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阿壩藏族羌族自治州理縣、漢中市南鄭區(qū)、廣西柳州市柳江區(qū)、樂(lè)東黎族自治縣九所鎮(zhèn)、荊州市荊州區(qū)、舟山市岱山縣、廣西河池市環(huán)江毛南族自治縣、雞西市城子河區(qū)、宣城市涇縣
廣西梧州市長(zhǎng)洲區(qū)、萍鄉(xiāng)市湘東區(qū)、宜昌市長(zhǎng)陽(yáng)土家族自治縣、廣西北海市銀海區(qū)、直轄縣天門市
煙臺(tái)市龍口市、樂(lè)東黎族自治縣黃流鎮(zhèn)、臨夏臨夏市、西寧市城中區(qū)、杭州市西湖區(qū)、萬(wàn)寧市北大鎮(zhèn)、大興安嶺地區(qū)新林區(qū)、遼陽(yáng)市白塔區(qū)
杭州市桐廬縣、海南同德縣、上饒市廣豐區(qū)、廣西梧州市藤縣、阿壩藏族羌族自治州小金縣、濰坊市諸城市、邵陽(yáng)市隆回縣、齊齊哈爾市依安縣、東莞市石碣鎮(zhèn)
大興安嶺地區(qū)呼中區(qū)、聊城市陽(yáng)谷縣、南京市鼓樓區(qū)、隴南市兩當(dāng)縣、肇慶市封開(kāi)縣
儋州市海頭鎮(zhèn)、文山西疇縣、平頂山市汝州市、鄂州市梁子湖區(qū)、佳木斯市富錦市、麗水市青田縣
湖州市吳興區(qū)、金華市武義縣、巴中市南江縣、榆林市佳縣、重慶市武隆區(qū)、綏化市慶安縣、漳州市云霄縣
汕尾市陸河縣、煙臺(tái)市龍口市、鐵嶺市西豐縣、雅安市石棉縣、眉山市洪雅縣、宜賓市珙縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市化德縣、沈陽(yáng)市和平區(qū)、淮安市清江浦區(qū)
哈爾濱市松北區(qū)、哈爾濱市尚志市、四平市鐵東區(qū)、恩施州利川市、酒泉市阿克塞哈薩克族自治縣
常德市石門縣、孝感市云夢(mèng)縣、運(yùn)城市夏縣、昭通市鎮(zhèn)雄縣、白城市通榆縣、黃山市歙縣
廣西桂林市臨桂區(qū)、黃岡市英山縣、南充市蓬安縣、黃石市大冶市、東莞市大朗鎮(zhèn)、涼山德昌縣
榆林市橫山區(qū)、濱州市陽(yáng)信縣、茂名市高州市、上饒市德興市、蕪湖市弋江區(qū)
六安市金安區(qū)、茂名市茂南區(qū)、阿壩藏族羌族自治州茂縣、駐馬店市上蔡縣、泰州市靖江市、贛州市寧都縣
定安縣翰林鎮(zhèn)、焦作市解放區(qū)、延安市富縣、廣安市華鎣市、駐馬店市正陽(yáng)縣、朝陽(yáng)市朝陽(yáng)縣、內(nèi)蒙古阿拉善盟額濟(jì)納旗、汕頭市濠江區(qū)、漢中市鎮(zhèn)巴縣、大慶市大同區(qū)
濰坊市昌樂(lè)縣、慶陽(yáng)市合水縣、臨高縣調(diào)樓鎮(zhèn)、煙臺(tái)市福山區(qū)、常州市武進(jìn)區(qū)
信陽(yáng)市潢川縣、黃岡市紅安縣、直轄縣神農(nóng)架林區(qū)、新鄉(xiāng)市鳳泉區(qū)、上海市閔行區(qū)
攀枝花市東區(qū)、六安市葉集區(qū)、安陽(yáng)市林州市、銅仁市石阡縣、內(nèi)江市資中縣、臨汾市永和縣、黔東南天柱縣
新鄉(xiāng)市衛(wèi)濱區(qū)、撫順市東洲區(qū)、甘孜石渠縣、河源市連平縣、鷹潭市月湖區(qū)、濮陽(yáng)市臺(tái)前縣
呂梁市中陽(yáng)縣、文昌市錦山鎮(zhèn)、哈爾濱市雙城區(qū)、萬(wàn)寧市和樂(lè)鎮(zhèn)、沈陽(yáng)市遼中區(qū)
遵義市湄潭縣、漢中市寧強(qiáng)縣、寧夏銀川市金鳳區(qū)、中山市古鎮(zhèn)鎮(zhèn)、東莞市高埗鎮(zhèn)、麗水市云和縣
天水市清水縣、滁州市定遠(yuǎn)縣、金昌市金川區(qū)、恩施州鶴峰縣、咸陽(yáng)市興平市
果洛瑪多縣、七臺(tái)河市勃利縣、開(kāi)封市龍亭區(qū)、上饒市廣信區(qū)、襄陽(yáng)市宜城市、楚雄大姚縣、晉城市高平市、廣西桂林市興安縣
澄邁縣中興鎮(zhèn)、馬鞍山市博望區(qū)、南陽(yáng)市內(nèi)鄉(xiāng)縣、攀枝花市西區(qū)、煙臺(tái)市牟平區(qū)、昆明市嵩明縣
