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漳州市云霄縣、臨高縣和舍鎮(zhèn)、鄭州市滎陽市、韶關(guān)市乳源瑤族自治縣、文山西疇縣、內(nèi)蒙古通遼市扎魯特旗、綿陽市三臺縣、黑河市嫩江市、周口市扶溝縣、蚌埠市懷遠(yuǎn)縣
煙臺市龍口市、漳州市薌城區(qū)、太原市小店區(qū)、沈陽市皇姑區(qū)、綏化市望奎縣、鶴崗市蘿北縣、廣西柳州市柳江區(qū)
廣西來賓市武宣縣、沈陽市康平縣、新余市渝水區(qū)、甘孜雅江縣、晉中市左權(quán)縣、臨滄市鎮(zhèn)康縣、上饒市余干縣、新鄉(xiāng)市牧野區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市喀喇沁旗
晉城市陽城縣、鶴崗市興安區(qū)、白山市長白朝鮮族自治縣、新鄉(xiāng)市延津縣、樂東黎族自治縣萬沖鎮(zhèn)、德州市禹城市、中山市小欖鎮(zhèn)、紹興市上虞區(qū)、大慶市大同區(qū)、淮南市田家庵區(qū)
東莞市大朗鎮(zhèn)、南陽市社旗縣、黔東南施秉縣、臨夏永靖縣、金華市金東區(qū)、重慶市秀山縣、咸陽市武功縣、寧波市江北區(qū)
紅河石屏縣、韶關(guān)市湞江區(qū)、湖州市長興縣、玉樹玉樹市、岳陽市君山區(qū)
濟(jì)南市市中區(qū)、溫州市永嘉縣、東莞市莞城街道、常德市漢壽縣、綿陽市三臺縣
畢節(jié)市黔西市、昭通市昭陽區(qū)、安陽市龍安區(qū)、武漢市黃陂區(qū)、貴陽市白云區(qū)、三明市將樂縣、梅州市大埔縣、臺州市路橋區(qū)、東營市墾利區(qū)
文山馬關(guān)縣、瓊海市石壁鎮(zhèn)、南京市鼓樓區(qū)、東莞市鳳崗鎮(zhèn)、安康市漢濱區(qū)、銅仁市江口縣、甘南迭部縣、內(nèi)蒙古通遼市庫倫旗、懷化市通道侗族自治縣、宿州市蕭縣
阜陽市潁東區(qū)、達(dá)州市通川區(qū)、鹽城市大豐區(qū)、杭州市濱江區(qū)、自貢市貢井區(qū)、晉中市榆次區(qū)、雙鴨山市饒河縣、西雙版納景洪市、蚌埠市禹會區(qū)、陽江市江城區(qū)
泰安市新泰市、儋州市木棠鎮(zhèn)、平?jīng)鍪腥A亭縣、咸陽市旬邑縣、天水市麥積區(qū)、蘭州市紅古區(qū)
隴南市文縣、清遠(yuǎn)市清城區(qū)、吉林市龍?zhí)秴^(qū)、涼山普格縣、惠州市惠陽區(qū)、德宏傣族景頗族自治州梁河縣、泉州市豐澤區(qū)、紅河金平苗族瑤族傣族自治縣、普洱市瀾滄拉祜族自治縣
朝陽市朝陽縣、廣西河池市南丹縣、黔南貴定縣、宜昌市伍家崗區(qū)、煙臺市海陽市、黃石市下陸區(qū)、廣西防城港市防城區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市興和縣、四平市鐵西區(qū)、德州市齊河縣
大慶市紅崗區(qū)、丹東市東港市、合肥市廬陽區(qū)、河源市紫金縣、廣州市南沙區(qū)、渭南市合陽縣、襄陽市?？悼h、四平市鐵西區(qū)
迪慶維西傈僳族自治縣、成都市彭州市、呂梁市離石區(qū)、撫州市南豐縣、泰州市靖江市、岳陽市平江縣、昆明市富民縣、宜賓市長寧縣
隨州市曾都區(qū)、湖州市長興縣、四平市公主嶺市、洛陽市宜陽縣、牡丹江市東寧市、大同市靈丘縣
長沙市望城區(qū)、文昌市龍樓鎮(zhèn)、甘孜色達(dá)縣、煙臺市牟平區(qū)、西寧市城北區(qū)、九江市柴桑區(qū)
六盤水市鐘山區(qū)、阜新市太平區(qū)、連云港市灌云縣、定安縣翰林鎮(zhèn)、廣西來賓市合山市
吉林市船營區(qū)、咸陽市渭城區(qū)、阿壩藏族羌族自治州金川縣、荊州市江陵縣、銅陵市樅陽縣、武威市民勤縣、臨沂市羅莊區(qū)
內(nèi)蒙古通遼市科爾沁左翼后旗、孝感市大悟縣、焦作市溫縣、臨滄市滄源佤族自治縣、平頂山市魯山縣、廣州市從化區(qū)、銅仁市江口縣、貴陽市息烽縣、廈門市同安區(qū)
海口市秀英區(qū)、錦州市凌海市、儋州市木棠鎮(zhèn)、上海市寶山區(qū)、淄博市沂源縣、伊春市南岔縣、內(nèi)蒙古通遼市開魯縣、忻州市定襄縣、濟(jì)寧市任城區(qū)
安陽市安陽縣、棗莊市薛城區(qū)、湛江市遂溪縣、中山市南區(qū)街道、滁州市定遠(yuǎn)縣、臨高縣南寶鎮(zhèn)、商丘市民權(quán)縣、溫州市瑞安市、吉安市安?？h
聊城市東昌府區(qū)、海北祁連縣、朝陽市雙塔區(qū)、肇慶市四會市、襄陽市襄城區(qū)、黃南同仁市
昭通市昭陽區(qū)、撫順市東洲區(qū)、溫州市瑞安市、南京市棲霞區(qū)、綏化市明水縣、撫順市新賓滿族自治縣、延邊圖們市、大興安嶺地區(qū)塔河縣、撫順市順城區(qū)
紹興市諸暨市、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市烏審旗、宜昌市夷陵區(qū)、伊春市豐林縣、嘉興市秀洲區(qū)、上饒市廣豐區(qū)、寧夏銀川市賀蘭縣、南京市江寧區(qū)、淮安市淮安區(qū)
涼山甘洛縣、南通市通州區(qū)、白城市大安市、內(nèi)蒙古呼和浩特市托克托縣、黃岡市麻城市、黔東南從江縣、延邊琿春市、鐵嶺市鐵嶺縣、雞西市雞東縣、太原市迎澤區(qū)
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計業(yè)“一業(yè)獨大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝?yán)铮∧C、光刻機和刻蝕機是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機的多次刻蝕來實現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實現(xiàn)突破。
一個標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”，運泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線，填補了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜。”黃道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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