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廣西貴港市港北區(qū)、泉州市德化縣、威海市文登區(qū)、宣城市郎溪縣、焦作市山陽區(qū)、寧夏石嘴山市惠農(nóng)區(qū)、白山市靖宇縣
甘南碌曲縣、六安市金寨縣、衡陽市南岳區(qū)、永州市新田縣、綿陽市三臺縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市集寧區(qū)、攀枝花市仁和區(qū)、廈門市集美區(qū)、綏化市蘭西縣、周口市商水縣
周口市西華縣、文昌市文城鎮(zhèn)、上海市浦東新區(qū)、陵水黎族自治縣提蒙鄉(xiāng)、德陽市廣漢市、重慶市九龍坡區(qū)、周口市商水縣、定西市岷縣、自貢市榮縣、巴中市恩陽區(qū)
內(nèi)蒙古呼和浩特市托克托縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市玉泉區(qū)、嘉峪關市峪泉鎮(zhèn)、紅河元陽縣、儋州市蘭洋鎮(zhèn)、廣西玉林市容縣、七臺河市勃利縣
安慶市太湖縣、阿壩藏族羌族自治州理縣、哈爾濱市依蘭縣、運城市夏縣、宿遷市沭陽縣
青島市嶗山區(qū)、雅安市滎經(jīng)縣、遵義市綏陽縣、大理漾濞彝族自治縣、濟寧市曲阜市、德州市寧津縣、涼山會理市、黔東南岑鞏縣
昭通市大關縣、周口市項城市、無錫市錫山區(qū)、綏化市安達市、東營市河口區(qū)、德宏傣族景頗族自治州梁河縣、中山市西區(qū)街道、恩施州來鳳縣、內(nèi)蒙古赤峰市紅山區(qū)
上饒市萬年縣、婁底市冷水江市、白沙黎族自治縣榮邦鄉(xiāng)、潮州市饒平縣、江門市鶴山市、三沙市西沙區(qū)、阿壩藏族羌族自治州松潘縣、四平市梨樹縣
汕頭市南澳縣、寶雞市陳倉區(qū)、長治市壺關縣、懷化市鶴城區(qū)、泉州市永春縣、襄陽市谷城縣、臺州市椒江區(qū)、黔東南榕江縣、臨汾市古縣、東莞市厚街鎮(zhèn)
東莞市鳳崗鎮(zhèn)、廣州市越秀區(qū)、廣西河池市金城江區(qū)、銅仁市萬山區(qū)、連云港市東?？h、麗水市景寧畬族自治縣
天津市河北區(qū)、曲靖市師宗縣、臨汾市翼城縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市磴口縣、深圳市龍崗區(qū)、齊齊哈爾市富拉爾基區(qū)、馬鞍山市雨山區(qū)、焦作市沁陽市、廣西防城港市上思縣
果洛瑪沁縣、鎮(zhèn)江市句容市、晉中市介休市、恩施州咸豐縣、寶雞市隴縣、延邊敦化市
濟南市長清區(qū)、商丘市永城市、吉安市青原區(qū)、定安縣黃竹鎮(zhèn)、濟寧市兗州區(qū)、臨沂市羅莊區(qū)、咸寧市嘉魚縣、廣西南寧市邕寧區(qū)、平頂山市郟縣、惠州市惠陽區(qū)
營口市老邊區(qū)、肇慶市廣寧縣、瓊海市長坡鎮(zhèn)、湘西州吉首市、黔東南麻江縣、文山廣南縣、南京市雨花臺區(qū)、揭陽市榕城區(qū)
宿州市碭山縣、渭南市臨渭區(qū)、湘西州古丈縣、南平市建甌市、瓊海市長坡鎮(zhèn)、錦州市太和區(qū)、岳陽市湘陰縣、果洛甘德縣、天水市秦州區(qū)
鐵嶺市鐵嶺縣、福州市倉山區(qū)、攀枝花市西區(qū)、廣西百色市田陽區(qū)、葫蘆島市南票區(qū)
延邊汪清縣、撫順市新?lián)釁^(qū)、合肥市肥東縣、東營市河口區(qū)、宜賓市珙縣、阜新市新邱區(qū)、海東市民和回族土族自治縣
杭州市上城區(qū)、白銀市平川區(qū)、甘孜雅江縣、株洲市攸縣、定西市岷縣、衡陽市衡南縣
連云港市灌南縣、臨汾市安澤縣、六盤水市水城區(qū)、河源市龍川縣、德宏傣族景頗族自治州盈江縣、臨高縣新盈鎮(zhèn)、本溪市南芬區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市五原縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市商都縣、陽泉市城區(qū)
宜賓市屏山縣、紅河綠春縣、贛州市上猶縣、黔西南貞豐縣、南昌市青山湖區(qū)、宣城市績溪縣、銅仁市玉屏侗族自治縣、儋州市排浦鎮(zhèn)
哈爾濱市松北區(qū)、平?jīng)鍪腥A亭縣、湖州市南潯區(qū)、徐州市新沂市、湘西州吉首市、宣城市宣州區(qū)
贛州市瑞金市、紹興市柯橋區(qū)、天津市東麗區(qū)、焦作市博愛縣、阜新市海州區(qū)、商丘市睢陽區(qū)、重慶市長壽區(qū)、滁州市天長市、臨沂市蘭陵縣、松原市長嶺縣
濰坊市寒亭區(qū)、梅州市蕉嶺縣、樂東黎族自治縣利國鎮(zhèn)、瀘州市江陽區(qū)、南平市建陽區(qū)、贛州市上猶縣
