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五指山市毛道、湛江市雷州市、臨汾市汾西縣、哈爾濱市尚志市、海北門(mén)源回族自治縣、臨滄市云縣、廣元市昭化區(qū)、內(nèi)蒙古烏海市海南區(qū)、麗江市寧蒗彝族自治縣、內(nèi)蒙古赤峰市紅山區(qū)
黔南甕安縣、昭通市鎮(zhèn)雄縣、長(zhǎng)治市潞州區(qū)、文山富寧縣、蘭州市七里河區(qū)、晉中市昔陽(yáng)縣、晉中市太谷區(qū)、西雙版納景洪市
哈爾濱市依蘭縣、中山市三鄉(xiāng)鎮(zhèn)、鄭州市登封市、臨沂市平邑縣、梅州市蕉嶺縣、阿壩藏族羌族自治州壤塘縣、焦作市沁陽(yáng)市、金華市武義縣、錦州市黑山縣、焦作市山陽(yáng)區(qū)
重慶市黔江區(qū)、儋州市木棠鎮(zhèn)、延邊延吉市、內(nèi)蒙古呼和浩特市武川縣、上海市楊浦區(qū)、自貢市沿灘區(qū)、舟山市定海區(qū)、怒江傈僳族自治州瀘水市
亳州市譙城區(qū)、湘西州永順縣、保山市騰沖市、廣西梧州市岑溪市、西安市長(zhǎng)安區(qū)、北京市平谷區(qū)、黔西南安龍縣
延邊和龍市、曲靖市師宗縣、甘孜得榮縣、宜賓市翠屏區(qū)、開(kāi)封市順河回族區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟多倫縣
廣西崇左市憑祥市、紅河蒙自市、鶴崗市向陽(yáng)區(qū)、雅安市寶興縣、臨汾市侯馬市、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市陳巴爾虎旗
宜昌市點(diǎn)軍區(qū)、日照市莒縣、張掖市民樂(lè)縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特左旗、中山市石岐街道、日照市東港區(qū)、商丘市虞城縣、韶關(guān)市始興縣
大連市金州區(qū)、畢節(jié)市赫章縣、漢中市漢臺(tái)區(qū)、西安市臨潼區(qū)、瓊海市大路鎮(zhèn)、綏化市蘭西縣
徐州市鼓樓區(qū)、深圳市光明區(qū)、綏化市蘭西縣、北京市大興區(qū)、三明市寧化縣、吉安市萬(wàn)安縣
忻州市定襄縣、廣西貴港市桂平市、東莞市長(zhǎng)安鎮(zhèn)、漳州市薌城區(qū)、洛陽(yáng)市宜陽(yáng)縣、朔州市懷仁市、清遠(yuǎn)市連山壯族瑤族自治縣、福州市永泰縣、淮安市洪澤區(qū)、瓊海市陽(yáng)江鎮(zhèn)
遵義市湄潭縣、廣州市白云區(qū)、安康市石泉縣、內(nèi)蒙古包頭市固陽(yáng)縣、榆林市佳縣、臨沂市平邑縣
廣西崇左市天等縣、文昌市蓬萊鎮(zhèn)、湛江市坡頭區(qū)、德宏傣族景頗族自治州梁河縣、定西市通渭縣、無(wú)錫市惠山區(qū)、永州市冷水灘區(qū)、青島市黃島區(qū)、廣西南寧市興寧區(qū)
齊齊哈爾市碾子山區(qū)、漢中市漢臺(tái)區(qū)、龍巖市漳平市、眉山市仁壽縣、宜賓市珙縣、贛州市崇義縣、陽(yáng)泉市郊區(qū)、成都市崇州市、武漢市青山區(qū)、撫順市新賓滿(mǎn)族自治縣
麗江市華坪縣、安康市嵐皋縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市烏審旗、忻州市河曲縣、棗莊市山亭區(qū)、晉城市陵川縣
北京市平谷區(qū)、寶雞市金臺(tái)區(qū)、哈爾濱市依蘭縣、舟山市普陀區(qū)、隴南市徽縣、大慶市肇源縣、岳陽(yáng)市云溪區(qū)、長(zhǎng)治市上黨區(qū)、鄭州市中原區(qū)
昭通市大關(guān)縣、臺(tái)州市三門(mén)縣、畢節(jié)市大方縣、九江市湖口縣、德宏傣族景頗族自治州瑞麗市、澄邁縣金江鎮(zhèn)
儋州市海頭鎮(zhèn)、錦州市義縣、臨高縣波蓮鎮(zhèn)、河源市東源縣、福州市閩清縣、天水市清水縣、張掖市甘州區(qū)、北京市密云區(qū)
岳陽(yáng)市華容縣、揚(yáng)州市儀征市、梅州市豐順縣、汕尾市城區(qū)、新鄉(xiāng)市獲嘉縣
大興安嶺地區(qū)漠河市、重慶市忠縣、廣州市花都區(qū)、寧夏吳忠市鹽池縣、內(nèi)江市資中縣、儋州市海頭鎮(zhèn)、太原市陽(yáng)曲縣、莆田市涵江區(qū)、呂梁市交口縣、臨夏臨夏縣
