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衡陽(yáng)市南岳區(qū)、淮南市鳳臺(tái)縣、直轄縣潛江市、梅州市五華縣、滁州市來(lái)安縣、廣西賀州市平桂區(qū)
遵義市綏陽(yáng)縣、重慶市巴南區(qū)、陵水黎族自治縣新村鎮(zhèn)、黔南福泉市、臨沂市莒南縣、廣西百色市西林縣、七臺(tái)河市勃利縣、大理漾濞彝族自治縣
綿陽(yáng)市游仙區(qū)、五指山市通什、龍巖市長(zhǎng)汀縣、蚌埠市懷遠(yuǎn)縣、廣西柳州市融安縣、遼陽(yáng)市宏偉區(qū)
孝感市應(yīng)城市、延安市黃龍縣、撫州市黎川縣、濱州市陽(yáng)信縣、廣西來(lái)賓市金秀瑤族自治縣、玉溪市通?？h、東莞市厚街鎮(zhèn)
溫州市泰順縣、寧波市北侖區(qū)、三門(mén)峽市澠池縣、中山市西區(qū)街道、新鄉(xiāng)市獲嘉縣、肇慶市封開(kāi)縣
許昌市長(zhǎng)葛市、果洛瑪沁縣、綿陽(yáng)市三臺(tái)縣、自貢市貢井區(qū)、玉溪市紅塔區(qū)
哈爾濱市尚志市、淮安市淮安區(qū)、南昌市西湖區(qū)、六安市霍邱縣、營(yíng)口市西市區(qū)
江門(mén)市鶴山市、黔東南黎平縣、牡丹江市西安區(qū)、廣西崇左市天等縣、鶴壁市浚縣、福州市長(zhǎng)樂(lè)區(qū)、內(nèi)江市東興區(qū)、楚雄永仁縣
吉安市吉水縣、成都市蒲江縣、瓊海市潭門(mén)鎮(zhèn)、眉山市洪雅縣、永州市江華瑤族自治縣、常州市天寧區(qū)、沈陽(yáng)市大東區(qū)、郴州市北湖區(qū)
寧波市鄞州區(qū)、重慶市城口縣、黔東南劍河縣、吉安市青原區(qū)、襄陽(yáng)市襄州區(qū)、玉溪市紅塔區(qū)、營(yíng)口市站前區(qū)、太原市杏花嶺區(qū)、梅州市大埔縣、萬(wàn)寧市南橋鎮(zhèn)
伊春市烏翠區(qū)、永州市零陵區(qū)、宜春市萬(wàn)載縣、臨沂市莒南縣、雅安市名山區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟鑲黃旗、寧夏銀川市興慶區(qū)、哈爾濱市木蘭縣
鶴壁市淇濱區(qū)、德州市慶云縣、寧夏石嘴山市惠農(nóng)區(qū)、廣西河池市南丹縣、鹽城市阜寧縣、蕪湖市鏡湖區(qū)、湖州市安吉縣、新鄉(xiāng)市鳳泉區(qū)
臺(tái)州市臨海市、儋州市東成鎮(zhèn)、金華市永康市、德陽(yáng)市羅江區(qū)、廈門(mén)市思明區(qū)、三明市三元區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市巴林右旗
廣西柳州市鹿寨縣、溫州市甌海區(qū)、濮陽(yáng)市濮陽(yáng)縣、衢州市衢江區(qū)、中山市東鳳鎮(zhèn)、撫順市順城區(qū)、西安市雁塔區(qū)
榆林市橫山區(qū)、濮陽(yáng)市清豐縣、泰安市岱岳區(qū)、銅仁市石阡縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟多倫縣、龍巖市上杭縣、吉林市磐石市、寶雞市陳倉(cāng)區(qū)、湛江市遂溪縣
牡丹江市西安區(qū)、太原市迎澤區(qū)、內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善左旗、深圳市龍華區(qū)、徐州市泉山區(qū)、瓊海市博鰲鎮(zhèn)、吉林市磐石市、隨州市曾都區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市松山區(qū)、延安市甘泉縣
廣安市武勝縣、渭南市白水縣、松原市乾安縣、瓊海市長(zhǎng)坡鎮(zhèn)、長(zhǎng)沙市芙蓉區(qū)、常州市新北區(qū)、朔州市平魯區(qū)
松原市乾安縣、齊齊哈爾市鐵鋒區(qū)、淄博市臨淄區(qū)、綿陽(yáng)市涪城區(qū)、白山市靖宇縣、永州市冷水灘區(qū)、中山市港口鎮(zhèn)、金華市武義縣、鷹潭市月湖區(qū)
舟山市定海區(qū)、吉安市青原區(qū)、莆田市荔城區(qū)、廣西南寧市興寧區(qū)、撫順市撫順縣
安慶市宿松縣、廣元市青川縣、商洛市商州區(qū)、泰州市姜堰區(qū)、西寧市大通回族土族自治縣
岳陽(yáng)市君山區(qū)、撫州市金溪縣、眉山市丹棱縣、忻州市五臺(tái)縣、平?jīng)鍪腥A亭縣、阜新市清河門(mén)區(qū)、池州市青陽(yáng)縣
牡丹江市東安區(qū)、九江市共青城市、恩施州利川市、黃石市下陸區(qū)、韶關(guān)市翁源縣、阿壩藏族羌族自治州金川縣、佳木斯市樺川縣、遵義市桐梓縣
寧波市海曙區(qū)、南昌市東湖區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市土默特左旗、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟鑲黃旗、延安市黃陵縣、哈爾濱市松北區(qū)、本溪市溪湖區(qū)、廣安市鄰水縣、宜昌市秭歸縣
儋州市中和鎮(zhèn)、濱州市濱城區(qū)、東莞市東城街道、白沙黎族自治縣牙叉鎮(zhèn)、涼山普格縣、恩施州恩施市
金華市磐安縣、廣西防城港市上思縣、湛江市遂溪縣、呂梁市柳林縣、黃山市歙縣、贛州市瑞金市、黔東南岑鞏縣、白山市長(zhǎng)白朝鮮族自治縣
重慶市萬(wàn)州區(qū)、昭通市水富市、臨高縣加來(lái)鎮(zhèn)、重慶市石柱土家族自治縣、吉林市龍?zhí)秴^(qū)、重慶市豐都縣、開(kāi)封市通許縣、德陽(yáng)市綿竹市
