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駐馬店市西平縣、永州市新田縣、商洛市鎮(zhèn)安縣、懷化市中方縣、漢中市留壩縣
海東市民和回族土族自治縣、婁底市雙峰縣、湛江市遂溪縣、南平市松溪縣、重慶市永川區(qū)、郴州市蘇仙區(qū)、海南貴南縣、牡丹江市西安區(qū)、上海市虹口區(qū)、咸寧市嘉魚縣
呂梁市中陽(yáng)縣、東方市感城鎮(zhèn)、常州市新北區(qū)、榆林市府谷縣、涼山木里藏族自治縣、韶關(guān)市新豐縣、中山市中山港街道、漳州市長(zhǎng)泰區(qū)、無(wú)錫市錫山區(qū)、廣西桂林市荔浦市
萬(wàn)寧市三更羅鎮(zhèn)、武漢市江岸區(qū)、景德鎮(zhèn)市珠山區(qū)、廣西崇左市天等縣、福州市臺(tái)江區(qū)、綿陽(yáng)市三臺(tái)縣
廣西欽州市靈山縣、大慶市紅崗區(qū)、寶雞市麟游縣、沈陽(yáng)市鐵西區(qū)、臨高縣東英鎮(zhèn)
宿州市埇橋區(qū)、黑河市愛(ài)輝區(qū)、黔西南冊(cè)亨縣、樂(lè)山市峨邊彝族自治縣、伊春市友好區(qū)、陽(yáng)泉市城區(qū)
內(nèi)蒙古赤峰市敖漢旗、常德市石門縣、廣西桂林市全州縣、東莞市長(zhǎng)安鎮(zhèn)、太原市迎澤區(qū)、贛州市定南縣
上饒市廣信區(qū)、宜春市樟樹市、茂名市電白區(qū)、泉州市德化縣、定安縣龍河鎮(zhèn)
臨汾市洪洞縣、酒泉市金塔縣、伊春市豐林縣、黔西南冊(cè)亨縣、北京市豐臺(tái)區(qū)、鶴壁市浚縣、廣西北海市海城區(qū)、盤錦市盤山縣、內(nèi)蒙古包頭市石拐區(qū)
六安市霍山縣、北京市朝陽(yáng)區(qū)、宣城市郎溪縣、廣西百色市平果市、東營(yíng)市廣饒縣、呂梁市汾陽(yáng)市、內(nèi)蒙古赤峰市阿魯科爾沁旗、紅河建水縣
泉州市永春縣、撫州市東鄉(xiāng)區(qū)、廣西南寧市興寧區(qū)、大興安嶺地區(qū)漠河市、廣西防城港市上思縣、紹興市新昌縣
黔東南臺(tái)江縣、三明市三元區(qū)、通化市二道江區(qū)、臨汾市大寧縣、伊春市南岔縣、大理鶴慶縣
六安市霍邱縣、瓊海市博鰲鎮(zhèn)、海東市樂(lè)都區(qū)、宜昌市遠(yuǎn)安縣、清遠(yuǎn)市佛岡縣、榆林市佳縣、濟(jì)寧市嘉祥縣、萬(wàn)寧市北大鎮(zhèn)、天津市靜海區(qū)
廣西桂林市平樂(lè)縣、宜春市萬(wàn)載縣、鄭州市中原區(qū)、亳州市渦陽(yáng)縣、直轄縣天門市、遵義市正安縣、徐州市泉山區(qū)、陽(yáng)泉市城區(qū)
內(nèi)蒙古呼倫貝爾市根河市、哈爾濱市道外區(qū)、延邊圖們市、成都市都江堰市、遼陽(yáng)市宏偉區(qū)、湘西州鳳凰縣、樂(lè)東黎族自治縣抱由鎮(zhèn)、直轄縣潛江市、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克前旗、咸陽(yáng)市淳化縣
黔東南鎮(zhèn)遠(yuǎn)縣、甘孜白玉縣、廣西南寧市西鄉(xiāng)塘區(qū)、東莞市寮步鎮(zhèn)、寧夏石嘴山市大武口區(qū)、無(wú)錫市宜興市、甘南碌曲縣
商丘市永城市、黔東南三穗縣、徐州市沛縣、重慶市榮昌區(qū)、威海市乳山市、荊州市松滋市、白城市洮北區(qū)、白山市長(zhǎng)白朝鮮族自治縣、銅仁市德江縣、鄂州市梁子湖區(qū)
大慶市林甸縣、儋州市和慶鎮(zhèn)、撫州市崇仁縣、萬(wàn)寧市龍滾鎮(zhèn)、白沙黎族自治縣七坊鎮(zhèn)、黃岡市浠水縣
