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麗江市華坪縣、遵義市習水縣、畢節(jié)市赫章縣、陵水黎族自治縣本號鎮(zhèn)、萬寧市北大鎮(zhèn)、丹東市東港市、臨汾市鄉(xiāng)寧縣
邵陽市北塔區(qū)、黃山市歙縣、玉樹玉樹市、廈門市湖里區(qū)、梅州市平遠縣、忻州市代縣、黃山市徽州區(qū)、朔州市懷仁市、安康市旬陽市
萬寧市東澳鎮(zhèn)、焦作市武陟縣、遂寧市船山區(qū)、揭陽市普寧市、南京市雨花臺區(qū)、松原市扶余市、甘孜道孚縣、南京市浦口區(qū)、惠州市博羅縣
長春市二道區(qū)、濟寧市魚臺縣、貴陽市開陽縣、杭州市建德市、廣州市從化區(qū)、安順市普定縣、淮安市淮陰區(qū)
惠州市博羅縣、?？谑协偵絽^(qū)、菏澤市鄄城縣、阜陽市阜南縣、黑河市孫吳縣、東莞市塘廈鎮(zhèn)、湘西州龍山縣、鷹潭市余江區(qū)、廈門市集美區(qū)
滁州市鳳陽縣、達州市開江縣、銅陵市銅官區(qū)、蘇州市吳中區(qū)、阿壩藏族羌族自治州金川縣、南通市海門區(qū)、肇慶市高要區(qū)、曲靖市馬龍區(qū)、常德市鼎城區(qū)
巴中市恩陽區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市巴林左旗、廣西桂林市恭城瑤族自治縣、北京市通州區(qū)、廣西梧州市萬秀區(qū)、運城市鹽湖區(qū)、臺州市玉環(huán)市
天津市北辰區(qū)、深圳市龍崗區(qū)、懷化市洪江市、大理洱源縣、眉山市丹棱縣、濱州市濱城區(qū)、上海市閔行區(qū)、成都市簡陽市
太原市婁煩縣、江門市新會區(qū)、黃南河南蒙古族自治縣、晉城市澤州縣、白沙黎族自治縣青松鄉(xiāng)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市海拉爾區(qū)、紹興市上虞區(qū)、黔南惠水縣
東莞市常平鎮(zhèn)、張掖市臨澤縣、海西蒙古族茫崖市、通化市柳河縣、曲靖市宣威市、西雙版納景洪市、盤錦市雙臺子區(qū)、重慶市酉陽縣、吉林市樺甸市、畢節(jié)市金沙縣
洛陽市嵩縣、湛江市坡頭區(qū)、綿陽市鹽亭縣、廣元市劍閣縣、贛州市于都縣、懷化市沅陵縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市杭錦旗、南陽市西峽縣、臨汾市隰縣
酒泉市敦煌市、商洛市洛南縣、漯河市召陵區(qū)、攀枝花市東區(qū)、北京市房山區(qū)、瓊海市大路鎮(zhèn)、貴陽市云巖區(qū)、南充市蓬安縣
濰坊市寒亭區(qū)、宜春市上高縣、呂梁市交城縣、韶關(guān)市乳源瑤族自治縣、忻州市五臺縣、六盤水市六枝特區(qū)
成都市都江堰市、東莞市清溪鎮(zhèn)、淮北市杜集區(qū)、惠州市惠陽區(qū)、榆林市佳縣、齊齊哈爾市拜泉縣、黑河市遜克縣、大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)、臨汾市鄉(xiāng)寧縣
韶關(guān)市翁源縣、咸陽市旬邑縣、金華市磐安縣、泉州市鯉城區(qū)、雞西市麻山區(qū)、臨汾市侯馬市
漢中市洋縣、鄭州市中原區(qū)、九江市都昌縣、齊齊哈爾市依安縣、濰坊市青州市、錦州市義縣、武漢市硚口區(qū)
哈爾濱市方正縣、宿州市埇橋區(qū)、五指山市毛道、泉州市德化縣、綿陽市涪城區(qū)、大興安嶺地區(qū)加格達奇區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市寧城縣、海口市美蘭區(qū)
鐵嶺市鐵嶺縣、鞍山市鐵東區(qū)、黔東南雷山縣、丹東市寬甸滿族自治縣、鶴壁市淇縣、內(nèi)蒙古通遼市開魯縣
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定安縣富文鎮(zhèn)、德宏傣族景頗族自治州梁河縣、廣西河池市金城江區(qū)、廣西桂林市靈川縣、中山市南頭鎮(zhèn)、青島市市南區(qū)、重慶市開州區(qū)
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昆明市富民縣、成都市武侯區(qū)、雞西市雞東縣、韶關(guān)市仁化縣、海西蒙古族天峻縣
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新鄉(xiāng)市延津縣、丹東市寬甸滿族自治縣、榆林市橫山區(qū)、臨沂市沂水縣、撫州市南豐縣、白沙黎族自治縣金波鄉(xiāng)、大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)、漳州市詔安縣
天津市寶坻區(qū)、蘭州市皋蘭縣、濟南市平陰縣、渭南市臨渭區(qū)、渭南市潼關(guān)縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市杭錦后旗、婁底市雙峰縣、遵義市赤水市、蘭州市榆中縣、安慶市桐城市
安康市寧陜縣、樂山市夾江縣、德州市德城區(qū)、肇慶市端州區(qū)、內(nèi)江市資中縣
綿陽市游仙區(qū)、贛州市信豐縣、天津市南開區(qū)、吉安市廬陵新區(qū)、大興安嶺地區(qū)呼瑪縣
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甘孜雅江縣、錦州市義縣、南陽市新野縣、廣州市番禺區(qū)、紹興市越城區(qū)、湖州市長興縣
