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涼山雷波縣、鎮(zhèn)江市揚(yáng)中市、安慶市懷寧縣、南充市南部縣、漳州市南靖縣、黃南尖扎縣、佳木斯市富錦市
福州市福清市、中山市三角鎮(zhèn)、大理巍山彝族回族自治縣、麗江市古城區(qū)、平頂山市新華區(qū)、上饒市鉛山縣、商丘市柘城縣
儋州市白馬井鎮(zhèn)、贛州市寧都縣、寧波市江北區(qū)、麗水市慶元縣、鐵嶺市調(diào)兵山市
九江市柴桑區(qū)、天水市張家川回族自治縣、福州市臺江區(qū)、湛江市廉江市、廣西崇左市扶綏縣、甘南夏河縣、廣西賀州市平桂區(qū)、文山富寧縣、嘉峪關(guān)市新城鎮(zhèn)、黔南三都水族自治縣
內(nèi)蒙古通遼市科爾沁區(qū)、黃岡市英山縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟正藍(lán)旗、南通市如皋市、滁州市來安縣、衢州市江山市、廣元市旺蒼縣、盤錦市興隆臺區(qū)
長治市平順縣、達(dá)州市達(dá)川區(qū)、廣元市朝天區(qū)、太原市晉源區(qū)、廣西百色市平果市、東莞市鳳崗鎮(zhèn)、廈門市海滄區(qū)
商丘市寧陵縣、蚌埠市蚌山區(qū)、婁底市冷水江市、廣西百色市田陽區(qū)、朝陽市龍城區(qū)、白沙黎族自治縣七坊鎮(zhèn)、溫州市瑞安市
五指山市毛陽、臨沂市蒙陰縣、十堰市丹江口市、江門市恩平市、洛陽市欒川縣
廣西梧州市長洲區(qū)、哈爾濱市南崗區(qū)、株洲市炎陵縣、溫州市文成縣、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼前旗、內(nèi)蒙古赤峰市巴林左旗、北京市房山區(qū)、寶雞市陳倉區(qū)
昆明市五華區(qū)、長治市沁縣、宜春市萬載縣、金昌市金川區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市阿榮旗、萬寧市三更羅鎮(zhèn)、瓊海市嘉積鎮(zhèn)、南陽市唐河縣、新鄉(xiāng)市長垣市
連云港市灌南縣、臨汾市安澤縣、六盤水市水城區(qū)、河源市龍川縣、德宏傣族景頗族自治州盈江縣、臨高縣新盈鎮(zhèn)、本溪市南芬區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市五原縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市商都縣、陽泉市城區(qū)
三明市寧化縣、牡丹江市穆棱市、廣州市荔灣區(qū)、荊州市公安縣、九江市都昌縣、瓊海市塔洋鎮(zhèn)、麗水市青田縣、湖州市長興縣、南京市鼓樓區(qū)
三明市泰寧縣、玉溪市易門縣、文昌市抱羅鎮(zhèn)、六盤水市水城區(qū)、上海市普陀區(qū)、昭通市永善縣、內(nèi)蒙古包頭市九原區(qū)
銅仁市沿河土家族自治縣、信陽市商城縣、黑河市五大連池市、蕪湖市南陵縣、哈爾濱市南崗區(qū)、駐馬店市正陽縣、安康市白河縣
菏澤市巨野縣、南京市雨花臺區(qū)、貴陽市烏當(dāng)區(qū)、鄂州市梁子湖區(qū)、重慶市奉節(jié)縣、撫順市望花區(qū)、濮陽市濮陽縣
涼山雷波縣、上饒市萬年縣、清遠(yuǎn)市連州市、撫州市黎川縣、益陽市安化縣、楚雄楚雄市、商丘市虞城縣、盤錦市大洼區(qū)
潮州市潮安區(qū)、達(dá)州市萬源市、天津市北辰區(qū)、涼山雷波縣、武威市天祝藏族自治縣、邵陽市北塔區(qū)
大同市天鎮(zhèn)縣、伊春市伊美區(qū)、菏澤市牡丹區(qū)、重慶市石柱土家族自治縣、萬寧市龍滾鎮(zhèn)
內(nèi)蒙古錫林郭勒盟鑲黃旗、玉樹曲麻萊縣、合肥市包河區(qū)、黔南惠水縣、內(nèi)蒙古赤峰市巴林右旗、佛山市三水區(qū)、滁州市來安縣、朝陽市雙塔區(qū)、麗水市遂昌縣
畢節(jié)市赫章縣、咸陽市興平市、西安市碑林區(qū)、鶴崗市興安區(qū)、重慶市渝北區(qū)、濰坊市壽光市、鄭州市惠濟(jì)區(qū)、陽江市江城區(qū)
忻州市代縣、東莞市石龍鎮(zhèn)、長治市沁縣、上海市松江區(qū)、慶陽市寧縣、邵陽市武岡市、定西市渭源縣、嘉峪關(guān)市新城鎮(zhèn)、滁州市全椒縣
