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太原市古交市、大連市金州區(qū)、寶雞市隴縣、重慶市忠縣、開封市杞縣
黔南長順縣、天水市張家川回族自治縣、鄭州市鞏義市、淮安市漣水縣、長沙市寧鄉(xiāng)市、郴州市嘉禾縣、連云港市海州區(qū)、河源市連平縣
遂寧市船山區(qū)、東方市感城鎮(zhèn)、黔東南岑鞏縣、昭通市水富市、遂寧市蓬溪縣、梅州市大埔縣、蘭州市七里河區(qū)
北京市懷柔區(qū)、漯河市舞陽縣、漢中市漢臺(tái)區(qū)、寧夏吳忠市紅寺堡區(qū)、揭陽市惠來縣、鞍山市岫巖滿族自治縣、沈陽市沈河區(qū)、麗水市青田縣、淮安市洪澤區(qū)、宿州市碭山縣
溫州市龍港市、淄博市博山區(qū)、廣西桂林市平樂縣、朝陽市龍城區(qū)、黃山市屯溪區(qū)、涼山冕寧縣、上饒市鄱陽縣、酒泉市玉門市
內(nèi)蒙古呼倫貝爾市根河市、汕頭市濠江區(qū)、信陽市固始縣、吉安市永新縣、滁州市南譙區(qū)、紅河瀘西縣、泉州市泉港區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市紅山區(qū)
濟(jì)南市萊蕪區(qū)、黔西南安龍縣、內(nèi)蒙古包頭市九原區(qū)、無錫市宜興市、廣西桂林市恭城瑤族自治縣、舟山市定海區(qū)、平頂山市葉縣、吉林市永吉縣
蘭州市皋蘭縣、長治市沁縣、寧夏銀川市金鳳區(qū)、鎮(zhèn)江市京口區(qū)、佛山市南海區(qū)
成都市彭州市、曲靖市陸良縣、天津市靜海區(qū)、棗莊市臺(tái)兒莊區(qū)、白山市江源區(qū)、成都市龍泉驛區(qū)、寶雞市千陽縣、北京市東城區(qū)、瓊海市石壁鎮(zhèn)
眉山市東坡區(qū)、福州市永泰縣、上饒市鉛山縣、鞍山市臺(tái)安縣、榆林市橫山區(qū)、景德鎮(zhèn)市樂平市、吉林市昌邑區(qū)、聊城市東阿縣
合肥市蜀山區(qū)、張家界市桑植縣、南陽市唐河縣、上海市靜安區(qū)、許昌市長葛市、曲靖市師宗縣、忻州市岢嵐縣、黔東南天柱縣、江門市蓬江區(qū)
濟(jì)南市槐蔭區(qū)、寧夏吳忠市青銅峽市、東莞市萬江街道、撫順市新?lián)釁^(qū)、佛山市高明區(qū)、大慶市林甸縣、上海市普陀區(qū)、廣西崇左市寧明縣
天津市紅橋區(qū)、廣西北海市鐵山港區(qū)、昭通市綏江縣、晉中市榆次區(qū)、隨州市廣水市
瓊海市陽江鎮(zhèn)、忻州市河曲縣、南平市松溪縣、十堰市鄖陽區(qū)、雅安市漢源縣、長春市二道區(qū)、晉中市平遙縣、焦作市修武縣
上海市崇明區(qū)、寧夏吳忠市利通區(qū)、涼山越西縣、安康市寧陜縣、陽江市陽春市、紅河元陽縣、保山市昌寧縣、紅河瀘西縣、濟(jì)寧市泗水縣
延邊安圖縣、成都市蒲江縣、廣西崇左市憑祥市、梅州市五華縣、牡丹江市陽明區(qū)
遼源市東豐縣、自貢市貢井區(qū)、許昌市禹州市、商洛市丹鳳縣、眉山市丹棱縣、甘孜新龍縣
文昌市鋪前鎮(zhèn)、贛州市石城縣、合肥市瑤海區(qū)、寧夏銀川市西夏區(qū)、綏化市北林區(qū)、延邊圖們市、福州市長樂區(qū)、寧夏銀川市永寧縣
玉溪市易門縣、曲靖市富源縣、肇慶市廣寧縣、紅河蒙自市、鄭州市上街區(qū)、綏化市綏棱縣
甘孜瀘定縣、孝感市孝南區(qū)、泰安市岱岳區(qū)、哈爾濱市道外區(qū)、昭通市昭陽區(qū)、黃山市屯溪區(qū)
儋州市海頭鎮(zhèn)、錦州市義縣、臨高縣波蓮鎮(zhèn)、河源市東源縣、福州市閩清縣、天水市清水縣、張掖市甘州區(qū)、北京市密云區(qū)
襄陽市樊城區(qū)、涼山冕寧縣、岳陽市岳陽樓區(qū)、涼山德昌縣、天津市東麗區(qū)
杭州市桐廬縣、邵陽市邵東市、鐵嶺市調(diào)兵山市、雅安市漢源縣、雙鴨山市寶清縣、天津市南開區(qū)
濟(jì)南市歷下區(qū)、萬寧市大茂鎮(zhèn)、甘孜色達(dá)縣、湛江市赤坎區(qū)、隨州市廣水市、濟(jì)南市商河縣、自貢市榮縣、鄭州市管城回族區(qū)、鞍山市臺(tái)安縣
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延安市黃龍縣、鹽城市阜寧縣、咸寧市通城縣、上海市金山區(qū)、太原市杏花嶺區(qū)、遵義市赤水市
臨沂市蘭山區(qū)、廣西河池市都安瑤族自治縣、常州市溧陽市、寧夏銀川市興慶區(qū)、麗水市松陽縣、滁州市瑯琊區(qū)、重慶市北碚區(qū)
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉淼耐ㄓ?span>GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜。”黃道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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