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珠海市斗門(mén)區(qū)、中山市坦洲鎮(zhèn)、阜陽(yáng)市潁泉區(qū)、昆明市官渡區(qū)、撫州市南城縣、酒泉市阿克塞哈薩克族自治縣、屯昌縣南坤鎮(zhèn)、宜春市豐城市、周口市扶溝縣
白銀市靖遠(yuǎn)縣、昭通市永善縣、大興安嶺地區(qū)呼瑪縣、新鄉(xiāng)市紅旗區(qū)、揚(yáng)州市儀征市
臨滄市臨翔區(qū)、臨汾市鄉(xiāng)寧縣、黑河市嫩江市、昭通市鹽津縣、韶關(guān)市南雄市、合肥市肥西縣、貴陽(yáng)市云巖區(qū)
安順市普定縣、吉安市井岡山市、佛山市禪城區(qū)、寶雞市陳倉(cāng)區(qū)、四平市雙遼市、撫州市黎川縣、平頂山市郟縣、江門(mén)市鶴山市、貴陽(yáng)市開(kāi)陽(yáng)縣
中山市南朗鎮(zhèn)、臺(tái)州市臨海市、南平市建甌市、廣西防城港市港口區(qū)、菏澤市鄆城縣、郴州市汝城縣
龍巖市武平縣、鄭州市中原區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁區(qū)、?？谑旋埲A區(qū)、廣西北海市銀海區(qū)、撫順市望花區(qū)、懷化市麻陽(yáng)苗族自治縣
平?jīng)鍪袥艽h、青島市即墨區(qū)、阜陽(yáng)市臨泉縣、吉林市舒蘭市、安慶市懷寧縣、樂(lè)山市峨眉山市、福州市福清市、德州市臨邑縣、中山市大涌鎮(zhèn)、安順市普定縣
貴陽(yáng)市白云區(qū)、延邊龍井市、榆林市榆陽(yáng)區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市托克托縣、延安市延川縣、萬(wàn)寧市后安鎮(zhèn)、長(zhǎng)治市屯留區(qū)
自貢市貢井區(qū)、白沙黎族自治縣邦溪鎮(zhèn)、南昌市西湖區(qū)、岳陽(yáng)市華容縣、景德鎮(zhèn)市珠山區(qū)、玉溪市通?？h、樂(lè)山市峨邊彝族自治縣
本溪市明山區(qū)、商丘市夏邑縣、馬鞍山市博望區(qū)、三門(mén)峽市陜州區(qū)、陵水黎族自治縣隆廣鎮(zhèn)、漯河市臨潁縣、鎮(zhèn)江市句容市、重慶市沙坪壩區(qū)、齊齊哈爾市克東縣
果洛瑪多縣、黑河市孫吳縣、重慶市忠縣、德陽(yáng)市綿竹市、呂梁市臨縣
遵義市仁懷市、黃岡市團(tuán)風(fēng)縣、佳木斯市東風(fēng)區(qū)、蘇州市太倉(cāng)市、濟(jì)寧市梁山縣、湘西州永順縣、鄭州市中牟縣、中山市東區(qū)街道、黔西南冊(cè)亨縣、黔南甕安縣
陽(yáng)泉市盂縣、信陽(yáng)市新縣、綏化市肇東市、蚌埠市懷遠(yuǎn)縣、長(zhǎng)春市綠園區(qū)、攀枝花市東區(qū)、鐵嶺市鐵嶺縣、福州市晉安區(qū)
紹興市越城區(qū)、鎮(zhèn)江市句容市、中山市東鳳鎮(zhèn)、信陽(yáng)市羅山縣、梅州市興寧市、大連市長(zhǎng)?？h、三亞市天涯區(qū)、大理劍川縣、福州市鼓樓區(qū)、廣西柳州市融安縣
十堰市竹溪縣、朝陽(yáng)市龍城區(qū)、上饒市萬(wàn)年縣、涼山布拖縣、瀘州市合江縣、五指山市南圣
臨汾市鄉(xiāng)寧縣、蚌埠市禹會(huì)區(qū)、上海市浦東新區(qū)、溫州市永嘉縣、駐馬店市確山縣、新鄉(xiāng)市長(zhǎng)垣市、重慶市大渡口區(qū)、長(zhǎng)春市二道區(qū)
廣西賀州市富川瑤族自治縣、上海市松江區(qū)、合肥市包河區(qū)、保亭黎族苗族自治縣保城鎮(zhèn)、運(yùn)城市垣曲縣、河源市和平縣、廣元市蒼溪縣、葫蘆島市綏中縣、白山市臨江市、畢節(jié)市赫章縣
撫州市樂(lè)安縣、南平市政和縣、淄博市桓臺(tái)縣、重慶市長(zhǎng)壽區(qū)、沈陽(yáng)市蘇家屯區(qū)、伊春市南岔縣、延邊延吉市
荊州市松滋市、昭通市大關(guān)縣、云浮市羅定市、運(yùn)城市鹽湖區(qū)、伊春市南岔縣、樂(lè)山市峨眉山市、延安市志丹縣、營(yíng)口市站前區(qū)、臨沂市莒南縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市伊金霍洛旗
江門(mén)市江海區(qū)、晉中市靈石縣、南充市營(yíng)山縣、朝陽(yáng)市朝陽(yáng)縣、鶴壁市浚縣
運(yùn)城市芮城縣、安陽(yáng)市龍安區(qū)、晉中市祁縣、駐馬店市正陽(yáng)縣、大連市莊河市
臨高縣南寶鎮(zhèn)、湖州市南潯區(qū)、牡丹江市陽(yáng)明區(qū)、濟(jì)南市濟(jì)陽(yáng)區(qū)、南陽(yáng)市社旗縣、昆明市嵩明縣
銅川市耀州區(qū)、黃南澤庫(kù)縣、武威市天祝藏族自治縣、廣西百色市田林縣、廣西貴港市港北區(qū)、長(zhǎng)沙市長(zhǎng)沙縣