樂(lè)山市市中區(qū)、渭南市韓城市、沈陽(yáng)市皇姑區(qū)、延安市甘泉縣、鶴壁市淇縣、益陽(yáng)市沅江市、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市牙克石市
杭州市上城區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟突泉縣、晉中市和順縣、永州市江華瑤族自治縣、忻州市五寨縣、廈門市集美區(qū)、涼山普格縣、韶關(guān)市仁化縣、三明市三元區(qū)
榆林市橫山區(qū)、濮陽(yáng)市清豐縣、泰安市岱岳區(qū)、銅仁市石阡縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟多倫縣、龍巖市上杭縣、吉林市磐石市、寶雞市陳倉(cāng)區(qū)、湛江市遂溪縣
遵義市湄潭縣、臨汾市汾西縣、威海市文登區(qū)、安陽(yáng)市滑縣、天津市寧河區(qū)、德州市平原縣、遵義市匯川區(qū)
懷化市鶴城區(qū)、廣西柳州市融安縣、深圳市龍華區(qū)、湖州市安吉縣、錦州市黑山縣、重慶市巫山縣、寧夏吳忠市同心縣
永州市冷水灘區(qū)、莆田市荔城區(qū)、瓊海市長(zhǎng)坡鎮(zhèn)、淮南市大通區(qū)、南京市鼓樓區(qū)
新鄉(xiāng)市衛(wèi)濱區(qū)、撫順市東洲區(qū)、甘孜石渠縣、河源市連平縣、鷹潭市月湖區(qū)、濮陽(yáng)市臺(tái)前縣
茂名市電白區(qū)、北京市海淀區(qū)、信陽(yáng)市新縣、滁州市明光市、清遠(yuǎn)市清新區(qū)、呂梁市中陽(yáng)縣、渭南市華陰市、廣西柳州市魚峰區(qū)、永州市東安縣、咸寧市赤壁市
通化市通化縣、濟(jì)寧市汶上縣、廣西桂林市靈川縣、玉樹稱多縣、臨高縣和舍鎮(zhèn)、定安縣富文鎮(zhèn)、廣元市利州區(qū)、雙鴨山市尖山區(qū)
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長(zhǎng)治市潞州區(qū)、天津市紅橋區(qū)、廣西賀州市八步區(qū)、遂寧市船山區(qū)、襄陽(yáng)市樊城區(qū)、潮州市湘橋區(qū)
綿陽(yáng)市平武縣、呂梁市中陽(yáng)縣、黑河市嫩江市、濟(jì)南市市中區(qū)、合肥市巢湖市、滁州市定遠(yuǎn)縣、嘉興市南湖區(qū)
商洛市鎮(zhèn)安縣、汕頭市金平區(qū)、煙臺(tái)市萊陽(yáng)市、朝陽(yáng)市龍城區(qū)、梅州市梅江區(qū)
撫州市樂(lè)安縣、東營(yíng)市東營(yíng)區(qū)、惠州市龍門縣、福州市永泰縣、臨高縣波蓮鎮(zhèn)、郴州市臨武縣、白山市渾江區(qū)、廣西防城港市港口區(qū)
沈陽(yáng)市沈北新區(qū)、佳木斯市撫遠(yuǎn)市、中山市神灣鎮(zhèn)、迪慶維西傈僳族自治縣、隴南市康縣、咸陽(yáng)市旬邑縣、齊齊哈爾市富拉爾基區(qū)
長(zhǎng)春市德惠市、南昌市東湖區(qū)、咸寧市通山縣、莆田市秀嶼區(qū)、寧波市海曙區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟烏蘭浩特市、杭州市上城區(qū)、文山文山市、曲靖市會(huì)澤縣
武威市涼州區(qū)、德州市樂(lè)陵市、馬鞍山市含山縣、文昌市會(huì)文鎮(zhèn)、昭通市大關(guān)縣、安順市西秀區(qū)、葫蘆島市連山區(qū)、銅仁市思南縣、內(nèi)蒙古包頭市昆都侖區(qū)、中山市南區(qū)街道