咸陽市渭城區(qū)、白沙黎族自治縣南開鄉(xiāng)、黃南尖扎縣、金華市東陽市、天津市寶坻區(qū)、武漢市漢陽區(qū)、宜賓市南溪區(qū)、重慶市萬州區(qū)、資陽市安岳縣
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哈爾濱市平房區(qū)、湘潭市湘鄉(xiāng)市、武漢市東西湖區(qū)、東方市八所鎮(zhèn)、馬鞍山市和縣、黑河市愛輝區(qū)、十堰市丹江口市
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重慶市璧山區(qū)、張家界市永定區(qū)、臨滄市鎮(zhèn)康縣、滁州市來安縣、汕頭市金平區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市涼城縣、紅河石屏縣、洛陽市新安縣、金華市浦江縣
廣西北海市鐵山港區(qū)、宜昌市遠安縣、內(nèi)江市資中縣、十堰市竹山縣、天津市河北區(qū)、亳州市蒙城縣
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內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特后旗、重慶市綦江區(qū)、四平市鐵東區(qū)、德州市武城縣、阜新市細河區(qū)、天津市河西區(qū)、海南興海縣、樂山市峨眉山市
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珠海突圍半導體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計業(yè)“一業(yè)獨大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標志著國內(nèi)高端半導體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點，可廣泛應用于集成電路、第三代半導體及先進封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?；另一家為三疊紀公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應用。預計6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗證，并進入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務為等離子體工業(yè)應用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準半導體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導體制造環(huán)節(jié)跟制程精細程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝里，薄膜機、光刻機和刻蝕機是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機的市場份額仍被泛林半導體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應用材料（16.96%）三巨頭主導。
隨著先進工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機的多次刻蝕來實現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實現(xiàn)突破。
一個標志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導體材料，刻蝕速率與均勻性達國際先進水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運泰利自動化、長園半導體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”，運泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學芯片全自動測試線，填補了國產(chǎn)光學檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟、人工智能、人形機器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計服務平臺協(xié)理黃道遠告訴界面新聞，機器人、汽車廠商供應商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標客戶中，AI業(yè)務都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復雜?！秉S道遠表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準車用、機器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應用系統(tǒng)所需的IC進行開發(fā)。
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