貴陽市觀山湖區(qū)、渭南市合陽縣、恩施州咸豐縣、丹東市寬甸滿族自治縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市武川縣
廣西柳州市柳北區(qū)、酒泉市玉門市、延安市子長市、漯河市召陵區(qū)、果洛瑪多縣、湖州市安吉縣、銅仁市印江縣、白銀市白銀區(qū)、景德鎮(zhèn)市珠山區(qū)
樂東黎族自治縣抱由鎮(zhèn)、荊門市東寶區(qū)、四平市雙遼市、曲靖市師宗縣、內(nèi)蒙古赤峰市林西縣、杭州市江干區(qū)
濟寧市曲阜市、晉中市和順縣、杭州市富陽區(qū)、臨汾市吉縣、黔南平塘縣、齊齊哈爾市訥河市
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文山文山市、杭州市蕭山區(qū)、廣州市番禺區(qū)、白沙黎族自治縣金波鄉(xiāng)、南昌市進賢縣、黃山市黃山區(qū)、定安縣翰林鎮(zhèn)、黔南甕安縣、益陽市安化縣、松原市寧江區(qū)
泰州市海陵區(qū)、南京市建鄴區(qū)、曲靖市沾益區(qū)、寧德市柘榮縣、廣西南寧市馬山縣、景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)
濟寧市金鄉(xiāng)縣、鶴壁市鶴山區(qū)、海西蒙古族烏蘭縣、茂名市信宜市、荊州市松滋市、郴州市宜章縣、漯河市臨潁縣、無錫市濱湖區(qū)、保山市昌寧縣、湖州市長興縣
西寧市湟中區(qū)、上饒市弋陽縣、佳木斯市向陽區(qū)、青島市嶗山區(qū)、澄邁縣永發(fā)鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古赤峰市翁牛特旗、廣西北海市海城區(qū)、廣州市白云區(qū)、恩施州來鳳縣、成都市金牛區(qū)
銅川市印臺區(qū)、松原市寧江區(qū)、文昌市會文鎮(zhèn)、鹽城市東臺市、嘉興市南湖區(qū)、哈爾濱市木蘭縣、清遠市連山壯族瑤族自治縣、大理祥云縣、蘭州市永登縣
湛江市徐聞縣、通化市二道江區(qū)、涼山越西縣、荊州市公安縣、安陽市林州市、黔東南鎮(zhèn)遠縣、遵義市綏陽縣、重慶市墊江縣、渭南市韓城市
杭州市臨安區(qū)、大同市天鎮(zhèn)縣、忻州市偏關縣、阜新市細河區(qū)、南平市松溪縣、北京市豐臺區(qū)、沈陽市沈河區(qū)、長治市武鄉(xiāng)縣、伊春市大箐山縣、成都市武侯區(qū)
商丘市睢縣、安慶市望江縣、淮安市淮安區(qū)、江門市蓬江區(qū)、盤錦市興隆臺區(qū)、南平市武夷山市、金華市義烏市、南陽市桐柏縣、周口市西華縣、保山市隆陽區(qū)
蘇州市吳江區(qū)、池州市東至縣、綏化市望奎縣、寧德市福鼎市、寧夏固原市隆德縣、東方市八所鎮(zhèn)、榆林市子洲縣、上海市寶山區(qū)
肇慶市端州區(qū)、畢節(jié)市大方縣、梅州市大埔縣、遵義市桐梓縣、衢州市常山縣、瓊海市大路鎮(zhèn)、湘潭市岳塘區(qū)
廣西百色市田陽區(qū)、遼陽市遼陽縣、平頂山市寶豐縣、哈爾濱市木蘭縣、常德市桃源縣
安慶市桐城市、涼山越西縣、德州市夏津縣、蘭州市城關區(qū)、衡陽市雁峰區(qū)
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周口市項城市、天津市河西區(qū)、莆田市涵江區(qū)、漳州市云霄縣、煙臺市萊陽市、泰安市岱岳區(qū)、鄭州市新密市
廣西賀州市平桂區(qū)、邵陽市北塔區(qū)、郴州市嘉禾縣、威海市榮成市、泰州市泰興市、運城市萬榮縣、臨汾市洪洞縣、普洱市墨江哈尼族自治縣、黃岡市武穴市、天津市西青區(qū)
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珠海突圍半導體設備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅解離刻蝕設備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設計業(yè)“一業(yè)獨大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅解離刻蝕設備，標志著國內(nèi)高端半導體制造核心裝備領域的重大技術突破。
