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畢節(jié)市納雍縣、伊春市烏翠區(qū)、雞西市虎林市、蘭州市皋蘭縣、宜賓市敘州區(qū)
武漢市東西湖區(qū)、昌江黎族自治縣叉河鎮(zhèn)、三亞市崖州區(qū)、臨汾市古縣、文昌市重興鎮(zhèn)
三明市將樂縣、新余市分宜縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟正鑲白旗、撫州市樂安縣、北京市朝陽區(qū)、海東市民和回族土族自治縣、昭通市昭陽區(qū)
上海市黃浦區(qū)、天水市麥積區(qū)、廣西南寧市興寧區(qū)、汕頭市潮南區(qū)、吉安市泰和縣、畢節(jié)市織金縣、湘潭市雨湖區(qū)、舟山市普陀區(qū)
長春市二道區(qū)、綏化市安達市、新余市渝水區(qū)、晉中市壽陽縣、南京市六合區(qū)、聊城市莘縣、黃岡市麻城市
肇慶市端州區(qū)、畢節(jié)市大方縣、梅州市大埔縣、遵義市桐梓縣、衢州市常山縣、瓊海市大路鎮(zhèn)、湘潭市岳塘區(qū)
中山市港口鎮(zhèn)、文山麻栗坡縣、周口市鹿邑縣、臺州市溫嶺市、張掖市肅南裕固族自治縣、重慶市巫山縣、宿遷市泗陽縣、儋州市大成鎮(zhèn)、黑河市遜克縣
阜新市海州區(qū)、鄭州市新鄭市、普洱市江城哈尼族彝族自治縣、七臺河市新興區(qū)、紅河紅河縣、駐馬店市確山縣、邵陽市城步苗族自治縣、北京市大興區(qū)、龍巖市連城縣、贛州市南康區(qū)
德州市齊河縣、貴陽市白云區(qū)、屯昌縣屯城鎮(zhèn)、達州市開江縣、蚌埠市龍子湖區(qū)
福州市晉安區(qū)、漢中市寧強縣、廣西貴港市港北區(qū)、江門市臺山市、蕪湖市弋江區(qū)、阿壩藏族羌族自治州汶川縣
萬寧市三更羅鎮(zhèn)、溫州市甌海區(qū)、撫州市南豐縣、張家界市慈利縣、攀枝花市仁和區(qū)、宿州市泗縣、濟寧市鄒城市、大興安嶺地區(qū)塔河縣、哈爾濱市松北區(qū)
新鄉(xiāng)市輝縣市、宿州市埇橋區(qū)、湘潭市湘鄉(xiāng)市、宜昌市興山縣、廣西崇左市寧明縣、遵義市紅花崗區(qū)、廣西賀州市鐘山縣、吉安市新干縣、海東市循化撒拉族自治縣、成都市蒲江縣
東莞市大朗鎮(zhèn)、海北祁連縣、哈爾濱市雙城區(qū)、貴陽市觀山湖區(qū)、遵義市赤水市
齊齊哈爾市鐵鋒區(qū)、常州市金壇區(qū)、白銀市白銀區(qū)、晉城市沁水縣、常州市新北區(qū)、呂梁市興縣、濟南市歷城區(qū)、阿壩藏族羌族自治州松潘縣、三亞市崖州區(qū)
七臺河市茄子河區(qū)、張家界市武陵源區(qū)、南昌市東湖區(qū)、麗江市寧蒗彝族自治縣、達州市開江縣
臨滄市云縣、南充市閬中市、淮南市鳳臺縣、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼前旗、德州市德城區(qū)、達州市萬源市、玉溪市澄江市、成都市新津區(qū)、馬鞍山市和縣
重慶市石柱土家族自治縣、福州市馬尾區(qū)、北京市海淀區(qū)、澄邁縣瑞溪鎮(zhèn)、直轄縣潛江市
蘇州市常熟市、鶴崗市興山區(qū)、太原市尖草坪區(qū)、通化市柳河縣、長沙市岳麓區(qū)、南昌市進賢縣、遵義市正安縣、延安市黃龍縣、綿陽市江油市
大同市平城區(qū)、舟山市嵊泗縣、長治市沁源縣、懷化市鶴城區(qū)、廣西桂林市靈川縣、大理賓川縣、廣西河池市天峨縣
定安縣新竹鎮(zhèn)、儋州市王五鎮(zhèn)、汕頭市南澳縣、呂梁市嵐縣、寧夏吳忠市鹽池縣、鎮(zhèn)江市潤州區(qū)
慶陽市合水縣、五指山市番陽、文昌市文教鎮(zhèn)、撫州市樂安縣、湘西州保靖縣、內(nèi)江市東興區(qū)、廣西梧州市長洲區(qū)、重慶市石柱土家族自治縣
湖州市南潯區(qū)、金華市蘭溪市、忻州市保德縣、廣州市海珠區(qū)、衡陽市衡南縣
安慶市宿松縣、廣元市青川縣、商洛市商州區(qū)、泰州市姜堰區(qū)、西寧市大通回族土族自治縣
溫州市甌海區(qū)、陽泉市盂縣、平?jīng)鍪徐`臺縣、湛江市麻章區(qū)、甘南卓尼縣
大理漾濞彝族自治縣、黃南澤庫縣、長春市雙陽區(qū)、白沙黎族自治縣元門鄉(xiāng)、咸陽市永壽縣、鐵嶺市銀州區(qū)、東莞市茶山鎮(zhèn)、達州市大竹縣
駐馬店市西平縣、永州市新田縣、商洛市鎮(zhèn)安縣、懷化市中方縣、漢中市留壩縣
徐州市睢寧縣、重慶市開州區(qū)、揭陽市惠來縣、廣元市朝天區(qū)、曲靖市麒麟?yún)^(qū)、通化市集安市、四平市鐵西區(qū)、綏化市蘭西縣、文山廣南縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計業(yè)“一業(yè)獨大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗證，并進入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝里，薄膜機、光刻機和刻蝕機是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機的多次刻蝕來實現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實現(xiàn)突破。
一個標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達國際先進水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”，運泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線，填補了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟、人工智能、人形機器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠告訴界面新聞，機器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜?！秉S道遠表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進行開發(fā)。
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