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昭通市大關(guān)縣、臺州市三門縣、畢節(jié)市大方縣、九江市湖口縣、德宏傣族景頗族自治州瑞麗市、澄邁縣金江鎮(zhèn)
肇慶市四會市、朔州市山陰縣、中山市中山港街道、渭南市臨渭區(qū)、黃石市下陸區(qū)、佛山市高明區(qū)、臨高縣調(diào)樓鎮(zhèn)、黔西南望謨縣、天水市張家川回族自治縣、漳州市漳浦縣
重慶市巫山縣、撫州市黎川縣、定西市通渭縣、酒泉市肅州區(qū)、成都市彭州市、白沙黎族自治縣元門鄉(xiāng)、長治市壺關(guān)縣
重慶市城口縣、廣西南寧市青秀區(qū)、廈門市湖里區(qū)、菏澤市成武縣、忻州市代縣
信陽市潢川縣、吉安市吉州區(qū)、臺州市仙居縣、盤錦市興隆臺區(qū)、陵水黎族自治縣群英鄉(xiāng)、濱州市鄒平市、蘭州市安寧區(qū)、文山硯山縣、達(dá)州市大竹縣、揚(yáng)州市邗江區(qū)
惠州市惠城區(qū)、景德鎮(zhèn)市珠山區(qū)、舟山市普陀區(qū)、佳木斯市東風(fēng)區(qū)、漯河市郾城區(qū)、泉州市豐澤區(qū)、徐州市銅山區(qū)
黔東南臺江縣、資陽市雁江區(qū)、中山市坦洲鎮(zhèn)、鞍山市鐵西區(qū)、廣西崇左市寧明縣、宜賓市長寧縣、樂東黎族自治縣黃流鎮(zhèn)、濟(jì)南市槐蔭區(qū)、威海市文登區(qū)
黃山市歙縣、牡丹江市陽明區(qū)、內(nèi)江市隆昌市、信陽市潢川縣、揚(yáng)州市儀征市、迪慶香格里拉市、內(nèi)江市東興區(qū)、宜昌市夷陵區(qū)、東莞市企石鎮(zhèn)、南陽市臥龍區(qū)
齊齊哈爾市建華區(qū)、四平市雙遼市、清遠(yuǎn)市連山壯族瑤族自治縣、漳州市華安縣、定西市隴西縣、呂梁市柳林縣、榆林市靖邊縣、東莞市大嶺山鎮(zhèn)、寧夏銀川市永寧縣、運城市稷山縣
哈爾濱市道里區(qū)、酒泉市玉門市、東莞市茶山鎮(zhèn)、齊齊哈爾市甘南縣、臨沂市蘭陵縣、開封市鼓樓區(qū)
臨夏永靖縣、渭南市澄城縣、荊州市公安縣、蚌埠市蚌山區(qū)、延邊琿春市、大興安嶺地區(qū)新林區(qū)
成都市青羊區(qū)、清遠(yuǎn)市連州市、伊春市友好區(qū)、溫州市永嘉縣、臨滄市鳳慶縣、漳州市平和縣、洛陽市瀍河回族區(qū)、黔南平塘縣
五指山市通什、煙臺市萊山區(qū)、南昌市新建區(qū)、煙臺市龍口市、達(dá)州市大竹縣、襄陽市老河口市、大連市莊河市、濟(jì)南市市中區(qū)、雞西市恒山區(qū)、大同市天鎮(zhèn)縣
宜賓市敘州區(qū)、大慶市肇州縣、貴陽市觀山湖區(qū)、曲靖市羅平縣、廣西崇左市憑祥市、鐵嶺市昌圖縣、德宏傣族景頗族自治州隴川縣、徐州市沛縣、上海市嘉定區(qū)、深圳市光明區(qū)
岳陽市云溪區(qū)、晉中市榆社縣、鄂州市華容區(qū)、陽江市陽東區(qū)、北京市密云區(qū)、齊齊哈爾市龍沙區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市滿洲里市、東方市東河鎮(zhèn)、菏澤市曹縣
周口市淮陽區(qū)、通化市東昌區(qū)、永州市零陵區(qū)、黔南長順縣、合肥市廬陽區(qū)、嘉峪關(guān)市新城鎮(zhèn)、德州市德城區(qū)、南平市政和縣、三明市寧化縣
白銀市靖遠(yuǎn)縣、涼山喜德縣、長治市潞州區(qū)、聊城市臨清市、麗江市寧蒗彝族自治縣
淮安市洪澤區(qū)、酒泉市肅北蒙古族自治縣、咸寧市嘉魚縣、汕頭市濠江區(qū)、定安縣富文鎮(zhèn)
鶴崗市興安區(qū)、沈陽市皇姑區(qū)、樂東黎族自治縣佛羅鎮(zhèn)、樂東黎族自治縣抱由鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古包頭市固陽縣、廣西河池市羅城仫佬族自治縣、本溪市南芬區(qū)、廣西百色市隆林各族自治縣、天津市西青區(qū)、襄陽市襄城區(qū)
涼山西昌市、金華市婺城區(qū)、畢節(jié)市黔西市、海北門源回族自治縣、開封市杞縣
滁州市定遠(yuǎn)縣、金華市永康市、茂名市信宜市、安康市平利縣、太原市陽曲縣、西寧市城西區(qū)、德州市慶云縣、德州市寧津縣、樂東黎族自治縣黃流鎮(zhèn)、牡丹江市陽明區(qū)
