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平?jīng)鍪谐缧趴h、張掖市民樂縣、大連市旅順口區(qū)、甘南迭部縣、開封市祥符區(qū)、榆林市佳縣、曲靖市陸良縣、長治市武鄉(xiāng)縣
宿州市蕭縣、荊州市洪湖市、屯昌縣烏坡鎮(zhèn)、甘孜稻城縣、運(yùn)城市稷山縣、湘西州鳳凰縣、昭通市巧家縣、重慶市巫山縣、商洛市商南縣、廣西河池市宜州區(qū)
內(nèi)蒙古赤峰市紅山區(qū)、荊門市掇刀區(qū)、南充市閬中市、中山市中山港街道、鹽城市東臺(tái)市
長治市壺關(guān)縣、廣西河池市金城江區(qū)、楚雄姚安縣、吉安市廬陵新區(qū)、平?jīng)鍪袥艽h、呂梁市石樓縣
寧夏吳忠市青銅峽市、洛陽市伊川縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎蘭屯市、荊州市公安縣、大興安嶺地區(qū)漠河市
徐州市邳州市、嘉興市桐鄉(xiāng)市、撫順市新?lián)釁^(qū)、安陽市文峰區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎蘭屯市、寧夏固原市原州區(qū)
惠州市博羅縣、昌江黎族自治縣十月田鎮(zhèn)、文昌市重興鎮(zhèn)、哈爾濱市阿城區(qū)、九江市共青城市、保亭黎族苗族自治縣保城鎮(zhèn)、邵陽市綏寧縣
佳木斯市富錦市、畢節(jié)市赫章縣、玉溪市新平彝族傣族自治縣、涼山寧南縣、天津市津南區(qū)、中山市南頭鎮(zhèn)、隴南市成縣、張掖市山丹縣、長春市二道區(qū)、涼山會(huì)理市
武漢市江岸區(qū)、長春市朝陽區(qū)、湘西州保靖縣、貴陽市白云區(qū)、泉州市安溪縣、臨汾市鄉(xiāng)寧縣、十堰市丹江口市、白山市靖宇縣、江門市臺(tái)山市
呂梁市孝義市、廣西南寧市良慶區(qū)、黔東南麻江縣、渭南市澄城縣、文昌市文教鎮(zhèn)、黔南貴定縣、寧夏固原市西吉縣
濰坊市昌邑市、渭南市蒲城縣、廣西南寧市興寧區(qū)、定西市渭源縣、綏化市望奎縣、成都市成華區(qū)
巴中市南江縣、內(nèi)蒙古通遼市庫倫旗、臨汾市鄉(xiāng)寧縣、寧夏中衛(wèi)市中寧縣、淮南市田家庵區(qū)、眉山市丹棱縣、牡丹江市穆棱市、金華市金東區(qū)、佳木斯市同江市
寧波市北侖區(qū)、金昌市金川區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市阿魯科爾沁旗、德州市慶云縣、駐馬店市平輿縣、呂梁市離石區(qū)、信陽市固始縣、東莞市沙田鎮(zhèn)
長沙市岳麓區(qū)、撫州市臨川區(qū)、吉林市蛟河市、濰坊市臨朐縣、涼山美姑縣、臨沂市費(fèi)縣、齊齊哈爾市建華區(qū)、馬鞍山市當(dāng)涂縣
晉中市祁縣、宜昌市夷陵區(qū)、馬鞍山市雨山區(qū)、武漢市洪山區(qū)、樂山市夾江縣、淄博市張店區(qū)、東方市新龍鎮(zhèn)、南充市儀隴縣
黔南甕安縣、延邊安圖縣、邵陽市洞口縣、焦作市博愛縣、昆明市石林彝族自治縣、大連市長海縣
陵水黎族自治縣本號鎮(zhèn)、東莞市東城街道、杭州市下城區(qū)、宜昌市猇亭區(qū)、六安市葉集區(qū)、青島市市北區(qū)、臨滄市永德縣、長治市沁縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟二連浩特市
廣西河池市大化瑤族自治縣、雞西市麻山區(qū)、南平市建陽區(qū)、廣西賀州市八步區(qū)、濱州市無棣縣、咸寧市嘉魚縣、陽江市江城區(qū)、三沙市南沙區(qū)
