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鶴崗市興山區(qū)、安陽市殷都區(qū)、黃石市黃石港區(qū)、三沙市南沙區(qū)、麗水市縉云縣、廣西南寧市西鄉(xiāng)塘區(qū)、澄邁縣加樂鎮(zhèn)、福州市平潭縣
聊城市茌平區(qū)、屯昌縣西昌鎮(zhèn)、六安市金安區(qū)、鶴崗市蘿北縣、甘孜爐霍縣、文山西疇縣
牡丹江市西安區(qū)、贛州市石城縣、南通市崇川區(qū)、平頂山市新華區(qū)、綿陽市鹽亭縣、鶴壁市淇濱區(qū)、晉中市左權(quán)縣、寧夏中衛(wèi)市海原縣
黃岡市團風縣、昭通市鹽津縣、廣西桂林市秀峰區(qū)、雞西市虎林市、咸陽市彬州市、撫州市樂安縣、果洛班瑪縣、商丘市睢縣、阿壩藏族羌族自治州小金縣
大理賓川縣、牡丹江市綏芬河市、廣西玉林市北流市、銅陵市義安區(qū)、無錫市惠山區(qū)
東方市八所鎮(zhèn)、淮北市杜集區(qū)、惠州市龍門縣、雞西市梨樹區(qū)、揭陽市惠來縣、楚雄南華縣、吉林市舒蘭市
遼源市龍山區(qū)、忻州市保德縣、海口市瓊山區(qū)、衡陽市衡東縣、蘇州市昆山市、長治市上黨區(qū)、廣西南寧市興寧區(qū)
阿壩藏族羌族自治州松潘縣、昭通市鎮(zhèn)雄縣、西寧市城中區(qū)、信陽市浉河區(qū)、成都市新都區(qū)、廣西南寧市邕寧區(qū)、淄博市淄川區(qū)、長春市德惠市、牡丹江市西安區(qū)
撫州市樂安縣、安慶市宜秀區(qū)、呂梁市交城縣、蘇州市吳中區(qū)、大慶市薩爾圖區(qū)、甘孜色達縣、周口市鹿邑縣、漯河市源匯區(qū)、東莞市大朗鎮(zhèn)
信陽市淮濱縣、上饒市弋陽縣、大興安嶺地區(qū)漠河市、長治市上黨區(qū)、武漢市江夏區(qū)、酒泉市敦煌市、湛江市霞山區(qū)
鶴壁市淇縣、洛陽市老城區(qū)、阜新市細河區(qū)、宜春市靖安縣、宜賓市筠連縣、清遠市連山壯族瑤族自治縣、廣西北海市銀海區(qū)、紅河建水縣、麗水市遂昌縣
陽泉市城區(qū)、周口市淮陽區(qū)、盤錦市興隆臺區(qū)、海東市平安區(qū)、晉城市陵川縣
鶴崗市南山區(qū)、揭陽市惠來縣、北京市海淀區(qū)、梅州市大埔縣、運城市聞喜縣、榆林市榆陽區(qū)、中山市板芙鎮(zhèn)
攀枝花市西區(qū)、北京市石景山區(qū)、齊齊哈爾市克山縣、紅河河口瑤族自治縣、吉安市峽江縣、臨高縣波蓮鎮(zhèn)、衢州市衢江區(qū)
隴南市徽縣、運城市絳縣、陵水黎族自治縣光坡鎮(zhèn)、淮安市金湖縣、婁底市新化縣、撫州市金溪縣
長沙市岳麓區(qū)、撫州市臨川區(qū)、吉林市蛟河市、濰坊市臨朐縣、涼山美姑縣、臨沂市費縣、齊齊哈爾市建華區(qū)、馬鞍山市當涂縣
商洛市鎮(zhèn)安縣、呂梁市方山縣、上海市浦東新區(qū)、宜賓市翠屏區(qū)、韶關(guān)市仁化縣
常德市武陵區(qū)、麗水市遂昌縣、臨夏東鄉(xiāng)族自治縣、咸陽市永壽縣、南通市通州區(qū)、長春市南關(guān)區(qū)
安陽市龍安區(qū)、酒泉市肅北蒙古族自治縣、聊城市高唐縣、中山市港口鎮(zhèn)、漯河市源匯區(qū)、南通市如皋市、北京市海淀區(qū)、涼山會理市
普洱市景谷傣族彝族自治縣、運城市垣曲縣、長治市平順縣、哈爾濱市香坊區(qū)、伊春市豐林縣、文昌市東郊鎮(zhèn)、銅川市耀州區(qū)
定安縣雷鳴鎮(zhèn)、長春市榆樹市、漳州市漳浦縣、武威市涼州區(qū)、婁底市雙峰縣、屯昌縣南呂鎮(zhèn)、平頂山市衛(wèi)東區(qū)、達州市大竹縣、煙臺市福山區(qū)、青島市市北區(qū)
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吉安市萬安縣、西雙版納勐臘縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市和林格爾縣、贛州市全南縣、涼山雷波縣、臺州市路橋區(qū)、泉州市石獅市、濟南市章丘區(qū)
武漢市洪山區(qū)、西寧市城中區(qū)、渭南市合陽縣、伊春市豐林縣、臨汾市侯馬市
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黔東南鎮(zhèn)遠縣、甘孜白玉縣、廣西南寧市西鄉(xiāng)塘區(qū)、東莞市寮步鎮(zhèn)、寧夏石嘴山市大武口區(qū)、無錫市宜興市、甘南碌曲縣
海南貴南縣、雙鴨山市四方臺區(qū)、贛州市會昌縣、鄂州市華容區(qū)、西安市雁塔區(qū)、東方市板橋鎮(zhèn)、昌江黎族自治縣十月田鎮(zhèn)
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甘孜康定市、泉州市晉江市、鄭州市新鄭市、普洱市西盟佤族自治縣、婁底市漣源市、濟南市商河縣
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珠海突圍半導體設備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設計業(yè)“一業(yè)獨大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設備，標志著國內(nèi)高端半導體制造核心裝備領域的重大技術(shù)突破。
該設備突破了多項“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點，可廣泛應用于集成電路、第三代半導體及先進封裝領域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設備在顯示領域的規(guī)?；瘧?；另一家為三疊紀公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應用。預計6月會交付第一臺設備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強提及，目前該設備已通過頭部晶圓廠驗證，并進入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務為等離子體工業(yè)應用設備相關(guān)領域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領域，包括PCB/載板領域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領域和半導體領域。
公司方面表示，最早專注于PCB設備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導體裝備領域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準半導體裝備賽道，聚焦刻蝕設備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導體制造環(huán)節(jié)跟制程精細程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝里，薄膜機、光刻機和刻蝕機是最為關(guān)鍵的三大設備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機的市場份額仍被泛林半導體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應用材料（16.96%）三巨頭主導。
隨著先進工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機的多次刻蝕來實現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實現(xiàn)突破。
一個標志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導體材料，刻蝕速率與均勻性達國際先進水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運泰利自動化、長園半導體設備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”，運泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學芯片全自動測試線，填補了國產(chǎn)光學檢測設備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設計業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當前珠海正提速建設“云上智城”，集聚算力基礎、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟、人工智能、人形機器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設計服務平臺協(xié)理黃道遠告訴界面新聞，機器人、汽車廠商供應商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標客戶中，AI業(yè)務都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復雜?！秉S道遠表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準車用、機器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應用系統(tǒng)所需的IC進行開發(fā)。
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