安陽(yáng)市文峰區(qū)、東莞市寮步鎮(zhèn)、武漢市洪山區(qū)、文昌市蓬萊鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古赤峰市喀喇沁旗
定安縣定城鎮(zhèn)、溫州市蒼南縣、南陽(yáng)市臥龍區(qū)、寧夏吳忠市紅寺堡區(qū)、伊春市嘉蔭縣、肇慶市廣寧縣、西寧市城中區(qū)、廣西來(lái)賓市合山市、雞西市恒山區(qū)
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特后旗、定西市漳縣、泉州市豐澤區(qū)、葫蘆島市建昌縣、白沙黎族自治縣牙叉鎮(zhèn)、廣西柳州市魚(yú)峰區(qū)、永州市道縣、安康市嵐皋縣、慶陽(yáng)市慶城縣
綏化市肇東市、白山市撫松縣、東莞市東坑鎮(zhèn)、湘西州古丈縣、聊城市陽(yáng)谷縣、廣西河池市巴馬瑤族自治縣
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宿遷市宿豫區(qū)、十堰市張灣區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市石拐區(qū)、遼陽(yáng)市宏偉區(qū)、重慶市云陽(yáng)縣、樂(lè)東黎族自治縣千家鎮(zhèn)、定安縣定城鎮(zhèn)、忻州市靜樂(lè)縣、綏化市肇東市
馬鞍山市當(dāng)涂縣、張家界市武陵源區(qū)、中山市五桂山街道、宜昌市點(diǎn)軍區(qū)、大理云龍縣、臨汾市蒲縣、楚雄武定縣
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合肥市包河區(qū)、雅安市漢源縣、煙臺(tái)市招遠(yuǎn)市、衡陽(yáng)市常寧市、茂名市化州市
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宜春市高安市、內(nèi)蒙古包頭市固陽(yáng)縣、阿壩藏族羌族自治州黑水縣、玉溪市江川區(qū)、泉州市金門縣、瀘州市敘永縣、朝陽(yáng)市建平縣、衢州市龍游縣、福州市長(zhǎng)樂(lè)區(qū)
韶關(guān)市樂(lè)昌市、長(zhǎng)沙市天心區(qū)、上海市金山區(qū)、西安市未央?yún)^(qū)、濰坊市坊子區(qū)、駐馬店市新蔡縣、榆林市橫山區(qū)、恩施州恩施市、廣元市劍閣縣、瀘州市敘永縣
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陽(yáng)江市江城區(qū)、襄陽(yáng)市保康縣、蘭州市榆中縣、天津市薊州區(qū)、邵陽(yáng)市新寧縣、中山市南頭鎮(zhèn)、涼山會(huì)理市、綏化市青岡縣
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周口市鹿邑縣、撫州市臨川區(qū)、徐州市賈汪區(qū)、四平市雙遼市、漳州市東山縣、福州市平潭縣、益陽(yáng)市安化縣、紅河個(gè)舊市
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廣元市利州區(qū)、白沙黎族自治縣阜龍鄉(xiāng)、南充市營(yíng)山縣、甘南夏河縣、東莞市謝崗鎮(zhèn)、淮安市漣水縣、寧夏銀川市西夏區(qū)
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開(kāi)發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開(kāi)展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開(kāi)源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開(kāi)發(fā)。
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