運(yùn)城市芮城縣、昭通市鹽津縣、黔西南晴隆縣、營口市站前區(qū)、濟(jì)南市長清區(qū)、平?jīng)鍪袥艽h、十堰市鄖陽區(qū)、西安市周至縣、宿遷市宿城區(qū)、吉林市磐石市
寧德市福安市、定安縣定城鎮(zhèn)、畢節(jié)市納雍縣、丹東市寬甸滿族自治縣、咸陽市旬邑縣
內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼中旗、金華市磐安縣、哈爾濱市南崗區(qū)、福州市連江縣、洛陽市瀍河回族區(qū)、衡陽市雁峰區(qū)、煙臺(tái)市招遠(yuǎn)市、甘孜九龍縣、云浮市云安區(qū)
郴州市桂東縣、畢節(jié)市納雍縣、昆明市官渡區(qū)、呂梁市孝義市、渭南市臨渭區(qū)、廣西梧州市龍圩區(qū)、云浮市云安區(qū)
咸寧市通城縣、中山市坦洲鎮(zhèn)、福州市鼓樓區(qū)、安慶市懷寧縣、黔東南劍河縣、長春市寬城區(qū)、吉安市新干縣
恩施州巴東縣、孝感市孝南區(qū)、齊齊哈爾市昂昂溪區(qū)、瀘州市納溪區(qū)、文山硯山縣、延邊安圖縣、淮北市相山區(qū)、長治市潞城區(qū)
宜賓市屏山縣、紅河綠春縣、贛州市上猶縣、黔西南貞豐縣、南昌市青山湖區(qū)、宣城市績溪縣、銅仁市玉屏侗族自治縣、儋州市排浦鎮(zhèn)
平頂山市石龍區(qū)、酒泉市金塔縣、撫州市金溪縣、云浮市新興縣、廣西河池市環(huán)江毛南族自治縣
內(nèi)蒙古呼和浩特市土默特左旗、黃岡市英山縣、廣州市增城區(qū)、西寧市城東區(qū)、陽江市陽東區(qū)、新鄉(xiāng)市獲嘉縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市滿洲里市、北京市懷柔區(qū)
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昭通市永善縣、榆林市府谷縣、廣西河池市環(huán)江毛南族自治縣、新鄉(xiāng)市衛(wèi)輝市、懷化市溆浦縣
泉州市惠安縣、重慶市九龍坡區(qū)、廣西柳州市柳江區(qū)、楚雄牟定縣、運(yùn)城市平陸縣
三明市寧化縣、黃石市西塞山區(qū)、西安市藍(lán)田縣、武威市古浪縣、直轄縣天門市、鶴壁市鶴山區(qū)、永州市寧遠(yuǎn)縣
朝陽市北票市、昆明市官渡區(qū)、淮安市漣水縣、中山市南頭鎮(zhèn)、馬鞍山市雨山區(qū)
咸寧市嘉魚縣、紅河蒙自市、深圳市龍華區(qū)、贛州市信豐縣、蘇州市相城區(qū)、安順市普定縣、廣西梧州市萬秀區(qū)、寧夏銀川市西夏區(qū)、阜陽市界首市、大同市平城區(qū)
洛陽市嵩縣、湛江市坡頭區(qū)、綿陽市鹽亭縣、廣元市劍閣縣、贛州市于都縣、懷化市沅陵縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市杭錦旗、南陽市西峽縣、臨汾市隰縣
福州市臺(tái)江區(qū)、定安縣富文鎮(zhèn)、沈陽市鐵西區(qū)、宜賓市興文縣、寶雞市扶風(fēng)縣、懷化市靖州苗族侗族自治縣、廣西賀州市富川瑤族自治縣、寧德市屏南縣、儋州市蘭洋鎮(zhèn)
珠海市斗門區(qū)、中山市坦洲鎮(zhèn)、阜陽市潁泉區(qū)、昆明市官渡區(qū)、撫州市南城縣、酒泉市阿克塞哈薩克族自治縣、屯昌縣南坤鎮(zhèn)、宜春市豐城市、周口市扶溝縣
運(yùn)城市永濟(jì)市、徐州市豐縣、南充市營山縣、甘孜道孚縣、中山市沙溪鎮(zhèn)、平?jīng)鍪星f浪縣、呂梁市臨縣、阜新市阜新蒙古族自治縣、新鄉(xiāng)市封丘縣、蘭州市紅古區(qū)
樂東黎族自治縣尖峰鎮(zhèn)、玉溪市峨山彝族自治縣、南通市崇川區(qū)、黑河市遜克縣、大興安嶺地區(qū)漠河市、蕪湖市灣沚區(qū)、河源市和平縣
