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黔南甕安縣、延邊安圖縣、邵陽(yáng)市洞口縣、焦作市博愛(ài)縣、昆明市石林彝族自治縣、大連市長(zhǎng)?？h
周口市鄲城縣、濰坊市奎文區(qū)、紅河瀘西縣、白沙黎族自治縣阜龍鄉(xiāng)、遼源市東豐縣、紅河彌勒市、蘇州市昆山市、渭南市白水縣、東莞市鳳崗鎮(zhèn)、張掖市肅南裕固族自治縣
景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)、安陽(yáng)市林州市、郴州市臨武縣、商丘市夏邑縣、周口市商水縣、鶴崗市興安區(qū)、濟(jì)南市鋼城區(qū)
寶雞市陳倉(cāng)區(qū)、六安市葉集區(qū)、金華市金東區(qū)、瀘州市敘永縣、衢州市衢江區(qū)、廣西百色市田林縣、成都市新津區(qū)
十堰市竹山縣、上海市青浦區(qū)、蕪湖市繁昌區(qū)、樂(lè)山市井研縣、武威市古浪縣、衡陽(yáng)市衡東縣、萬(wàn)寧市山根鎮(zhèn)、昭通市彝良縣、牡丹江市東寧市、陽(yáng)江市陽(yáng)西縣
蘇州市昆山市、廣西貴港市港南區(qū)、宜春市奉新縣、東莞市橫瀝鎮(zhèn)、白銀市會(huì)寧縣、榆林市吳堡縣、內(nèi)蒙古烏海市海勃灣區(qū)
紅河元陽(yáng)縣、東莞市石龍鎮(zhèn)、溫州市鹿城區(qū)、太原市古交市、涼山會(huì)理市、鶴崗市南山區(qū)
駐馬店市上蔡縣、鄭州市金水區(qū)、新鄉(xiāng)市長(zhǎng)垣市、果洛瑪多縣、駐馬店市平輿縣、孝感市安陸市、淮安市淮陰區(qū)、天津市和平區(qū)、駐馬店市汝南縣、銅仁市江口縣
天水市甘谷縣、南陽(yáng)市宛城區(qū)、武漢市江岸區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市開(kāi)魯縣、內(nèi)蒙古包頭市固陽(yáng)縣、三明市永安市、常德市漢壽縣
內(nèi)蒙古呼和浩特市武川縣、萬(wàn)寧市山根鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市杭錦旗、漢中市勉縣、黔南三都水族自治縣、鎮(zhèn)江市丹徒區(qū)、北京市豐臺(tái)區(qū)、遼源市東遼縣
新鄉(xiāng)市原陽(yáng)縣、邵陽(yáng)市北塔區(qū)、湛江市霞山區(qū)、紹興市諸暨市、咸陽(yáng)市武功縣、東莞市石龍鎮(zhèn)、銅陵市樅陽(yáng)縣
潮州市潮安區(qū)、紹興市上虞區(qū)、撫州市東鄉(xiāng)區(qū)、濮陽(yáng)市華龍區(qū)、福州市臺(tái)江區(qū)、廣西來(lái)賓市興賓區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市寧城縣
西寧市城西區(qū)、伊春市南岔縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟太仆寺旗、白沙黎族自治縣阜龍鄉(xiāng)、河源市和平縣、貴陽(yáng)市觀山湖區(qū)
聊城市陽(yáng)谷縣、渭南市澄城縣、中山市大涌鎮(zhèn)、黔南平塘縣、紅河開(kāi)遠(yuǎn)市、重慶市榮昌區(qū)
福州市閩侯縣、商丘市寧陵縣、文昌市東郊鎮(zhèn)、迪慶德欽縣、信陽(yáng)市光山縣
三明市沙縣區(qū)、通化市通化縣、文山文山市、常德市澧縣、淮南市潘集區(qū)
臨高縣南寶鎮(zhèn)、濱州市惠民縣、濰坊市高密市、楚雄永仁縣、宣城市郎溪縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市玉泉區(qū)、白沙黎族自治縣金波鄉(xiāng)、常德市安鄉(xiāng)縣、湘西州瀘溪縣
松原市扶余市、臨汾市汾西縣、金昌市金川區(qū)、溫州市龍灣區(qū)、文昌市錦山鎮(zhèn)
龍巖市武平縣、紅河金平苗族瑤族傣族自治縣、上饒市鄱陽(yáng)縣、廣西桂林市永?？h、廣西南寧市邕寧區(qū)、懷化市芷江侗族自治縣、南平市順昌縣、牡丹江市林口縣
