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東莞市麻涌鎮(zhèn)、懷化市新晃侗族自治縣、衢州市常山縣、汕頭市金平區(qū)、?？谑协偵絽^(qū)、延安市黃龍縣
重慶市巴南區(qū)、金華市婺城區(qū)、綏化市蘭西縣、上海市浦東新區(qū)、新鄉(xiāng)市長(zhǎng)垣市
錦州市古塔區(qū)、上海市虹口區(qū)、深圳市坪山區(qū)、白城市洮南市、昆明市呈貢區(qū)、吉安市廬陵新區(qū)、宣城市旌德縣、三明市永安市、河源市源城區(qū)
屯昌縣烏坡鎮(zhèn)、舟山市嵊泗縣、三明市明溪縣、佳木斯市樺川縣、懷化市靖州苗族侗族自治縣
九江市共青城市、宜春市上高縣、廣西來(lái)賓市忻城縣、遵義市赤水市、宜昌市興山縣、漳州市平和縣、黔東南丹寨縣、漢中市略陽(yáng)縣、廣元市昭化區(qū)
寶雞市陳倉(cāng)區(qū)、白沙黎族自治縣細(xì)水鄉(xiāng)、濟(jì)南市歷下區(qū)、隴南市宕昌縣、畢節(jié)市織金縣、萬(wàn)寧市三更羅鎮(zhèn)、吉安市安?？h、揭陽(yáng)市普寧市、天水市張家川回族自治縣
常州市金壇區(qū)、株洲市炎陵縣、瓊海市龍江鎮(zhèn)、佳木斯市樺川縣、滁州市定遠(yuǎn)縣、長(zhǎng)治市壺關(guān)縣、哈爾濱市延壽縣、綿陽(yáng)市安州區(qū)、鐵嶺市銀州區(qū)
麗水市景寧畬族自治縣、德陽(yáng)市綿竹市、中山市三鄉(xiāng)鎮(zhèn)、武威市涼州區(qū)、宿州市碭山縣、淮北市相山區(qū)
臨汾市曲沃縣、渭南市韓城市、蘭州市七里河區(qū)、張家界市慈利縣、滁州市瑯琊區(qū)、楚雄姚安縣、鹽城市鹽都區(qū)
保山市昌寧縣、杭州市富陽(yáng)區(qū)、商丘市寧陵縣、遼陽(yáng)市遼陽(yáng)縣、東莞市常平鎮(zhèn)、泰安市肥城市、許昌市建安區(qū)
濰坊市昌樂(lè)縣、嘉峪關(guān)市文殊鎮(zhèn)、清遠(yuǎn)市清新區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟錫林浩特市、鶴壁市淇縣、開(kāi)封市尉氏縣、白城市洮北區(qū)、蕪湖市灣沚區(qū)
池州市貴池區(qū)、德州市齊河縣、上海市長(zhǎng)寧區(qū)、澄邁縣大豐鎮(zhèn)、漳州市華安縣、晉中市昔陽(yáng)縣、河源市龍川縣、呂梁市臨縣、隴南市徽縣
內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善左旗、大理云龍縣、沈陽(yáng)市渾南區(qū)、江門(mén)市蓬江區(qū)、昆明市嵩明縣、株洲市醴陵市、南充市西充縣
安康市鎮(zhèn)坪縣、臺(tái)州市仙居縣、達(dá)州市開(kāi)江縣、湘潭市湘鄉(xiāng)市、遼陽(yáng)市弓長(zhǎng)嶺區(qū)、甘孜爐霍縣、杭州市下城區(qū)、三亞市崖州區(qū)
寧波市慈溪市、衢州市柯城區(qū)、玉溪市江川區(qū)、甘孜九龍縣、阜新市清河門(mén)區(qū)、慶陽(yáng)市西峰區(qū)、鐵嶺市調(diào)兵山市、朔州市右玉縣、重慶市南川區(qū)、廣西賀州市八步區(qū)
吉安市吉州區(qū)、黃岡市黃梅縣、雅安市雨城區(qū)、臨汾市侯馬市、貴陽(yáng)市花溪區(qū)、濟(jì)南市商河縣、白銀市會(huì)寧縣、寧夏銀川市賀蘭縣
上海市虹口區(qū)、蕪湖市鳩江區(qū)、眉山市青神縣、東莞市樟木頭鎮(zhèn)、忻州市五寨縣
隨州市曾都區(qū)、湖州市長(zhǎng)興縣、四平市公主嶺市、洛陽(yáng)市宜陽(yáng)縣、牡丹江市東寧市、大同市靈丘縣
臨汾市堯都區(qū)、衢州市龍游縣、廣安市華鎣市、晉中市昔陽(yáng)縣、白山市長(zhǎng)白朝鮮族自治縣
寧德市壽寧縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市化德縣、荊州市松滋市、廣西崇左市寧明縣、昆明市尋甸回族彝族自治縣、平頂山市寶豐縣、丹東市東港市、汕頭市潮南區(qū)、銅陵市樅陽(yáng)縣、遼陽(yáng)市白塔區(qū)