銅仁市松桃苗族自治縣、寧波市慈溪市、漯河市源匯區(qū)、濟(jì)南市萊蕪區(qū)、濟(jì)南市天橋區(qū)、雞西市雞東縣、長(zhǎng)治市屯留區(qū)
重慶市開(kāi)州區(qū)、大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)、濟(jì)南市萊蕪區(qū)、朝陽(yáng)市朝陽(yáng)縣、蕪湖市弋江區(qū)
北京市順義區(qū)、鹽城市東臺(tái)市、定西市岷縣、東莞市茶山鎮(zhèn)、南平市建陽(yáng)區(qū)、七臺(tái)河市茄子河區(qū)、吉安市峽江縣、玉溪市華寧縣、內(nèi)江市隆昌市、三明市三元區(qū)
東營(yíng)市河口區(qū)、大同市云岡區(qū)、鞍山市千山區(qū)、天津市河西區(qū)、淮南市謝家集區(qū)、重慶市璧山區(qū)、荊門(mén)市東寶區(qū)、重慶市榮昌區(qū)、洛陽(yáng)市西工區(qū)
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直轄縣天門(mén)市、忻州市岢嵐縣、巴中市恩陽(yáng)區(qū)、邵陽(yáng)市大祥區(qū)、上饒市弋陽(yáng)縣
九江市潯陽(yáng)區(qū)、廣州市海珠區(qū)、衢州市開(kāi)化縣、徐州市豐縣、威海市榮成市、撫州市宜黃縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎蘭屯市、蕪湖市弋江區(qū)、甘孜爐霍縣、五指山市番陽(yáng)
贛州市定南縣、玉溪市紅塔區(qū)、儋州市光村鎮(zhèn)、寧德市福鼎市、莆田市涵江區(qū)、宜賓市翠屏區(qū)
盤(pán)錦市雙臺(tái)子區(qū)、寧夏固原市隆德縣、長(zhǎng)治市武鄉(xiāng)縣、忻州市五臺(tái)縣、汕頭市潮陽(yáng)區(qū)、成都市金牛區(qū)、吉林市永吉縣、岳陽(yáng)市汨羅市
廣西柳州市魚(yú)峰區(qū)、廣西南寧市馬山縣、十堰市鄖陽(yáng)區(qū)、馬鞍山市花山區(qū)、天津市薊州區(qū)、常州市溧陽(yáng)市、東莞市虎門(mén)鎮(zhèn)、四平市鐵東區(qū)
上海市崇明區(qū)、樂(lè)東黎族自治縣抱由鎮(zhèn)、臨夏永靖縣、陽(yáng)江市江城區(qū)、大理南澗彝族自治縣
通化市集安市、黃山市休寧縣、海西蒙古族天峻縣、萬(wàn)寧市三更羅鎮(zhèn)、鹽城市大豐區(qū)、廣州市海珠區(qū)、慶陽(yáng)市寧縣、梅州市五華縣、天津市薊州區(qū)、荊州市江陵縣
株洲市荷塘區(qū)、黔南惠水縣、齊齊哈爾市昂昂溪區(qū)、濟(jì)寧市汶上縣、吉林市蛟河市、曲靖市會(huì)澤縣、涼山普格縣
內(nèi)蒙古鄂爾多斯市康巴什區(qū)、文昌市馮坡鎮(zhèn)、九江市共青城市、黃岡市團(tuán)風(fēng)縣、瓊海市龍江鎮(zhèn)、寧夏中衛(wèi)市中寧縣、商丘市夏邑縣、南充市閬中市、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁區(qū)、屯昌縣西昌鎮(zhèn)
東莞市塘廈鎮(zhèn)、馬鞍山市博望區(qū)、濟(jì)南市商河縣、濟(jì)南市鋼城區(qū)、昭通市巧家縣、廣西崇左市大新縣、儋州市南豐鎮(zhèn)、金華市永康市、溫州市龍灣區(qū)
銅川市王益區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市根河市、湘西州花垣縣、洛陽(yáng)市洛龍區(qū)、淮安市漣水縣、廣州市荔灣區(qū)、汕頭市南澳縣、洛陽(yáng)市洛寧縣、伊春市友好區(qū)、畢節(jié)市織金縣
黔南獨(dú)山縣、天津市南開(kāi)區(qū)、大理云龍縣、定安縣新竹鎮(zhèn)、廣西桂林市靈川縣、麗水市縉云縣、湘西州古丈縣、重慶市南川區(qū)、晉中市靈石縣
阿壩藏族羌族自治州壤塘縣、廣西南寧市良慶區(qū)、長(zhǎng)春市南關(guān)區(qū)、上海市閔行區(qū)、佳木斯市郊區(qū)、焦作市沁陽(yáng)市、達(dá)州市開(kāi)江縣、萬(wàn)寧市龍滾鎮(zhèn)、齊齊哈爾市龍沙區(qū)
銅仁市石阡縣、佳木斯市樺南縣、直轄縣仙桃市、平頂山市葉縣、濮陽(yáng)市濮陽(yáng)縣、隴南市成縣、常州市金壇區(qū)、臨汾市霍州市、隴南市文縣、陽(yáng)泉市郊區(qū)
九江市潯陽(yáng)區(qū)、三明市清流縣、臨沂市莒南縣、白山市靖宇縣、綏化市青岡縣、酒泉市阿克塞哈薩克族自治縣、煙臺(tái)市萊陽(yáng)市、紅河開(kāi)遠(yuǎn)市
焦作市沁陽(yáng)市、黔東南岑鞏縣、綏化市青岡縣、贛州市尋烏縣、雞西市梨樹(shù)區(qū)、上海市長(zhǎng)寧區(qū)、宜昌市夷陵區(qū)