該設備突破了多項“卡脖子”技術難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點，可廣泛應用于集成電路、第三代半導體及先進封裝領域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設備在顯示領域的規(guī)模化應用；另一家為三疊紀公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應用。預計6月會交付第一臺設備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強提及，目前該設備已通過頭部晶圓廠驗證，并進入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務為等離子體工業(yè)應用設備相關領域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領域，包括PCB/載板領域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領域和半導體領域。
公司方面表示，最早專注于PCB設備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導體裝備領域轉型的關鍵一步，近年來瞄準半導體裝備賽道，聚焦刻蝕設備核心技術研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導體制造環(huán)節(jié)跟制程精細程度息息相關，因此跟制程相關的設備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝里，薄膜機、光刻機和刻蝕機是最為關鍵的三大設備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機的市場份額仍被泛林半導體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應用材料（16.96%）三巨頭主導。
隨著先進工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設備的數(shù)量和質量提出了更高的要求。當前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機的多次刻蝕來實現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設備企業(yè)加速核心技術突破。其中，大灣區(qū)頻頻實現(xiàn)突破。
一個標志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導體材料，刻蝕速率與均勻性達國際先進水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運泰利自動化、長園半導體設備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”，運泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學芯片全自動測試線，填補了國產(chǎn)光學檢測設備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設計業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當前珠海正提速建設“云上智城”，集聚算力基礎、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟、人工智能、人形機器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設計服務平臺協(xié)理黃道遠告訴界面新聞，機器人、汽車廠商供應商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標客戶中，AI業(yè)務都有所增加，也對技術提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構可能并不適合于做大模型的預算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復雜?！秉S道遠表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準車用、機器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應用系統(tǒng)所需的IC進行開發(fā)。
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