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遵義市赤水市、金華市蘭溪市、潮州市潮安區(qū)、焦作市沁陽(yáng)市、白沙黎族自治縣青松鄉(xiāng)、哈爾濱市賓縣、深圳市坪山區(qū)
安慶市迎江區(qū)、衢州市衢江區(qū)、遵義市正安縣、天水市秦安縣、洛陽(yáng)市瀍河回族區(qū)、陵水黎族自治縣隆廣鎮(zhèn)、白銀市白銀區(qū)
贛州市于都縣、臨高縣加來(lái)鎮(zhèn)、西寧市城北區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市霍林郭勒市、昌江黎族自治縣王下鄉(xiāng)、天水市清水縣、宣城市郎溪縣、屯昌縣楓木鎮(zhèn)、牡丹江市林口縣
內(nèi)蒙古烏蘭察布市豐鎮(zhèn)市、大連市普蘭店區(qū)、廣西桂林市雁山區(qū)、孝感市漢川市、廣西柳州市融水苗族自治縣、東方市大田鎮(zhèn)、廣安市華鎣市、昌江黎族自治縣七叉鎮(zhèn)、遵義市播州區(qū)、廣西賀州市八步區(qū)
南昌市進(jìn)賢縣、焦作市馬村區(qū)、蘇州市吳中區(qū)、萍鄉(xiāng)市蘆溪縣、濱州市惠民縣、九江市共青城市、濮陽(yáng)市清豐縣
渭南市大荔縣、紹興市上虞區(qū)、徐州市銅山區(qū)、呂梁市文水縣、自貢市貢井區(qū)、德州市武城縣、杭州市拱墅區(qū)、孝感市孝南區(qū)、商丘市梁園區(qū)、銅陵市郊區(qū)
南充市高坪區(qū)、南昌市新建區(qū)、澄邁縣大豐鎮(zhèn)、滁州市南譙區(qū)、福州市閩清縣
咸寧市咸安區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克旗、宜昌市宜都市、九江市柴桑區(qū)、中山市小欖鎮(zhèn)、綿陽(yáng)市梓潼縣
新余市分宜縣、哈爾濱市通河縣、遼陽(yáng)市宏偉區(qū)、齊齊哈爾市鐵鋒區(qū)、紅河瀘西縣、大連市甘井子區(qū)
黔西南興義市、陵水黎族自治縣文羅鎮(zhèn)、榆林市米脂縣、西寧市湟源縣、涼山金陽(yáng)縣、貴陽(yáng)市花溪區(qū)、吉安市峽江縣、蘇州市虎丘區(qū)
臺(tái)州市路橋區(qū)、廣西柳州市柳北區(qū)、廣西貴港市平南縣、臨高縣皇桐鎮(zhèn)、南昌市青云譜區(qū)、荊門(mén)市沙洋縣、白城市洮北區(qū)、松原市寧江區(qū)、白銀市平川區(qū)
麗江市寧蒗彝族自治縣、綏化市望奎縣、內(nèi)蒙古通遼市開(kāi)魯縣、海北門(mén)源回族自治縣、徐州市睢寧縣、長(zhǎng)治市長(zhǎng)子縣、周口市淮陽(yáng)區(qū)
南陽(yáng)市社旗縣、西雙版納景洪市、寶雞市岐山縣、直轄縣神農(nóng)架林區(qū)、黔南荔波縣、大理南澗彝族自治縣
廣安市鄰水縣、遼陽(yáng)市白塔區(qū)、資陽(yáng)市樂(lè)至縣、邵陽(yáng)市雙清區(qū)、恩施州巴東縣、泉州市豐澤區(qū)、松原市長(zhǎng)嶺縣、牡丹江市穆棱市、畢節(jié)市納雍縣
隴南市成縣、延邊汪清縣、蚌埠市固鎮(zhèn)縣、甘孜得榮縣、瓊海市博鰲鎮(zhèn)
鄂州市華容區(qū)、韶關(guān)市翁源縣、保山市龍陵縣、瓊海市龍江鎮(zhèn)、長(zhǎng)春市寬城區(qū)、安慶市宿松縣、海西蒙古族都蘭縣、廣西河池市宜州區(qū)、臺(tái)州市溫嶺市
天水市清水縣、黑河市嫩江市、海南興海縣、樂(lè)東黎族自治縣利國(guó)鎮(zhèn)、迪慶香格里拉市、荊門(mén)市京山市、成都市錦江區(qū)、金華市義烏市
株洲市茶陵縣、文山馬關(guān)縣、牡丹江市寧安市、榆林市吳堡縣、綏化市青岡縣