雞西市麻山區(qū)、哈爾濱市松北區(qū)、貴陽(yáng)市花溪區(qū)、湘西州鳳凰縣、甘孜雅江縣、東方市大田鎮(zhèn)、儋州市王五鎮(zhèn)、長(zhǎng)春市雙陽(yáng)區(qū)
上海市青浦區(qū)、梅州市興寧市、鶴壁市淇濱區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市托克托縣、隴南市徽縣、貴陽(yáng)市開(kāi)陽(yáng)縣、淄博市沂源縣、麗江市玉龍納西族自治縣
肇慶市高要區(qū)、東方市新龍鎮(zhèn)、雙鴨山市四方臺(tái)區(qū)、綿陽(yáng)市游仙區(qū)、忻州市靜樂(lè)縣、撫順市順城區(qū)、泉州市安溪縣
新鄉(xiāng)市獲嘉縣、大慶市林甸縣、廣西柳州市魚(yú)峰區(qū)、黃岡市浠水縣、渭南市大荔縣
昌江黎族自治縣石碌鎮(zhèn)、九江市德安縣、贛州市會(huì)昌縣、昭通市彝良縣、吉安市吉州區(qū)
湛江市遂溪縣、上饒市德興市、淄博市張店區(qū)、瀘州市龍馬潭區(qū)、寧波市江北區(qū)、涼山會(huì)東縣、陵水黎族自治縣椰林鎮(zhèn)、眉山市洪雅縣、棗莊市市中區(qū)
平頂山市汝州市、肇慶市懷集縣、德陽(yáng)市綿竹市、中山市小欖鎮(zhèn)、上海市長(zhǎng)寧區(qū)、荊門(mén)市沙洋縣、許昌市建安區(qū)、銅陵市樅陽(yáng)縣、泰安市泰山區(qū)、重慶市武隆區(qū)
內(nèi)蒙古呼倫貝爾市額爾古納市、徐州市泉山區(qū)、黔東南凱里市、北京市海淀區(qū)、甘南夏河縣、濟(jì)南市市中區(qū)、雅安市天全縣、瓊海市陽(yáng)江鎮(zhèn)、大理賓川縣
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揭陽(yáng)市揭東區(qū)、樂(lè)東黎族自治縣鶯歌海鎮(zhèn)、南平市光澤縣、松原市扶余市、商洛市商南縣、南京市六合區(qū)、果洛瑪多縣、邵陽(yáng)市綏寧縣、揚(yáng)州市江都區(qū)
哈爾濱市依蘭縣、運(yùn)城市鹽湖區(qū)、廣西防城港市上思縣、揭陽(yáng)市惠來(lái)縣、臺(tái)州市三門(mén)縣、臨夏康樂(lè)縣、河源市龍川縣
雙鴨山市寶山區(qū)、重慶市榮昌區(qū)、濟(jì)寧市魚(yú)臺(tái)縣、運(yùn)城市絳縣、常州市武進(jìn)區(qū)、延安市延長(zhǎng)縣、樂(lè)山市市中區(qū)
雞西市滴道區(qū)、臨汾市襄汾縣、延邊琿春市、株洲市淥口區(qū)、臨沂市蒙陰縣
松原市長(zhǎng)嶺縣、六盤(pán)水市鐘山區(qū)、太原市婁煩縣、樂(lè)山市犍為縣、麗水市慶元縣
三明市泰寧縣、駐馬店市西平縣、廣西梧州市岑溪市、延安市黃龍縣、張掖市民樂(lè)縣、紹興市柯橋區(qū)、達(dá)州市開(kāi)江縣、泰州市姜堰區(qū)、杭州市濱江區(qū)、東莞市樟木頭鎮(zhèn)
哈爾濱市呼蘭區(qū)、達(dá)州市達(dá)川區(qū)、南昌市灣里區(qū)、上海市閔行區(qū)、萬(wàn)寧市后安鎮(zhèn)
馬鞍山市和縣、貴陽(yáng)市息烽縣、榆林市榆陽(yáng)區(qū)、定安縣龍門(mén)鎮(zhèn)、黃石市鐵山區(qū)、珠海市香洲區(qū)、屯昌縣坡心鎮(zhèn)、內(nèi)江市東興區(qū)
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延安市宜川縣、伊春市金林區(qū)、懷化市中方縣、駐馬店市汝南縣、成都市彭州市、安慶市桐城市、淄博市臨淄區(qū)、玉溪市江川區(qū)
重慶市黔江區(qū)、常德市武陵區(qū)、南陽(yáng)市宛城區(qū)、黃岡市浠水縣、內(nèi)蒙古烏海市海南區(qū)、安順市平壩區(qū)、天津市西青區(qū)、泰州市泰興市、濰坊市高密市、洛陽(yáng)市西工區(qū)
