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常州市武進(jìn)區(qū)、潮州市饒平縣、重慶市渝中區(qū)、牡丹江市東寧市、吉林市船營區(qū)、玉溪市通?？h、綏化市慶安縣、文昌市東路鎮(zhèn)、金華市永康市、內(nèi)江市市中區(qū)
濟(jì)寧市鄒城市、儋州市蘭洋鎮(zhèn)、商洛市鎮(zhèn)安縣、寧夏吳忠市同心縣、南平市建甌市、朔州市山陰縣、張家界市武陵源區(qū)、南京市六合區(qū)、太原市古交市、永州市零陵區(qū)
臨汾市古縣、達(dá)州市渠縣、蘇州市吳江區(qū)、鷹潭市貴溪市、甘孜稻城縣
廣西河池市大化瑤族自治縣、三明市寧化縣、呂梁市臨縣、青島市市北區(qū)、湖州市吳興區(qū)、保山市施甸縣、哈爾濱市道外區(qū)、樂山市沙灣區(qū)
大興安嶺地區(qū)呼瑪縣、自貢市榮縣、成都市都江堰市、湘西州永順縣、楚雄姚安縣
忻州市定襄縣、廣西百色市右江區(qū)、吉安市萬安縣、黑河市愛輝區(qū)、三明市尤溪縣、紅河建水縣
重慶市沙坪壩區(qū)、大慶市肇源縣、宿遷市泗陽縣、北京市豐臺區(qū)、昆明市富民縣、郴州市桂陽縣、松原市寧江區(qū)、葫蘆島市連山區(qū)
內(nèi)蒙古通遼市科爾沁區(qū)、北京市密云區(qū)、天津市河西區(qū)、濟(jì)南市章丘區(qū)、白銀市會寧縣、忻州市定襄縣、合肥市包河區(qū)、南陽市鄧州市、瀘州市合江縣
南昌市南昌縣、平?jīng)鍪星f浪縣、東營市利津縣、玉溪市華寧縣、太原市婁煩縣
衢州市常山縣、遼陽市白塔區(qū)、廣西桂林市永?？h、直轄縣天門市、楚雄祿豐市、菏澤市曹縣、杭州市富陽區(qū)、河源市東源縣、淮南市大通區(qū)
內(nèi)蒙古通遼市科爾沁區(qū)、贛州市安遠(yuǎn)縣、孝感市孝南區(qū)、益陽市資陽區(qū)、牡丹江市陽明區(qū)、甘孜鄉(xiāng)城縣、黑河市愛輝區(qū)
長沙市寧鄉(xiāng)市、韶關(guān)市樂昌市、黃岡市黃州區(qū)、黃石市黃石港區(qū)、寧夏固原市涇源縣
雞西市虎林市、廣西桂林市陽朔縣、新鄉(xiāng)市原陽縣、白山市江源區(qū)、東莞市茶山鎮(zhèn)、呂梁市中陽縣
遂寧市安居區(qū)、九江市廬山市、長治市長子縣、南昌市東湖區(qū)、鶴壁市淇濱區(qū)、漯河市舞陽縣、福州市羅源縣、蕪湖市南陵縣
濟(jì)南市歷城區(qū)、漯河市源匯區(qū)、海南興?？h、中山市民眾鎮(zhèn)、雞西市麻山區(qū)、延安市子長市
重慶市潼南區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市托克托縣、珠海市斗門區(qū)、安慶市懷寧縣、萍鄉(xiāng)市上栗縣、咸陽市彬州市、洛陽市洛寧縣
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哈爾濱市呼蘭區(qū)、涼山會理市、清遠(yuǎn)市佛岡縣、遼源市西安區(qū)、茂名市電白區(qū)、三明市明溪縣、廣西崇左市天等縣、曲靖市羅平縣
海西蒙古族都蘭縣、瓊海市會山鎮(zhèn)、廣西南寧市上林縣、太原市尖草坪區(qū)、五指山市通什
永州市江華瑤族自治縣、長治市襄垣縣、贛州市石城縣、贛州市瑞金市、婁底市婁星區(qū)、三明市沙縣區(qū)
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宣城市宣州區(qū)、遵義市仁懷市、遼源市西安區(qū)、大同市廣靈縣、益陽市桃江縣、宜昌市興山縣、重慶市巴南區(qū)
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陵水黎族自治縣提蒙鄉(xiāng)、長春市綠園區(qū)、晉城市陵川縣、鞍山市臺安縣、中山市神灣鎮(zhèn)
成都市簡陽市、運城市夏縣、大興安嶺地區(qū)呼中區(qū)、綏化市綏棱縣、哈爾濱市尚志市
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萬寧市長豐鎮(zhèn)、安慶市宿松縣、綿陽市北川羌族自治縣、重慶市大足區(qū)、吉安市吉州區(qū)、雅安市滎經(jīng)縣、東莞市莞城街道、內(nèi)蒙古呼和浩特市托克托縣、廣西玉林市博白縣、寧波市奉化區(qū)
運城市鹽湖區(qū)、呂梁市文水縣、慶陽市合水縣、陵水黎族自治縣本號鎮(zhèn)、涼山西昌市、忻州市神池縣、汕尾市陸豐市、運城市聞喜縣、達(dá)州市大竹縣
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北京市門頭溝區(qū)、嘉興市海鹽縣、安慶市桐城市、商丘市民權(quán)縣、巴中市平昌縣、雙鴨山市集賢縣、馬鞍山市博望區(qū)、臨高縣和舍鎮(zhèn)、大理彌渡縣、滁州市瑯琊區(qū)
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計業(yè)“一業(yè)獨大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實現(xiàn)突破。
一個標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”，運泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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