綿陽(yáng)市北川羌族自治縣、畢節(jié)市七星關(guān)區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市集寧區(qū)、滁州市全椒縣、菏澤市單縣、臨汾市浮山縣、阜陽(yáng)市界首市
襄陽(yáng)市谷城縣、日照市莒縣、五指山市毛陽(yáng)、運(yùn)城市稷山縣、平頂山市舞鋼市、聊城市冠縣
泰州市高港區(qū)、六安市舒城縣、蕪湖市南陵縣、白城市大安市、商洛市丹鳳縣、周口市川匯區(qū)、鶴壁市山城區(qū)
哈爾濱市延壽縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市杭錦旗、宣城市宣州區(qū)、宜春市靖安縣、滁州市南譙區(qū)
沈陽(yáng)市沈北新區(qū)、天水市武山縣、大理巍山彝族回族自治縣、韶關(guān)市南雄市、恩施州利川市、鄭州市鞏義市、瀘州市納溪區(qū)、蘇州市太倉(cāng)市、通化市通化縣
廣西崇左市江州區(qū)、漳州市南靖縣、淮安市漣水縣、寧德市蕉城區(qū)、黃石市大冶市、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特后旗、畢節(jié)市大方縣、沈陽(yáng)市皇姑區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市賽罕區(qū)、雙鴨山市寶山區(qū)
江門(mén)市江海區(qū)、焦作市解放區(qū)、贛州市于都縣、廣西百色市平果市、紅河紅河縣、蘇州市姑蘇區(qū)、甘孜瀘定縣、重慶市長(zhǎng)壽區(qū)
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廣西欽州市欽北區(qū)、攀枝花市東區(qū)、滁州市南譙區(qū)、六盤(pán)水市盤(pán)州市、臨汾市侯馬市、廣西百色市平果市、隴南市宕昌縣、澄邁縣瑞溪鎮(zhèn)、宜昌市秭歸縣、忻州市神池縣
晉中市榆社縣、長(zhǎng)治市潞州區(qū)、黃山市祁門(mén)縣、牡丹江市穆棱市、汕頭市濠江區(qū)
東莞市常平鎮(zhèn)、張掖市臨澤縣、海西蒙古族茫崖市、通化市柳河縣、曲靖市宣威市、西雙版納景洪市、盤(pán)錦市雙臺(tái)子區(qū)、重慶市酉陽(yáng)縣、吉林市樺甸市、畢節(jié)市金沙縣
海東市互助土族自治縣、湘潭市湘鄉(xiāng)市、延安市洛川縣、陵水黎族自治縣椰林鎮(zhèn)、株洲市茶陵縣、哈爾濱市道里區(qū)、平頂山市石龍區(qū)、廣元市利州區(qū)、陵水黎族自治縣提蒙鄉(xiāng)
保亭黎族苗族自治縣保城鎮(zhèn)、宣城市寧國(guó)市、上饒市信州區(qū)、信陽(yáng)市羅山縣、齊齊哈爾市建華區(qū)
菏澤市定陶區(qū)、鄭州市中牟縣、蕪湖市灣沚區(qū)、廣西來(lái)賓市金秀瑤族自治縣、金華市武義縣、惠州市惠陽(yáng)區(qū)、贛州市會(huì)昌縣
內(nèi)蒙古烏蘭察布市興和縣、楚雄祿豐市、安順市平壩區(qū)、慶陽(yáng)市正寧縣、揭陽(yáng)市普寧市、聊城市東阿縣、瀘州市納溪區(qū)、玉溪市峨山彝族自治縣、內(nèi)江市東興區(qū)、海南共和縣
運(yùn)城市鹽湖區(qū)、南京市浦口區(qū)、紅河建水縣、衡陽(yáng)市耒陽(yáng)市、梅州市豐順縣、許昌市長(zhǎng)葛市、文昌市龍樓鎮(zhèn)、海南貴南縣、寧夏石嘴山市大武口區(qū)
新鄉(xiāng)市衛(wèi)輝市、南平市建陽(yáng)區(qū)、曲靖市沾益區(qū)、玉樹(shù)囊謙縣、資陽(yáng)市安岳縣、襄陽(yáng)市宜城市、南昌市東湖區(qū)、咸陽(yáng)市永壽縣
鶴壁市浚縣、安陽(yáng)市北關(guān)區(qū)、濮陽(yáng)市南樂(lè)縣、屯昌縣屯城鎮(zhèn)、杭州市淳安縣、遵義市仁懷市、南昌市南昌縣、內(nèi)蒙古通遼市庫(kù)倫旗
河源市東源縣、哈爾濱市通河縣、達(dá)州市萬(wàn)源市、阜陽(yáng)市太和縣、安慶市潛山市、周口市扶溝縣、安慶市大觀區(qū)、延安市黃龍縣、廣西貴港市港南區(qū)
孝感市孝南區(qū)、廣西南寧市青秀區(qū)、渭南市合陽(yáng)縣、長(zhǎng)沙市長(zhǎng)沙縣、平頂山市湛河區(qū)、寧夏石嘴山市大武口區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市卓資縣、無(wú)錫市錫山區(qū)、鐵嶺市銀州區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市烏審旗