鞍山市鐵東區(qū)、麗水市云和縣、三門(mén)峽市陜州區(qū)、梅州市平遠(yuǎn)縣、南陽(yáng)市南召縣、湖州市吳興區(qū)、淮北市濉溪縣、阜陽(yáng)市潁州區(qū)
儋州市南豐鎮(zhèn)、大同市平城區(qū)、鷹潭市余江區(qū)、懷化市洪江市、陵水黎族自治縣新村鎮(zhèn)
西安市碑林區(qū)、重慶市城口縣、東莞市橋頭鎮(zhèn)、麗水市慶元縣、渭南市澄城縣、長(zhǎng)春市榆樹(shù)市、溫州市洞頭區(qū)、濟(jì)南市萊蕪區(qū)、廣西來(lái)賓市興賓區(qū)、遼陽(yáng)市文圣區(qū)
昭通市綏江縣、黃岡市黃梅縣、晉中市榆次區(qū)、襄陽(yáng)市宜城市、濟(jì)寧市曲阜市、雞西市梨樹(shù)區(qū)、宜賓市珙縣
安陽(yáng)市林州市、五指山市毛道、佳木斯市東風(fēng)區(qū)、海口市美蘭區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市青山區(qū)
上海市長(zhǎng)寧區(qū)、遂寧市蓬溪縣、湛江市吳川市、黔南長(zhǎng)順縣、宜昌市長(zhǎng)陽(yáng)土家族自治縣、重慶市南岸區(qū)、周口市鹿邑縣
銅仁市印江縣、中山市中山港街道、儋州市光村鎮(zhèn)、宜春市萬(wàn)載縣、天津市南開(kāi)區(qū)、涼山普格縣、海東市平安區(qū)、永州市零陵區(qū)
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甘南碌曲縣、九江市湖口縣、婁底市婁星區(qū)、酒泉市玉門(mén)市、日照市東港區(qū)、七臺(tái)河市勃利縣、新鄉(xiāng)市原陽(yáng)縣、吉林市舒蘭市
晉城市沁水縣、池州市貴池區(qū)、長(zhǎng)沙市雨花區(qū)、天津市紅橋區(qū)、大連市瓦房店市
岳陽(yáng)市平江縣、漯河市郾城區(qū)、福州市閩清縣、昆明市尋甸回族彝族自治縣、平頂山市汝州市、東莞市茶山鎮(zhèn)、玉溪市通?？h、麗水市云和縣、北京市懷柔區(qū)、懷化市洪江市
五指山市通什、廣西賀州市鐘山縣、寧夏吳忠市鹽池縣、銅仁市萬(wàn)山區(qū)、珠海市斗門(mén)區(qū)、通化市梅河口市、臨夏和政縣
運(yùn)城市芮城縣、安陽(yáng)市龍安區(qū)、晉中市祁縣、駐馬店市正陽(yáng)縣、大連市莊河市
恩施州巴東縣、紅河建水縣、泰安市泰山區(qū)、深圳市龍崗區(qū)、黔東南臺(tái)江縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市四子王旗、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市臨河區(qū)
安陽(yáng)市龍安區(qū)、酒泉市肅北蒙古族自治縣、聊城市高唐縣、中山市港口鎮(zhèn)、漯河市源匯區(qū)、南通市如皋市、北京市海淀區(qū)、涼山會(huì)理市
六盤(pán)水市六枝特區(qū)、南京市六合區(qū)、黔南福泉市、榆林市佳縣、大連市旅順口區(qū)、重慶市開(kāi)州區(qū)、東方市東河鎮(zhèn)、臨高縣臨城鎮(zhèn)、昌江黎族自治縣石碌鎮(zhèn)
吉林市樺甸市、攀枝花市米易縣、南充市儀隴縣、衡陽(yáng)市衡山縣、滁州市南譙區(qū)、黔西南興仁市、白銀市景泰縣
蘇州市常熟市、連云港市連云區(qū)、永州市雙牌縣、肇慶市端州區(qū)、寶雞市扶風(fēng)縣、文昌市馮坡鎮(zhèn)、定安縣嶺口鎮(zhèn)、鶴崗市南山區(qū)、宜昌市當(dāng)陽(yáng)市、?？谑忻捞m區(qū)
寧夏吳忠市同心縣、重慶市石柱土家族自治縣、開(kāi)封市杞縣、泉州市石獅市、內(nèi)蒙古烏蘭察布市商都縣、朔州市應(yīng)縣、雅安市滎經(jīng)縣、漯河市源匯區(qū)、安慶市宜秀區(qū)、漳州市長(zhǎng)泰區(qū)
呂梁市交城縣、廣西賀州市鐘山縣、丹東市鳳城市、呂梁市汾陽(yáng)市、內(nèi)江市威遠(yuǎn)縣、洛陽(yáng)市瀍河回族區(qū)、威海市文登區(qū)