瓊海市陽(yáng)江鎮(zhèn)、忻州市河曲縣、南平市松溪縣、十堰市鄖陽(yáng)區(qū)、雅安市漢源縣、長(zhǎng)春市二道區(qū)、晉中市平遙縣、焦作市修武縣
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玉溪市澄江市、廣州市番禺區(qū)、鷹潭市月湖區(qū)、懷化市辰溪縣、襄陽(yáng)市襄城區(qū)、商丘市寧陵縣
襄陽(yáng)市南漳縣、廣西百色市田東縣、儋州市木棠鎮(zhèn)、宿州市蕭縣、巴中市恩陽(yáng)區(qū)、寧夏銀川市靈武市、廣西賀州市平桂區(qū)、咸陽(yáng)市涇陽(yáng)縣、涼山冕寧縣
漳州市龍海區(qū)、廣西柳州市魚(yú)峰區(qū)、哈爾濱市平房區(qū)、岳陽(yáng)市湘陰縣、紅河石屏縣、鎮(zhèn)江市潤(rùn)州區(qū)、廣安市岳池縣、洛陽(yáng)市洛龍區(qū)、澄邁縣文儒鎮(zhèn)
雞西市雞東縣、南昌市安義縣、臨高縣博厚鎮(zhèn)、七臺(tái)河市茄子河區(qū)、常德市武陵區(qū)
廣州市越秀區(qū)、常德市澧縣、懷化市通道侗族自治縣、海南興?？h、保山市龍陵縣、廣西桂林市象山區(qū)、廣西防城港市防城區(qū)、合肥市廬江縣
臨沂市沂南縣、南昌市安義縣、河源市連平縣、平?jīng)鍪徐o寧縣、滁州市南譙區(qū)、吉安市吉州區(qū)、延邊汪清縣
荊門(mén)市沙洋縣、寶雞市鳳翔區(qū)、大理鶴慶縣、菏澤市曹縣、臨沂市平邑縣、汕頭市濠江區(qū)、臺(tái)州市臨海市、泰安市寧陽(yáng)縣、惠州市博羅縣
慶陽(yáng)市西峰區(qū)、涼山會(huì)理市、泉州市安溪縣、酒泉市敦煌市、太原市尖草坪區(qū)、六安市霍邱縣、惠州市惠城區(qū)、齊齊哈爾市泰來(lái)縣、汕頭市南澳縣
哈爾濱市方正縣、滁州市瑯琊區(qū)、阿壩藏族羌族自治州阿壩縣、阜陽(yáng)市潁東區(qū)、東方市東河鎮(zhèn)、廈門(mén)市海滄區(qū)、湘潭市雨湖區(qū)、揚(yáng)州市儀征市、撫州市臨川區(qū)、景德鎮(zhèn)市珠山區(qū)
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開(kāi)發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開(kāi)展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷(xiāo)售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專(zhuān)注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷(xiāo)售收入4.64億元、封測(cè)銷(xiāo)售收入1.48億元、材料銷(xiāo)售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷(xiāo)售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開(kāi)源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車(chē)廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門(mén)檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜。”黃道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車(chē)用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車(chē)用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開(kāi)發(fā)。
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