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海西蒙古族都蘭縣、呂梁市柳林縣、延安市志丹縣、武漢市武昌區(qū)、臨夏東鄉(xiāng)族自治縣、廣西貴港市桂平市、運(yùn)城市河津市
文山文山市、普洱市景谷傣族彝族自治縣、寧德市周寧縣、岳陽市汨羅市、廣安市廣安區(qū)、廣元市劍閣縣、韶關(guān)市翁源縣、新鄉(xiāng)市新鄉(xiāng)縣、廣安市華鎣市
甘南臨潭縣、?？谑行阌^(qū)、上海市崇明區(qū)、商丘市夏邑縣、普洱市墨江哈尼族自治縣、宜春市銅鼓縣
安慶市大觀區(qū)、撫順市清原滿族自治縣、沈陽市于洪區(qū)、內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善右旗、內(nèi)江市市中區(qū)、孝感市大悟縣
伊春市嘉蔭縣、重慶市大渡口區(qū)、保山市龍陵縣、寧夏銀川市靈武市、徐州市新沂市、定西市通渭縣、榆林市綏德縣
榆林市綏德縣、商丘市寧陵縣、新鄉(xiāng)市紅旗區(qū)、遼陽市白塔區(qū)、三明市永安市、清遠(yuǎn)市連山壯族瑤族自治縣、宣城市涇縣、茂名市信宜市、咸寧市通城縣
永州市東安縣、宣城市績(jī)溪縣、蘇州市太倉市、東莞市大朗鎮(zhèn)、牡丹江市愛民區(qū)、綏化市肇東市、煙臺(tái)市海陽市
佳木斯市富錦市、東莞市黃江鎮(zhèn)、阿壩藏族羌族自治州黑水縣、郴州市資興市、吉安市安?？h、運(yùn)城市平陸縣、天水市麥積區(qū)、臨沂市蘭陵縣、寧夏銀川市金鳳區(qū)
雅安市雨城區(qū)、東莞市石碣鎮(zhèn)、甘孜白玉縣、徐州市銅山區(qū)、南陽市淅川縣
遼陽市燈塔市、齊齊哈爾市龍沙區(qū)、吉林市豐滿區(qū)、寧夏銀川市金鳳區(qū)、十堰市張灣區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克前旗、營口市老邊區(qū)
荊門市沙洋縣、張掖市臨澤縣、定安縣黃竹鎮(zhèn)、鞍山市鐵西區(qū)、平?jīng)鍪徐`臺(tái)縣、荊州市石首市、龍巖市連城縣、昌江黎族自治縣烏烈鎮(zhèn)、南昌市西湖區(qū)
西安市臨潼區(qū)、德宏傣族景頗族自治州梁河縣、廣安市華鎣市、朝陽市雙塔區(qū)、寶雞市眉縣
常州市天寧區(qū)、黑河市五大連池市、內(nèi)蒙古包頭市青山區(qū)、雙鴨山市寶山區(qū)、新鄉(xiāng)市牧野區(qū)
宿州市埇橋區(qū)、伊春市友好區(qū)、池州市石臺(tái)縣、德陽市綿竹市、天津市薊州區(qū)、萬寧市南橋鎮(zhèn)、?？谑旋埲A區(qū)、酒泉市阿克塞哈薩克族自治縣、廣西來賓市忻城縣
哈爾濱市方正縣、海西蒙古族都蘭縣、文昌市馮坡鎮(zhèn)、聊城市茌平區(qū)、廣西南寧市良慶區(qū)、太原市古交市、鞍山市立山區(qū)、宜昌市夷陵區(qū)、株洲市荷塘區(qū)、青島市平度市
黃岡市黃州區(qū)、漳州市華安縣、廈門市翔安區(qū)、黃岡市羅田縣、鹽城市亭湖區(qū)、盤錦市盤山縣、蚌埠市懷遠(yuǎn)縣、玉溪市新平彝族傣族自治縣
楚雄元謀縣、內(nèi)蒙古通遼市霍林郭勒市、內(nèi)蒙古烏蘭察布市四子王旗、廣安市前鋒區(qū)、衡陽市耒陽市、宜春市銅鼓縣、深圳市龍崗區(qū)、臨汾市蒲縣、濟(jì)南市市中區(qū)、湘西州花垣縣
濰坊市坊子區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎蘭屯市、寶雞市隴縣、陽江市陽西縣、雅安市蘆山縣、牡丹江市寧安市
儋州市中和鎮(zhèn)、隴南市武都區(qū)、遼陽市太子河區(qū)、天津市河北區(qū)、六安市裕安區(qū)、焦作市山陽區(qū)、泰安市寧陽縣、連云港市海州區(qū)、鷹潭市余江區(qū)、酒泉市肅州區(qū)
廣西崇左市扶綏縣、淮北市濉溪縣、惠州市惠東縣、福州市平潭縣、東方市大田鎮(zhèn)、西安市周至縣、定安縣龍河鎮(zhèn)、咸陽市彬州市、楚雄南華縣、溫州市泰順縣
河源市源城區(qū)、肇慶市廣寧縣、濱州市無棣縣、重慶市九龍坡區(qū)、大慶市肇源縣
廣安市鄰水縣、遼陽市白塔區(qū)、資陽市樂至縣、邵陽市雙清區(qū)、恩施州巴東縣、泉州市豐澤區(qū)、松原市長(zhǎng)嶺縣、牡丹江市穆棱市、畢節(jié)市納雍縣
廣西梧州市藤縣、運(yùn)城市鹽湖區(qū)、延安市黃龍縣、杭州市上城區(qū)、鷹潭市月湖區(qū)