文昌市文城鎮(zhèn)、巴中市通江縣、遵義市紅花崗區(qū)、甘孜鄉(xiāng)城縣、安順市普定縣、黃岡市武穴市、廣元市青川縣、臨汾市汾西縣、佳木斯市樺川縣
商丘市虞城縣、陽(yáng)泉市礦區(qū)、楚雄姚安縣、臨夏廣河縣、鞍山市岫巖滿族自治縣、內(nèi)蒙古興安盟阿爾山市、瓊海市陽(yáng)江鎮(zhèn)
臨滄市鎮(zhèn)康縣、阜新市細(xì)河區(qū)、萬(wàn)寧市和樂(lè)鎮(zhèn)、萍鄉(xiāng)市蘆溪縣、黃石市下陸區(qū)、漢中市西鄉(xiāng)縣、綏化市蘭西縣、內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善左旗、長(zhǎng)春市南關(guān)區(qū)、常州市武進(jìn)區(qū)
紅河建水縣、云浮市郁南縣、菏澤市鄄城縣、濱州市鄒平市、黔南長(zhǎng)順縣、恩施州恩施市
南通市海門(mén)區(qū)、廣西河池市大化瑤族自治縣、內(nèi)蒙古赤峰市林西縣、重慶市北碚區(qū)、牡丹江市林口縣、阿壩藏族羌族自治州理縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市新城區(qū)
臨高縣東英鎮(zhèn)、銅陵市郊區(qū)、許昌市襄城縣、東營(yíng)市東營(yíng)區(qū)、溫州市樂(lè)清市、濟(jì)寧市魚(yú)臺(tái)縣、大理劍川縣
蚌埠市龍子湖區(qū)、南平市光澤縣、揚(yáng)州市高郵市、六盤(pán)水市六枝特區(qū)、福州市永泰縣、萬(wàn)寧市三更羅鎮(zhèn)、珠海市金灣區(qū)、大同市左云縣
南平市延平區(qū)、武威市天祝藏族自治縣、周口市商水縣、榆林市子洲縣、陽(yáng)江市陽(yáng)西縣、廣西南寧市興寧區(qū)、四平市雙遼市、北京市西城區(qū)、咸陽(yáng)市興平市、瓊海市長(zhǎng)坡鎮(zhèn)
廣西桂林市荔浦市、哈爾濱市平房區(qū)、東方市江邊鄉(xiāng)、南陽(yáng)市鎮(zhèn)平縣、漢中市洋縣、淮安市淮陰區(qū)、榆林市吳堡縣、中山市東區(qū)街道
畢節(jié)市納雍縣、臨汾市安澤縣、達(dá)州市通川區(qū)、西寧市城中區(qū)、龍巖市新羅區(qū)、牡丹江市陽(yáng)明區(qū)、廣西崇左市大新縣
臨滄市永德縣、北京市平谷區(qū)、漳州市東山縣、楚雄雙柏縣、眉山市東坡區(qū)、上饒市廣信區(qū)、長(zhǎng)治市壺關(guān)縣、宿遷市宿豫區(qū)
吉安市廬陵新區(qū)、汕尾市陸河縣、安陽(yáng)市湯陰縣、駐馬店市上蔡縣、玉溪市通?？h
廣西柳州市三江侗族自治縣、焦作市中站區(qū)、鶴崗市工農(nóng)區(qū)、廣西河池市都安瑤族自治縣、廣西桂林市平樂(lè)縣、哈爾濱市道外區(qū)、益陽(yáng)市赫山區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼中旗
文昌市東郊鎮(zhèn)、渭南市大荔縣、廣西百色市西林縣、懷化市鶴城區(qū)、廣西桂林市七星區(qū)、東莞市東城街道
普洱市景東彝族自治縣、畢節(jié)市七星關(guān)區(qū)、遂寧市船山區(qū)、咸陽(yáng)市禮泉縣、陵水黎族自治縣本號(hào)鎮(zhèn)、南平市順昌縣、文昌市抱羅鎮(zhèn)、臨沂市平邑縣、黔南都勻市
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開(kāi)發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開(kāi)展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開(kāi)源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門(mén)檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開(kāi)發(fā)。
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