鎮(zhèn)、郴州市桂東縣、棗莊市山亭區(qū)、郴州市嘉禾縣、南陽(yáng)市內(nèi)鄉(xiāng)縣、溫州市龍港市
贛州市于都縣、臨夏和政縣、湛江市雷州市、黔西南普安縣、遵義市播州區(qū)、呂梁市文水縣
廣西桂林市資源縣、涼山會(huì)理市、肇慶市封開縣、內(nèi)蒙古通遼市扎魯特旗、渭南市澄城縣、畢節(jié)市黔西市、懷化市洪江市
泉州市南安市、臨沂市沂南縣、萬(wàn)寧市三更羅鎮(zhèn)、濰坊市濰城區(qū)、成都市大邑縣、黔西南晴隆縣、廣西河池市金城江區(qū)、上海市嘉定區(qū)
南平市松溪縣、萬(wàn)寧市東澳鎮(zhèn)、定西市臨洮縣、遼陽(yáng)市弓長(zhǎng)嶺區(qū)、商丘市柘城縣
廣西梧州市岑溪市、昆明市盤龍區(qū)、瀘州市古藺縣、日照市東港區(qū)、咸寧市赤壁市、文昌市馮坡鎮(zhèn)、屯昌縣南呂鎮(zhèn)、隴南市康縣
哈爾濱市延壽縣、安康市石泉縣、汕頭市金平區(qū)、昌江黎族自治縣十月田鎮(zhèn)、鐵嶺市清河區(qū)、衢州市開化縣
屯昌縣屯城鎮(zhèn)、菏澤市定陶區(qū)、荊門市鐘祥市、眉山市仁壽縣、運(yùn)城市臨猗縣、榆林市米脂縣、隴南市西和縣
酒泉市玉門市、北京市海淀區(qū)、宜昌市興山縣、沈陽(yáng)市遼中區(qū)、焦作市山陽(yáng)區(qū)、邵陽(yáng)市大祥區(qū)、濟(jì)南市市中區(qū)、寧德市壽寧縣、漯河市臨潁縣
長(zhǎng)春市綠園區(qū)、鶴壁市淇濱區(qū)、南京市建鄴區(qū)、佳木斯市同江市、畢節(jié)市納雍縣、白沙黎族自治縣邦溪鎮(zhèn)、南京市雨花臺(tái)區(qū)、撫州市南豐縣
安慶市望江縣、株洲市淥口區(qū)、澄邁縣加樂(lè)鎮(zhèn)、隴南市徽縣、寶雞市金臺(tái)區(qū)、阜陽(yáng)市潁州區(qū)、麗江市寧蒗彝族自治縣、襄陽(yáng)市南漳縣、惠州市博羅縣、鹽城市大豐區(qū)
岳陽(yáng)市平江縣、青島市李滄區(qū)、淮安市金湖縣、長(zhǎng)沙市開福區(qū)、黃石市黃石港區(qū)
潮州市潮安區(qū)、廣西百色市隆林各族自治縣、銅陵市郊區(qū)、廣西桂林市資源縣、昆明市石林彝族自治縣、天津市靜海區(qū)、臨沂市羅莊區(qū)
齊齊哈爾市富?？h、北京市豐臺(tái)區(qū)、中山市大涌鎮(zhèn)、涼山德昌縣、上饒市鉛山縣、宣城市廣德市、武漢市蔡甸區(qū)、長(zhǎng)沙市雨花區(qū)、西寧市大通回族土族自治縣、銅仁市沿河土家族自治縣
贛州市南康區(qū)、三亞市海棠區(qū)、蚌埠市蚌山區(qū)、宜昌市伍家崗區(qū)、焦作市孟州市、濱州市沾化區(qū)、株洲市荷塘區(qū)
攀枝花市鹽邊縣、寶雞市千陽(yáng)縣、淄博市桓臺(tái)縣、荊州市洪湖市、德州市陵城區(qū)、紹興市柯橋區(qū)、長(zhǎng)春市九臺(tái)區(qū)
武威市涼州區(qū)、文昌市潭牛鎮(zhèn)、昌江黎族自治縣叉河鎮(zhèn)、南平市建陽(yáng)區(qū)、咸陽(yáng)市興平市
哈爾濱市延壽縣、畢節(jié)市織金縣、九江市彭澤縣、焦作市溫縣、天津市西青區(qū)、大理劍川縣、蘭州市安寧區(qū)
朝陽(yáng)市雙塔區(qū)、南昌市南昌縣、運(yùn)城市稷山縣、海西蒙古族烏蘭縣、馬鞍山市和縣、東營(yíng)市廣饒縣、吉安市安福縣、阿壩藏族羌族自治州阿壩縣
三明市三元區(qū)、宜賓市敘州區(qū)、洛陽(yáng)市汝陽(yáng)縣、樂(lè)山市馬邊彝族自治縣、上海市楊浦區(qū)、臨汾市翼城縣、福州市臺(tái)江區(qū)、澄邁縣文儒鎮(zhèn)
隴南市康縣、信陽(yáng)市平橋區(qū)、南平市光澤縣、保山市施甸縣、東莞市鳳崗鎮(zhèn)、西寧市湟源縣
黃石市陽(yáng)新縣、開封市順河回族區(qū)、海西蒙古族天峻縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特后旗、宜春市豐城市、重慶市銅梁區(qū)
內(nèi)蒙古赤峰市巴林右旗、煙臺(tái)市招遠(yuǎn)市、濰坊市坊子區(qū)、屯昌縣南呂鎮(zhèn)、松原市寧江區(qū)、阜新市清河門區(qū)、綏化市北林區(qū)
廈門市翔安區(qū)、十堰市竹溪縣、內(nèi)蒙古興安盟扎賚特旗、鞍山市臺(tái)安縣、淮北市烈山區(qū)、信陽(yáng)市浉河區(qū)、武漢市東西湖區(qū)、汕尾市城區(qū)、曲靖市羅平縣
文昌市翁田鎮(zhèn)、紅河彌勒市、西安市新城區(qū)、婁底市冷水江市、長(zhǎng)沙市岳麓區(qū)、綿陽(yáng)市平武縣、太原市晉源區(qū)
榆林市綏德縣、濱州市惠民縣、楚雄牟定縣、金華市蘭溪市、定安縣龍門鎮(zhèn)、麗江市古城區(qū)、臨夏東鄉(xiāng)族自治縣、肇慶市鼎湖區(qū)、徐州市云龍區(qū)
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜。”黃道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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