汕頭市龍湖區(qū)、日照市莒縣、孝感市孝南區(qū)、延邊琿春市、臨汾市汾西縣、滁州市來(lái)安縣
大理劍川縣、淮安市金湖縣、成都市龍泉驛區(qū)、遼源市東豐縣、樂(lè)東黎族自治縣萬(wàn)沖鎮(zhèn)、周口市西華縣、株洲市醴陵市、內(nèi)江市市中區(qū)、郴州市臨武縣、菏澤市巨野縣
呂梁市孝義市、大理鶴慶縣、東方市大田鎮(zhèn)、定安縣新竹鎮(zhèn)、陽(yáng)泉市平定縣
長(zhǎng)春市德惠市、南昌市東湖區(qū)、咸寧市通山縣、莆田市秀嶼區(qū)、寧波市海曙區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟烏蘭浩特市、杭州市上城區(qū)、文山文山市、曲靖市會(huì)澤縣
貴陽(yáng)市觀山湖區(qū)、晉中市介休市、黃岡市團(tuán)風(fēng)縣、泉州市德化縣、四平市伊通滿(mǎn)族自治縣、臨夏東鄉(xiāng)族自治縣、德州市禹城市、怒江傈僳族自治州瀘水市
六安市霍邱縣、瓊海市博鰲鎮(zhèn)、海東市樂(lè)都區(qū)、宜昌市遠(yuǎn)安縣、清遠(yuǎn)市佛岡縣、榆林市佳縣、濟(jì)寧市嘉祥縣、萬(wàn)寧市北大鎮(zhèn)、天津市靜海區(qū)
安慶市潛山市、東莞市石排鎮(zhèn)、儋州市排浦鎮(zhèn)、沈陽(yáng)市沈河區(qū)、廣西北海市海城區(qū)、嘉峪關(guān)市峪泉鎮(zhèn)
保亭黎族苗族自治縣什玲、徐州市睢寧縣、甘孜新龍縣、南陽(yáng)市桐柏縣、瀘州市江陽(yáng)區(qū)
慶陽(yáng)市寧縣、徐州市泉山區(qū)、南陽(yáng)市鄧州市、樂(lè)山市沙灣區(qū)、廣西桂林市疊彩區(qū)、周口市沈丘縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟多倫縣、忻州市靜樂(lè)縣、重慶市巴南區(qū)、寧波市鎮(zhèn)海區(qū)
中山市石岐街道、長(zhǎng)沙市望城區(qū)、九江市共青城市、邵陽(yáng)市綏寧縣、貴陽(yáng)市云巖區(qū)、廣西柳州市三江侗族自治縣、廈門(mén)市集美區(qū)
廈門(mén)市海滄區(qū)、牡丹江市西安區(qū)、長(zhǎng)春市二道區(qū)、雞西市恒山區(qū)、重慶市榮昌區(qū)、湛江市吳川市、吉林市磐石市、銅川市王益區(qū)、江門(mén)市臺(tái)山市
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開(kāi)發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開(kāi)展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶(hù)有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷(xiāo)售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專(zhuān)注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷(xiāo)售收入4.64億元、封測(cè)銷(xiāo)售收入1.48億元、材料銷(xiāo)售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷(xiāo)售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開(kāi)源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車(chē)廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶(hù)和目標(biāo)客戶(hù)中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門(mén)檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶(hù)會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車(chē)用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車(chē)用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開(kāi)發(fā)。
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