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達(dá)州市達(dá)川區(qū)、遼陽(yáng)市文圣區(qū)、東方市新龍鎮(zhèn)、撫州市黎川縣、煙臺(tái)市龍口市、廣安市華鎣市、臨沂市沂南縣、鎮(zhèn)江市潤(rùn)州區(qū)、東莞市大朗鎮(zhèn)、白沙黎族自治縣牙叉鎮(zhèn)
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六安市霍山縣、威海市文登區(qū)、南平市邵武市、甘孜爐霍縣、黔南福泉市、鞍山市岫巖滿族自治縣、臨夏和政縣
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果洛班瑪縣、黔東南從江縣、北京市房山區(qū)、東莞市大嶺山鎮(zhèn)、駐馬店市泌陽(yáng)縣、商丘市夏邑縣
廣安市鄰水縣、延安市寶塔區(qū)、遼源市龍山區(qū)、晉城市高平市、運(yùn)城市聞喜縣、淄博市高青縣、漢中市漢臺(tái)區(qū)、邵陽(yáng)市邵陽(yáng)縣、東方市天安鄉(xiāng)、上饒市玉山縣
直轄縣天門(mén)市、綿陽(yáng)市平武縣、文山麻栗坡縣、臨夏永靖縣、撫順市新?lián)釁^(qū)、平頂山市寶豐縣、焦作市解放區(qū)
濱州市濱城區(qū)、揭陽(yáng)市揭東區(qū)、阜新市細(xì)河區(qū)、廣西南寧市西鄉(xiāng)塘區(qū)、寧夏銀川市金鳳區(qū)
甘孜巴塘縣、武漢市江漢區(qū)、天水市清水縣、溫州市蒼南縣、恩施州宣恩縣、運(yùn)城市夏縣、吉安市遂川縣、廣元市劍閣縣、贛州市南康區(qū)
鶴崗市蘿北縣、蚌埠市蚌山區(qū)、北京市大興區(qū)、成都市金牛區(qū)、遵義市紅花崗區(qū)、重慶市酉陽(yáng)縣
太原市迎澤區(qū)、朝陽(yáng)市北票市、贛州市安遠(yuǎn)縣、內(nèi)蒙古包頭市昆都侖區(qū)、六盤(pán)水市鐘山區(qū)、三明市三元區(qū)
陵水黎族自治縣三才鎮(zhèn)、惠州市博羅縣、安慶市宜秀區(qū)、渭南市臨渭區(qū)、齊齊哈爾市富?？h、果洛久治縣、佳木斯市撫遠(yuǎn)市、成都市金堂縣、玉樹(shù)稱(chēng)多縣
三亞市天涯區(qū)、屯昌縣南坤鎮(zhèn)、肇慶市廣寧縣、南京市玄武區(qū)、寧夏中衛(wèi)市沙坡頭區(qū)
內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善左旗、甘南卓尼縣、黃岡市黃州區(qū)、遼源市西安區(qū)、玉樹(shù)稱(chēng)多縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市和林格爾縣
麗江市永勝縣、郴州市桂東縣、平頂山市石龍區(qū)、沈陽(yáng)市蘇家屯區(qū)、甘孜九龍縣、廣西河池市巴馬瑤族自治縣、臨汾市洪洞縣、咸寧市咸安區(qū)
大理祥云縣、馬鞍山市花山區(qū)、黔東南臺(tái)江縣、延安市黃龍縣、吉林市船營(yíng)區(qū)
濟(jì)南市商河縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市達(dá)拉特旗、綏化市慶安縣、肇慶市四會(huì)市、淄博市張店區(qū)、廣西玉林市北流市、沈陽(yáng)市康平縣、濮陽(yáng)市南樂(lè)縣、洛陽(yáng)市西工區(qū)
廣安市鄰水縣、黔東南凱里市、重慶市黔江區(qū)、泉州市鯉城區(qū)、陽(yáng)泉市礦區(qū)、陽(yáng)泉市城區(qū)、西安市碑林區(qū)、廣西防城港市港口區(qū)
綿陽(yáng)市江油市、內(nèi)蒙古烏蘭察布市卓資縣、樂(lè)東黎族自治縣九所鎮(zhèn)、攀枝花市仁和區(qū)、寧夏銀川市興慶區(qū)
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呂梁市文水縣、鄭州市滎陽(yáng)市、雞西市雞東縣、臨汾市永和縣、上海市閔行區(qū)、延安市洛川縣、雙鴨山市尖山區(qū)
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甘孜得榮縣、樂(lè)東黎族自治縣尖峰鎮(zhèn)、重慶市榮昌區(qū)、安陽(yáng)市林州市、聊城市東昌府區(qū)、鶴壁市淇縣、長(zhǎng)治市潞城區(qū)、成都市簡(jiǎn)陽(yáng)市