自貢市富順縣、太原市萬柏林區(qū)、廣西崇左市江州區(qū)、合肥市廬江縣、新鄉(xiāng)市紅旗區(qū)、紅河元陽縣、贛州市石城縣
潮州市饒平縣、安慶市太湖縣、黔南都勻市、重慶市墊江縣、白山市長白朝鮮族自治縣、渭南市澄城縣、宜昌市秭歸縣
三明市沙縣區(qū)、定安縣龍河鎮(zhèn)、武漢市黃陂區(qū)、大興安嶺地區(qū)漠河市、呂梁市方山縣、蚌埠市五河縣、周口市淮陽區(qū)、畢節(jié)市赫章縣、內(nèi)蒙古赤峰市寧城縣、畢節(jié)市黔西市
濮陽市清豐縣、綏化市肇東市、南通市海安市、信陽市固始縣、孝感市漢川市、武漢市蔡甸區(qū)、上饒市鉛山縣、衡陽市衡東縣、岳陽市岳陽縣
阜陽市界首市、臨夏東鄉(xiāng)族自治縣、馬鞍山市和縣、晉城市沁水縣、陽江市陽東區(qū)、保山市龍陵縣、清遠(yuǎn)市清城區(qū)、湘西州鳳凰縣
西安市新城區(qū)、武漢市漢南區(qū)、自貢市自流井區(qū)、溫州市龍港市、阜陽市界首市、內(nèi)蒙古烏海市烏達(dá)區(qū)、沈陽市沈河區(qū)、延安市延川縣、泰安市肥城市、黔東南施秉縣
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福州市連江縣、西安市未央?yún)^(qū)、阿壩藏族羌族自治州壤塘縣、廣元市蒼溪縣、阿壩藏族羌族自治州黑水縣、榆林市榆陽區(qū)
白山市長白朝鮮族自治縣、沈陽市沈北新區(qū)、儋州市和慶鎮(zhèn)、撫州市宜黃縣、洛陽市汝陽縣、德州市臨邑縣、周口市鹿邑縣、青島市黃島區(qū)、韶關(guān)市翁源縣、商丘市虞城縣
東莞市石碣鎮(zhèn)、益陽市安化縣、丹東市振興區(qū)、云浮市云安區(qū)、白山市撫松縣、四平市公主嶺市、廣西南寧市良慶區(qū)、南通市啟東市、濟(jì)南市章丘區(qū)
雅安市名山區(qū)、儋州市白馬井鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古通遼市開魯縣、屯昌縣南坤鎮(zhèn)、衢州市江山市、三亞市崖州區(qū)、漢中市洋縣
南陽市鎮(zhèn)平縣、葫蘆島市龍港區(qū)、衡陽市珠暉區(qū)、盤錦市雙臺子區(qū)、東莞市橫瀝鎮(zhèn)、涼山寧南縣、恩施州恩施市
淄博市博山區(qū)、信陽市潢川縣、宜春市上高縣、廣西梧州市藤縣、文昌市文教鎮(zhèn)、鄭州市上街區(qū)、北京市西城區(qū)、許昌市鄢陵縣
洛陽市澗西區(qū)、上海市青浦區(qū)、海南同德縣、威海市榮成市、攀枝花市西區(qū)、屯昌縣坡心鎮(zhèn)
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黃岡市紅安縣、東莞市黃江鎮(zhèn)、汕尾市陸豐市、焦作市解放區(qū)、黃南同仁市、成都市成華區(qū)、溫州市龍港市
內(nèi)蒙古赤峰市巴林左旗、鹽城市建湖縣、南昌市新建區(qū)、福州市長樂區(qū)、儋州市峨蔓鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古赤峰市林西縣、大同市陽高縣、長治市黎城縣、阜新市阜新蒙古族自治縣、雙鴨山市饒河縣
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周口市項城市、內(nèi)蒙古通遼市扎魯特旗、東莞市石排鎮(zhèn)、阜陽市阜南縣、黔南荔波縣、重慶市渝北區(qū)、東營市利津縣、白山市撫松縣、焦作市解放區(qū)、宿遷市宿城區(qū)
嘉興市桐鄉(xiāng)市、青島市即墨區(qū)、咸陽市彬州市、黔東南榕江縣、臨滄市滄源佤族自治縣、淮北市濉溪縣、汕尾市海豐縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計業(yè)“一業(yè)獨大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實現(xiàn)突破。
一個標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”，運(yùn)泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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