三門峽市澠池縣、張掖市臨澤縣、儋州市王五鎮(zhèn)、雅安市石棉縣、陵水黎族自治縣黎安鎮(zhèn)、臨汾市浮山縣、寧德市周寧縣、寶雞市扶風(fēng)縣、玉樹囊謙縣、甘南卓尼縣
廣西百色市隆林各族自治縣、安康市白河縣、寧德市壽寧縣、澄邁縣瑞溪鎮(zhèn)、臨滄市云縣、馬鞍山市和縣、武漢市青山區(qū)
三明市沙縣區(qū)、定安縣龍河鎮(zhèn)、武漢市黃陂區(qū)、大興安嶺地區(qū)漠河市、呂梁市方山縣、蚌埠市五河縣、周口市淮陽區(qū)、畢節(jié)市赫章縣、內(nèi)蒙古赤峰市寧城縣、畢節(jié)市黔西市
濰坊市昌邑市、渭南市蒲城縣、廣西南寧市興寧區(qū)、定西市渭源縣、綏化市望奎縣、成都市成華區(qū)
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銅仁市碧江區(qū)、玉溪市易門縣、廣西百色市德保縣、德州市禹城市、平頂山市葉縣、溫州市鹿城區(qū)、蘇州市昆山市、七臺(tái)河市桃山區(qū)
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河源市龍川縣、甘南卓尼縣、德陽市綿竹市、池州市石臺(tái)縣、常德市石門縣、商丘市永城市、松原市寧江區(qū)、焦作市修武縣、駐馬店市正陽縣、雅安市天全縣
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長(zhǎng)沙市寧鄉(xiāng)市、榆林市榆陽區(qū)、廣州市花都區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市海拉爾區(qū)、南通市啟東市、六盤水市盤州市、銅陵市義安區(qū)、宜昌市長(zhǎng)陽土家族自治縣、東莞市塘廈鎮(zhèn)
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三明市沙縣區(qū)、贛州市南康區(qū)、寶雞市扶風(fēng)縣、溫州市龍灣區(qū)、寶雞市鳳縣、樂山市馬邊彝族自治縣、中山市三鄉(xiāng)鎮(zhèn)、廣西玉林市玉州區(qū)、淮安市漣水縣、北京市懷柔區(qū)
瓊海市塔洋鎮(zhèn)、銅仁市玉屏侗族自治縣、煙臺(tái)市招遠(yuǎn)市、黃岡市羅田縣、清遠(yuǎn)市連州市
伊春市南岔縣、寧夏石嘴山市平羅縣、伊春市豐林縣、新鄉(xiāng)市長(zhǎng)垣市、牡丹江市海林市、綏化市慶安縣、成都市雙流區(qū)、湘西州龍山縣、泉州市安溪縣
廣西來賓市合山市、南京市雨花臺(tái)區(qū)、九江市瑞昌市、北京市密云區(qū)、定安縣新竹鎮(zhèn)、梅州市梅江區(qū)、天津市河北區(qū)、果洛班瑪縣、長(zhǎng)春市農(nóng)安縣
渭南市大荔縣、廣西河池市南丹縣、孝感市大悟縣、萬寧市山根鎮(zhèn)、金華市蘭溪市、撫州市東鄉(xiāng)區(qū)、云浮市云城區(qū)
嘉峪關(guān)市新城鎮(zhèn)、東莞市高埗鎮(zhèn)、文山丘北縣、三門峽市陜州區(qū)、德州市平原縣、東營市利津縣
泰安市寧陽縣、天津市河北區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市滿洲里市、寧德市蕉城區(qū)、雙鴨山市集賢縣、銅仁市玉屏侗族自治縣
四平市鐵西區(qū)、宜賓市敘州區(qū)、清遠(yuǎn)市連州市、衡陽市蒸湘區(qū)、重慶市云陽縣、大同市平城區(qū)、遵義市余慶縣
岳陽市華容縣、西安市碑林區(qū)、清遠(yuǎn)市佛岡縣、汕頭市龍湖區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市克什克騰旗
臺(tái)州市臨海市、鐵嶺市調(diào)兵山市、臨夏廣河縣、重慶市開州區(qū)、淮安市淮陰區(qū)、開封市禹王臺(tái)區(qū)、遼源市西安區(qū)、新鄉(xiāng)市延津縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉淼耐ㄓ?span>GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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