廣西梧州市長(zhǎng)洲區(qū)、宣城市宣州區(qū)、白沙黎族自治縣元門(mén)鄉(xiāng)、三明市將樂(lè)縣、黔南獨(dú)山縣、衢州市常山縣、荊門(mén)市鐘祥市
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安順市平壩區(qū)、中山市阜沙鎮(zhèn)、南京市鼓樓區(qū)、鞍山市岫巖滿族自治縣、黔東南鎮(zhèn)遠(yuǎn)縣、南昌市安義縣、宜昌市當(dāng)陽(yáng)市
巴中市南江縣、岳陽(yáng)市華容縣、六盤(pán)水市六枝特區(qū)、伊春市嘉蔭縣、廣西來(lái)賓市武宣縣、延安市延長(zhǎng)縣、宜春市銅鼓縣、焦作市孟州市、晉中市榆社縣、南陽(yáng)市桐柏縣
綿陽(yáng)市游仙區(qū)、五指山市通什、龍巖市長(zhǎng)汀縣、蚌埠市懷遠(yuǎn)縣、廣西柳州市融安縣、遼陽(yáng)市宏偉區(qū)
鶴崗市工農(nóng)區(qū)、達(dá)州市萬(wàn)源市、咸寧市通山縣、亳州市渦陽(yáng)縣、廈門(mén)市翔安區(qū)、煙臺(tái)市萊州市、西寧市城東區(qū)、吉林市蛟河市、連云港市東海縣
東莞市寮步鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟鑲黃旗、南充市閬中市、昭通市鎮(zhèn)雄縣、楚雄大姚縣、銅仁市萬(wàn)山區(qū)、廣西來(lái)賓市象州縣、湘潭市韶山市
齊齊哈爾市龍江縣、平頂山市舞鋼市、樂(lè)東黎族自治縣尖峰鎮(zhèn)、濮陽(yáng)市濮陽(yáng)縣、忻州市偏關(guān)縣、龍巖市武平縣、梅州市豐順縣
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江門(mén)市新會(huì)區(qū)、撫順市望花區(qū)、宜賓市南溪區(qū)、廣西來(lái)賓市武宣縣、茂名市化州市、東莞市厚街鎮(zhèn)、貴陽(yáng)市烏當(dāng)區(qū)、莆田市仙游縣
寧夏中衛(wèi)市中寧縣、巴中市恩陽(yáng)區(qū)、漳州市詔安縣、長(zhǎng)治市平順縣、海南共和縣、重慶市璧山區(qū)、昭通市彝良縣、南昌市青云譜區(qū)、甘孜九龍縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開(kāi)發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開(kāi)展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷(xiāo)售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專(zhuān)注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)铮∧C(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷(xiāo)售收入4.64億元、封測(cè)銷(xiāo)售收入1.48億元、材料銷(xiāo)售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷(xiāo)售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開(kāi)源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車(chē)廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門(mén)檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車(chē)用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車(chē)用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開(kāi)發(fā)。
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