隴南市兩當(dāng)縣、梅州市興寧市、瓊海市長(zhǎng)坡鎮(zhèn)、蕪湖市無(wú)為市、連云港市東?？h
贛州市定南縣、北京市平谷區(qū)、寶雞市岐山縣、臨滄市鎮(zhèn)康縣、銅仁市石阡縣、濟(jì)南市長(zhǎng)清區(qū)、海西蒙古族天峻縣、定安縣定城鎮(zhèn)、廣西賀州市平桂區(qū)、廣西柳州市柳江區(qū)
中山市南頭鎮(zhèn)、常州市天寧區(qū)、郴州市北湖區(qū)、澄邁縣金江鎮(zhèn)、東莞市大朗鎮(zhèn)、呂梁市離石區(qū)
懷化市麻陽(yáng)苗族自治縣、黔西南普安縣、金華市義烏市、安康市嵐皋縣、天津市薊州區(qū)、盤錦市盤山縣
南通市如東縣、蕪湖市灣沚區(qū)、廈門市翔安區(qū)、撫順市順城區(qū)、洛陽(yáng)市欒川縣、溫州市蒼南縣、東莞市中堂鎮(zhèn)、廣西玉林市博白縣
鶴壁市鶴山區(qū)、渭南市潼關(guān)縣、平頂山市舞鋼市、平頂山市郟縣、雙鴨山市尖山區(qū)、東莞市長(zhǎng)安鎮(zhèn)
安康市、曲靖市、來(lái)賓市、酒泉市、固原市、莆田市、昌都市、晉城市、淮安市、荊門市、蚌埠市、張家界市、日照市、哈密市、甘孜藏族自治州、張家口市、日喀則市、湘潭市、巴中市、益陽(yáng)市
贛州市上猶縣、上海市徐匯區(qū)、北京市豐臺(tái)區(qū)、錦州市太和區(qū)、哈爾濱市平房區(qū)、池州市青陽(yáng)縣、咸陽(yáng)市永壽縣
葫蘆島市連山區(qū)、濰坊市濰城區(qū)、上海市楊浦區(qū)、陵水黎族自治縣本號(hào)鎮(zhèn)、淄博市臨淄區(qū)、甘南夏河縣、宣城市宣州區(qū)、沈陽(yáng)市鐵西區(qū)
四平市公主嶺市、嘉興市南湖區(qū)、東莞市東城街道、濱州市鄒平市、忻州市五寨縣、新鄉(xiāng)市衛(wèi)濱區(qū)、大慶市紅崗區(qū)
合肥市長(zhǎng)豐縣、馬鞍山市博望區(qū)、長(zhǎng)春市榆樹市、寧夏中衛(wèi)市海原縣、泰安市東平縣、內(nèi)蒙古赤峰市松山區(qū)、三門峽市盧氏縣
岳陽(yáng)市平江縣、商丘市睢縣、重慶市武隆區(qū)、昆明市富民縣、鹽城市大豐區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市根河市
清遠(yuǎn)市連州市、東莞市長(zhǎng)安鎮(zhèn)、安康市嵐皋縣、朔州市應(yīng)縣、廣西崇左市天等縣、湘西州永順縣、牡丹江市東寧市、渭南市臨渭區(qū)
西雙版納勐臘縣、杭州市建德市、淮南市田家庵區(qū)、蕪湖市鳩江區(qū)、昭通市鎮(zhèn)雄縣、安康市寧陜縣、鶴崗市綏濱縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市磴口縣、榆林市吳堡縣
鐵嶺市鐵嶺縣、杭州市淳安縣、錦州市古塔區(qū)、煙臺(tái)市萊陽(yáng)市、長(zhǎng)春市農(nóng)安縣、南平市建陽(yáng)區(qū)、臨高縣多文鎮(zhèn)、濟(jì)南市商河縣、重慶市渝中區(qū)、平頂山市寶豐縣
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陵水黎族自治縣文羅鎮(zhèn)、隨州市廣水市、重慶市大足區(qū)、澄邁縣中興鎮(zhèn)、宣城市涇縣、杭州市淳安縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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