黃岡市浠水縣、內(nèi)蒙古赤峰市巴林左旗、韶關(guān)市湞江區(qū)、南昌市青云譜區(qū)、文昌市公坡鎮(zhèn)
遵義市桐梓縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市伊金霍洛旗、贛州市上猶縣、運(yùn)城市新絳縣、昌江黎族自治縣七叉鎮(zhèn)
澄邁縣仁興鎮(zhèn)、天津市東麗區(qū)、焦作市孟州市、海南貴德縣、菏澤市成武縣、瀘州市江陽區(qū)、鄭州市二七區(qū)
贛州市上猶縣、伊春市嘉蔭縣、保亭黎族苗族自治縣保城鎮(zhèn)、遂寧市大英縣、駐馬店市上蔡縣、臨夏東鄉(xiāng)族自治縣、綿陽市游仙區(qū)
黔南福泉市、邵陽市武岡市、錦州市北鎮(zhèn)市、青島市即墨區(qū)、黃山市祁門縣、遼陽市遼陽縣、武漢市漢南區(qū)、大慶市紅崗區(qū)
東莞市高埗鎮(zhèn)、廣州市海珠區(qū)、南京市秦淮區(qū)、遼陽市宏偉區(qū)、臨汾市安澤縣
玉樹雜多縣、濟(jì)南市市中區(qū)、揭陽市普寧市、通化市二道江區(qū)、湖州市德清縣、寧德市霞浦縣
黔南福泉市、渭南市韓城市、張掖市山丹縣、咸陽市淳化縣、宜昌市長陽土家族自治縣、長治市襄垣縣、廣西欽州市欽北區(qū)、宜賓市筠連縣
白沙黎族自治縣榮邦鄉(xiāng)、鄭州市惠濟(jì)區(qū)、上饒市鉛山縣、西安市碑林區(qū)、海西蒙古族茫崖市、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市陳巴爾虎旗
樂山市夾江縣、咸陽市秦都區(qū)、大理鶴慶縣、中山市古鎮(zhèn)鎮(zhèn)、五指山市水滿、運(yùn)城市聞喜縣、荊門市沙洋縣、黃山市徽州區(qū)、荊州市公安縣
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溫州市永嘉縣、宿遷市泗陽縣、濟(jì)南市歷城區(qū)、廣西柳州市城中區(qū)、昭通市鎮(zhèn)雄縣、達(dá)州市渠縣、韶關(guān)市南雄市、宜春市銅鼓縣
潮州市潮安區(qū)、青島市平度市、太原市清徐縣、三明市三元區(qū)、河源市源城區(qū)、聊城市茌平區(qū)、北京市延慶區(qū)、商洛市鎮(zhèn)安縣、馬鞍山市當(dāng)涂縣
惠州市惠陽區(qū)、北京市通州區(qū)、吉安市新干縣、重慶市璧山區(qū)、河源市連平縣、海北門源回族自治縣、澄邁縣文儒鎮(zhèn)
郴州市臨武縣、自貢市沿灘區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼中旗、郴州市資興市、濟(jì)南市濟(jì)陽區(qū)、衢州市常山縣、常州市武進(jìn)區(qū)、新鄉(xiāng)市長垣市
廣州市從化區(qū)、湛江市雷州市、黔東南劍河縣、保山市施甸縣、內(nèi)蒙古興安盟突泉縣、銅仁市石阡縣、臨沂市沂南縣、臨沂市莒南縣、寧波市奉化區(qū)
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺(tái)晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺(tái)晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)铮∧C(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動(dòng)測試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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