揚(yáng)州市邗江區(qū)、廣西百色市田陽(yáng)區(qū)、臨高縣調(diào)樓鎮(zhèn)、宜昌市興山縣、蘇州市吳江區(qū)、延安市甘泉縣、葫蘆島市綏中縣、天津市薊州區(qū)、內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善右旗
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蘇州市相城區(qū)、晉中市榆次區(qū)、郴州市蘇仙區(qū)、南充市閬中市、杭州市江干區(qū)、晉中市介休市、駐馬店市平輿縣
宿州市埇橋區(qū)、伊春市友好區(qū)、池州市石臺(tái)縣、德陽(yáng)市綿竹市、天津市薊州區(qū)、萬(wàn)寧市南橋鎮(zhèn)、?？谑旋埲A區(qū)、酒泉市阿克塞哈薩克族自治縣、廣西來(lái)賓市忻城縣
廣西梧州市龍圩區(qū)、婁底市新化縣、鶴崗市蘿北縣、澄邁縣橋頭鎮(zhèn)、萍鄉(xiāng)市上栗縣、寶雞市太白縣
白山市長(zhǎng)白朝鮮族自治縣、內(nèi)江市東興區(qū)、攀枝花市鹽邊縣、南昌市青云譜區(qū)、銅仁市沿河土家族自治縣、遼陽(yáng)市白塔區(qū)、東方市東河鎮(zhèn)
齊齊哈爾市昂昂溪區(qū)、恩施州宣恩縣、黃山市祁門(mén)縣、成都市都江堰市、內(nèi)江市資中縣、宿州市靈璧縣
內(nèi)蒙古鄂爾多斯市準(zhǔn)格爾旗、雅安市滎經(jīng)縣、濰坊市高密市、廣西百色市平果市、涼山喜德縣、廣安市鄰水縣、北京市房山區(qū)、長(zhǎng)治市平順縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克前旗
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開(kāi)發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開(kāi)展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶(hù)有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷(xiāo)售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專(zhuān)注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)铮∧C(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷(xiāo)售收入4.64億元、封測(cè)銷(xiāo)售收入1.48億元、材料銷(xiāo)售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷(xiāo)售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開(kāi)源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車(chē)廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶(hù)和目標(biāo)客戶(hù)中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門(mén)檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶(hù)會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車(chē)用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車(chē)用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開(kāi)發(fā)。
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