保山市騰沖市、南通市如皋市、清遠(yuǎn)市連州市、麗水市景寧畬族自治縣、吉林市舒蘭市
安慶市大觀區(qū)、宿遷市沭陽(yáng)縣、廣州市南沙區(qū)、濰坊市濰城區(qū)、定西市安定區(qū)、朝陽(yáng)市龍城區(qū)
焦作市孟州市、鎮(zhèn)江市丹徒區(qū)、海北祁連縣、臨汾市堯都區(qū)、運(yùn)城市平陸縣、鹽城市響水縣、邵陽(yáng)市洞口縣、佳木斯市前進(jìn)區(qū)、三明市沙縣區(qū)
淮南市大通區(qū)、鶴壁市山城區(qū)、平頂山市石龍區(qū)、許昌市禹州市、廣西來(lái)賓市合山市、鄭州市滎陽(yáng)市、連云港市連云區(qū)、菏澤市定陶區(qū)、昆明市祿勸彝族苗族自治縣、鞍山市岫巖滿族自治縣
遼源市龍山區(qū)、嘉峪關(guān)市峪泉鎮(zhèn)、漢中市漢臺(tái)區(qū)、中山市黃圃鎮(zhèn)、丹東市鳳城市、泉州市豐澤區(qū)、吉林市磐石市、淄博市淄川區(qū)、商洛市柞水縣、洛陽(yáng)市欒川縣
銅仁市松桃苗族自治縣、重慶市豐都縣、上海市松江區(qū)、北京市順義區(qū)、銅仁市思南縣、紹興市柯橋區(qū)
呂梁市臨縣、雞西市麻山區(qū)、甘孜德格縣、汕頭市澄海區(qū)、紅河河口瑤族自治縣、廣西南寧市橫州市、廣西崇左市寧明縣
大慶市龍鳳區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市杭錦旗、文山文山市、楚雄祿豐市、忻州市靜樂(lè)縣、瓊海市長(zhǎng)坡鎮(zhèn)
岳陽(yáng)市岳陽(yáng)縣、安慶市宜秀區(qū)、大慶市肇源縣、廣西欽州市欽北區(qū)、吉林市豐滿區(qū)
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撫州市金溪縣、雙鴨山市集賢縣、朝陽(yáng)市雙塔區(qū)、渭南市潼關(guān)縣、阿壩藏族羌族自治州壤塘縣、杭州市江干區(qū)
遼陽(yáng)市弓長(zhǎng)嶺區(qū)、涼山昭覺(jué)縣、晉中市平遙縣、廣元市朝天區(qū)、淮安市清江浦區(qū)、黔西南安龍縣、松原市扶余市
達(dá)州市達(dá)川區(qū)、萍鄉(xiāng)市蓮花縣、上海市普陀區(qū)、大同市左云縣、廣西南寧市馬山縣、紅河瀘西縣、廣安市岳池縣、延安市延長(zhǎng)縣、株洲市攸縣
甘孜九龍縣、重慶市巴南區(qū)、大興安嶺地區(qū)呼瑪縣、三門(mén)峽市澠池縣、南充市高坪區(qū)
東莞市長(zhǎng)安鎮(zhèn)、齊齊哈爾市建華區(qū)、肇慶市四會(huì)市、益陽(yáng)市赫山區(qū)、蕪湖市灣沚區(qū)、十堰市鄖陽(yáng)區(qū)
通化市通化縣、濟(jì)寧市汶上縣、廣西桂林市靈川縣、玉樹(shù)稱多縣、臨高縣和舍鎮(zhèn)、定安縣富文鎮(zhèn)、廣元市利州區(qū)、雙鴨山市尖山區(qū)
紹興市越城區(qū)、延邊龍井市、大同市渾源縣、平?jīng)鍪谐缧趴h、淮北市相山區(qū)
濟(jì)寧市金鄉(xiāng)縣、中山市南頭鎮(zhèn)、煙臺(tái)市海陽(yáng)市、臨高縣波蓮鎮(zhèn)、西雙版納景洪市、臨高縣多文鎮(zhèn)、大連市旅順口區(qū)、樂(lè)山市峨眉山市、怒江傈僳族自治州福貢縣、廣西柳州市融水苗族自治縣
廣西桂林市資源縣、天津市寶坻區(qū)、江門(mén)市臺(tái)山市、濟(jì)南市長(zhǎng)清區(qū)、日照市莒縣
溫州市泰順縣、長(zhǎng)治市武鄉(xiāng)縣、蕪湖市灣沚區(qū)、德州市寧津縣、玉樹(shù)囊謙縣、吉安市泰和縣、十堰市竹山縣、白城市通榆縣
焦作市博愛(ài)縣、福州市晉安區(qū)、淮安市金湖縣、吉安市廬陵新區(qū)、湛江市雷州市、隨州市廣水市、茂名市信宜市、咸寧市赤壁市、黃石市黃石港區(qū)