鶴崗市南山區(qū)、宜春市樟樹(shù)市、南陽(yáng)市方城縣、贛州市龍南市、定安縣黃竹鎮(zhèn)、瓊海市龍江鎮(zhèn)、廣州市黃埔區(qū)、涼山寧南縣
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慶陽(yáng)市寧縣、東方市新龍鎮(zhèn)、貴陽(yáng)市息烽縣、鄭州市登封市、臨沂市蘭陵縣
贛州市尋烏縣、甘孜得榮縣、信陽(yáng)市潢川縣、武威市民勤縣、文昌市潭牛鎮(zhèn)、沈陽(yáng)市皇姑區(qū)
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贛州市贛縣區(qū)、咸陽(yáng)市禮泉縣、中山市大涌鎮(zhèn)、遵義市桐梓縣、長(zhǎng)治市長(zhǎng)子縣、湘西州古丈縣、龍巖市新羅區(qū)、湛江市廉江市、徐州市賈汪區(qū)
孝感市漢川市、成都市雙流區(qū)、白沙黎族自治縣金波鄉(xiāng)、宜賓市珙縣、重慶市巫山縣、儋州市那大鎮(zhèn)、廣州市海珠區(qū)、臨沂市沂南縣
內(nèi)蒙古興安盟烏蘭浩特市、廣西河池市鳳山縣、株洲市石峰區(qū)、東莞市高埗鎮(zhèn)、廣州市增城區(qū)、松原市寧江區(qū)
商洛市柞水縣、重慶市江北區(qū)、邵陽(yáng)市雙清區(qū)、臨汾市鄉(xiāng)寧縣、駐馬店市正陽(yáng)縣
臺(tái)州市三門(mén)縣、白沙黎族自治縣細(xì)水鄉(xiāng)、佳木斯市撫遠(yuǎn)市、景德鎮(zhèn)市珠山區(qū)、信陽(yáng)市平橋區(qū)
宜昌市長(zhǎng)陽(yáng)土家族自治縣、海北祁連縣、白山市長(zhǎng)白朝鮮族自治縣、合肥市肥西縣、內(nèi)蒙古包頭市東河區(qū)
西安市周至縣、中山市小欖鎮(zhèn)、自貢市大安區(qū)、蕪湖市繁昌區(qū)、海南貴德縣、河源市源城區(qū)、許昌市長(zhǎng)葛市
蚌埠市龍子湖區(qū)、南平市光澤縣、揚(yáng)州市高郵市、六盤(pán)水市六枝特區(qū)、福州市永泰縣、萬(wàn)寧市三更羅鎮(zhèn)、珠海市金灣區(qū)、大同市左云縣
江門(mén)市開(kāi)平市、日照市莒縣、成都市新都區(qū)、泰州市興化市、南通市海安市
南昌市進(jìn)賢縣、焦作市馬村區(qū)、蘇州市吳中區(qū)、萍鄉(xiāng)市蘆溪縣、濱州市惠民縣、九江市共青城市、濮陽(yáng)市清豐縣
贛州市贛縣區(qū)、延邊琿春市、淮南市謝家集區(qū)、常德市安鄉(xiāng)縣、綏化市青岡縣、昭通市巧家縣、蚌埠市蚌山區(qū)、眉山市丹棱縣、上饒市廣信區(qū)
上饒市玉山縣、撫順市順城區(qū)、甘孜理塘縣、涼山西昌市、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市東勝區(qū)、淮北市相山區(qū)、大連市莊河市、中山市南區(qū)街道
成都市青白江區(qū)、懷化市溆浦縣、隨州市曾都區(qū)、盤(pán)錦市興隆臺(tái)區(qū)、長(zhǎng)治市黎城縣、平頂山市汝州市、廣元市青川縣
文昌市公坡鎮(zhèn)、阜陽(yáng)市界首市、駐馬店市新蔡縣、孝感市孝昌縣、菏澤市牡丹區(qū)
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寧夏固原市原州區(qū)、延邊圖們市、上饒市廣信區(qū)、晉城市城區(qū)、嘉興市桐鄉(xiāng)市、南昌市灣里區(qū)、樂(lè)山市夾江縣、澄邁縣金江鎮(zhèn)、晉中市昔陽(yáng)縣、鄂州市鄂城區(qū)
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開(kāi)發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開(kāi)展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷(xiāo)售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專(zhuān)注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷(xiāo)售收入4.64億元、封測(cè)銷(xiāo)售收入1.48億元、材料銷(xiāo)售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷(xiāo)售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開(kāi)源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車(chē)廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門(mén)檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車(chē)用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車(chē)用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開(kāi)發(fā)。
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