澄邁縣中興鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古烏海市烏達(dá)區(qū)、十堰市竹山縣、甘孜稻城縣、漢中市佛坪縣、普洱市寧洱哈尼族彝族自治縣、洛陽市新安縣、北京市大興區(qū)、鎮(zhèn)江市丹徒區(qū)、鶴壁市山城區(qū)
梅州市五華縣、玉溪市峨山彝族自治縣、綿陽市梓潼縣、內(nèi)蒙古烏海市海南區(qū)、開封市龍亭區(qū)、廣西梧州市萬秀區(qū)、葫蘆島市南票區(qū)、延邊龍井市
平?jīng)鍪徐`臺縣、沈陽市和平區(qū)、隴南市武都區(qū)、重慶市武隆區(qū)、沈陽市沈河區(qū)、九江市瑞昌市、阜陽市潁上縣、大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)
衢州市龍游縣、內(nèi)蒙古通遼市奈曼旗、呂梁市汾陽市、天津市寶坻區(qū)、樂山市馬邊彝族自治縣、白城市鎮(zhèn)賚縣、廣西河池市羅城仫佬族自治縣、東莞市石排鎮(zhèn)、蕪湖市鳩江區(qū)
六安市舒城縣、重慶市榮昌區(qū)、天津市薊州區(qū)、哈爾濱市巴彥縣、樂山市馬邊彝族自治縣、昌江黎族自治縣海尾鎮(zhèn)、無錫市新吳區(qū)、煙臺市蓬萊區(qū)、文山丘北縣、南平市邵武市
揚(yáng)州市邗江區(qū)、重慶市巫山縣、福州市平潭縣、漢中市洋縣、三明市大田縣、長治市武鄉(xiāng)縣、廣西玉林市玉州區(qū)、株洲市攸縣
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五指山市番陽、黔南三都水族自治縣、常德市臨澧縣、呂梁市興縣、佛山市禪城區(qū)、溫州市永嘉縣、儋州市海頭鎮(zhèn)、寧波市鄞州區(qū)
永州市新田縣、龍巖市新羅區(qū)、廣西北海市鐵山港區(qū)、內(nèi)蒙古烏海市海勃灣區(qū)、鞍山市千山區(qū)、伊春市伊美區(qū)、隴南市康縣
六安市裕安區(qū)、合肥市巢湖市、宜賓市珙縣、涼山布拖縣、吉林市蛟河市、廣西桂林市永?？h、宜春市銅鼓縣、南京市溧水區(qū)、哈爾濱市道外區(qū)、福州市臺江區(qū)
綿陽市江油市、運城市平陸縣、天水市麥積區(qū)、臺州市玉環(huán)市、商洛市鎮(zhèn)安縣、營口市西市區(qū)、晉中市壽陽縣
呂梁市柳林縣、蘭州市安寧區(qū)、撫順市撫順縣、福州市閩清縣、邵陽市綏寧縣、聊城市冠縣、涼山美姑縣、汕尾市陸河縣
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廣西賀州市八步區(qū)、七臺河市茄子河區(qū)、寧德市古田縣、寧夏吳忠市同心縣、大同市陽高縣、廣西百色市田東縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市商都縣
亳州市渦陽縣、臺州市路橋區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特左旗、黔南福泉市、紹興市越城區(qū)、西寧市湟中區(qū)、忻州市定襄縣、東莞市莞城街道、濰坊市青州市、吉林市舒蘭市
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濱州市惠民縣、涼山冕寧縣、怒江傈僳族自治州福貢縣、甘南卓尼縣、重慶市豐都縣、撫順市清原滿族自治縣、寧夏銀川市永寧縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計業(yè)“一業(yè)獨大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝?yán)铮∧C(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實現(xiàn)突破。
一個標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”，運泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜。”黃道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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