阜新市新邱區(qū)、贛州市會(huì)昌縣、廣西柳州市三江侗族自治縣、咸陽(yáng)市武功縣、雅安市漢源縣、福州市福清市、綿陽(yáng)市江油市、溫州市文成縣、廣元市蒼溪縣
信陽(yáng)市淮濱縣、黃石市西塞山區(qū)、南通市如皋市、合肥市廬陽(yáng)區(qū)、雅安市寶興縣
瀘州市古藺縣、晉城市高平市、遵義市正安縣、廣州市從化區(qū)、哈爾濱市南崗區(qū)、武威市古浪縣、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼前旗、湛江市坡頭區(qū)、東莞市樟木頭鎮(zhèn)、運(yùn)城市芮城縣
南陽(yáng)市新野縣、洛陽(yáng)市瀍河回族區(qū)、湘西州永順縣、吉林市昌邑區(qū)、邵陽(yáng)市雙清區(qū)、衢州市柯城區(qū)、洛陽(yáng)市嵩縣
昭通市大關(guān)縣、齊齊哈爾市富拉爾基區(qū)、萬(wàn)寧市禮紀(jì)鎮(zhèn)、昭通市鎮(zhèn)雄縣、畢節(jié)市納雍縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎蘭屯市、岳陽(yáng)市汨羅市、長(zhǎng)春市南關(guān)區(qū)、綏化市海倫市
萬(wàn)寧市和樂(lè)鎮(zhèn)、文昌市抱羅鎮(zhèn)、廣西桂林市疊彩區(qū)、成都市錦江區(qū)、寶雞市扶風(fēng)縣、商洛市柞水縣、黃石市下陸區(qū)
湖州市南潯區(qū)、東莞市南城街道、盤(pán)錦市盤(pán)山縣、臨汾市霍州市、武威市民勤縣、廣州市越秀區(qū)、銅仁市玉屏侗族自治縣
泉州市德化縣、信陽(yáng)市商城縣、澄邁縣中興鎮(zhèn)、廣西防城港市港口區(qū)、攀枝花市米易縣、青島市黃島區(qū)、廣西防城港市上思縣、廣西柳州市柳城縣、紅河元陽(yáng)縣、昆明市富民縣
揚(yáng)州市寶應(yīng)縣、深圳市鹽田區(qū)、綏化市青岡縣、瀘州市古藺縣、紹興市新昌縣
臨沂市河?xùn)|區(qū)、濰坊市寒亭區(qū)、衢州市開(kāi)化縣、伊春市伊美區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市臨河區(qū)、淄博市臨淄區(qū)、新鄉(xiāng)市牧野區(qū)、漳州市華安縣
廣安市廣安區(qū)、龍巖市新羅區(qū)、茂名市茂南區(qū)、三沙市南沙區(qū)、黔東南天柱縣
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連云港市灌云縣、汕頭市南澳縣、蚌埠市禹會(huì)區(qū)、保山市昌寧縣、白沙黎族自治縣南開(kāi)鄉(xiāng)、酒泉市金塔縣、天津市津南區(qū)、龍巖市武平縣、南平市順昌縣、泰州市海陵區(qū)
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開(kāi)發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開(kāi)展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開(kāi)源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門(mén)檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開(kāi)發(fā)。
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