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廣元市昭化區(qū)、廣西河池市羅城仫佬族自治縣、瀘州市江陽(yáng)區(qū)、嘉興市秀洲區(qū)、臨夏東鄉(xiāng)族自治縣、茂名市電白區(qū)、咸陽(yáng)市禮泉縣、文昌市馮坡鎮(zhèn)
萍鄉(xiāng)市安源區(qū)、宜春市宜豐縣、襄陽(yáng)市保康縣、五指山市毛陽(yáng)、濟(jì)寧市曲阜市、深圳市南山區(qū)、宣城市廣德市、阿壩藏族羌族自治州黑水縣、內(nèi)蒙古赤峰市松山區(qū)
溫州市樂清市、武漢市青山區(qū)、漢中市城固縣、九江市濂溪區(qū)、汕尾市陸豐市、贛州市興國(guó)縣、上饒市德興市
文昌市會(huì)文鎮(zhèn)、廣州市天河區(qū)、馬鞍山市當(dāng)涂縣、銅仁市萬山區(qū)、無錫市江陰市、涼山雷波縣、重慶市長(zhǎng)壽區(qū)、湘西州花垣縣、綿陽(yáng)市游仙區(qū)
岳陽(yáng)市華容縣、西安市碑林區(qū)、清遠(yuǎn)市佛岡縣、汕頭市龍湖區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市克什克騰旗
內(nèi)蒙古通遼市霍林郭勒市、大興安嶺地區(qū)呼中區(qū)、晉中市壽陽(yáng)縣、益陽(yáng)市南縣、南京市浦口區(qū)、直轄縣神農(nóng)架林區(qū)、威海市環(huán)翠區(qū)、棗莊市嶧城區(qū)
邵陽(yáng)市洞口縣、玉溪市峨山彝族自治縣、河源市龍川縣、寧夏固原市涇源縣、紅河河口瑤族自治縣、寧波市象山縣、安慶市迎江區(qū)、儋州市新州鎮(zhèn)
甘南合作市、南昌市東湖區(qū)、常德市澧縣、西安市未央?yún)^(qū)、東方市四更鎮(zhèn)、六安市葉集區(qū)、溫州市平陽(yáng)縣、齊齊哈爾市依安縣、儋州市峨蔓鎮(zhèn)
洛陽(yáng)市嵩縣、長(zhǎng)春市南關(guān)區(qū)、大理鶴慶縣、溫州市文成縣、成都市崇州市、黃山市黃山區(qū)、德陽(yáng)市羅江區(qū)、郴州市北湖區(qū)
成都市都江堰市、嘉興市嘉善縣、廣西桂林市靈川縣、紅河石屏縣、雅安市天全縣、德州市臨邑縣
張家界市慈利縣、東莞市道滘鎮(zhèn)、廣西河池市南丹縣、陵水黎族自治縣文羅鎮(zhèn)、張掖市臨澤縣、滁州市全椒縣、濟(jì)寧市微山縣
嘉峪關(guān)市文殊鎮(zhèn)、德宏傣族景頗族自治州隴川縣、保亭黎族苗族自治縣什玲、陽(yáng)泉市郊區(qū)、南平市武夷山市
寶雞市陳倉(cāng)區(qū)、六安市葉集區(qū)、金華市金東區(qū)、瀘州市敘永縣、衢州市衢江區(qū)、廣西百色市田林縣、成都市新津區(qū)
渭南市富平縣、廣州市海珠區(qū)、宜賓市屏山縣、蘭州市西固區(qū)、上海市楊浦區(qū)、資陽(yáng)市樂至縣、三亞市天涯區(qū)、福州市閩清縣、昌江黎族自治縣石碌鎮(zhèn)
昌江黎族自治縣七叉鎮(zhèn)、淮南市大通區(qū)、長(zhǎng)治市潞州區(qū)、甘南瑪曲縣、黔南貴定縣、大興安嶺地區(qū)呼瑪縣、成都市金堂縣、臨高縣多文鎮(zhèn)
昭通市巧家縣、鎮(zhèn)江市揚(yáng)中市、宣城市郎溪縣、銅仁市印江縣、淄博市張店區(qū)、吉林市豐滿區(qū)、吉安市井岡山市、焦作市沁陽(yáng)市、金華市義烏市
株洲市攸縣、銅陵市樅陽(yáng)縣、澄邁縣金江鎮(zhèn)、東方市大田鎮(zhèn)、肇慶市鼎湖區(qū)、天津市薊州區(qū)
萬寧市東澳鎮(zhèn)、焦作市武陟縣、遂寧市船山區(qū)、揭陽(yáng)市普寧市、南京市雨花臺(tái)區(qū)、松原市扶余市、甘孜道孚縣、南京市浦口區(qū)、惠州市博羅縣
周口市西華縣、上海市閔行區(qū)、重慶市綦江區(qū)、徐州市新沂市、榆林市靖邊縣、攀枝花市鹽邊縣、邵陽(yáng)市新邵縣、廣西百色市那坡縣
鞍山市千山區(qū)、南京市高淳區(qū)、武漢市江夏區(qū)、杭州市拱墅區(qū)、德州市夏津縣、普洱市瀾滄拉祜族自治縣、菏澤市成武縣
達(dá)州市萬源市、保山市施甸縣、撫順市清原滿族自治縣、齊齊哈爾市鐵鋒區(qū)、曲靖市會(huì)澤縣、沈陽(yáng)市于洪區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市和林格爾縣、洛陽(yáng)市澗西區(qū)、阜陽(yáng)市潁州區(qū)、海南貴德縣
廣西河池市東蘭縣、佛山市禪城區(qū)、雙鴨山市嶺東區(qū)、濰坊市奎文區(qū)、麗江市玉龍納西族自治縣
宜賓市翠屏區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市白云鄂博礦區(qū)、廣西南寧市興寧區(qū)、長(zhǎng)春市南關(guān)區(qū)、宜春市豐城市、上海市崇明區(qū)、上海市靜安區(qū)、運(yùn)城市平陸縣、嘉峪關(guān)市峪泉鎮(zhèn)
昌江黎族自治縣海尾鎮(zhèn)、銅仁市印江縣、鄂州市梁子湖區(qū)、酒泉市瓜州縣、泰安市泰山區(qū)、吉安市安?？h、廣西賀州市平桂區(qū)
平?jīng)鍪腥A亭縣、平頂山市衛(wèi)東區(qū)、甘孜理塘縣、三門峽市湖濱區(qū)、隨州市廣水市、湘潭市湘鄉(xiāng)市、駐馬店市正陽(yáng)縣、張家界市桑植縣、?？谑旋埲A區(qū)、周口市項(xiàng)城市
長(zhǎng)治市襄垣縣、昌江黎族自治縣王下鄉(xiāng)、成都市都江堰市、臨汾市古縣、楚雄永仁縣
贛州市石城縣、遼陽(yáng)市文圣區(qū)、泰安市東平縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市東勝區(qū)、合肥市肥西縣、阿壩藏族羌族自治州小金縣、佛山市順德區(qū)、天水市麥積區(qū)、咸陽(yáng)市渭城區(qū)
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廣元市利州區(qū)、白沙黎族自治縣阜龍鄉(xiāng)、南充市營(yíng)山縣、甘南夏河縣、東莞市謝崗鎮(zhèn)、淮安市漣水縣、寧夏銀川市西夏區(qū)
玉溪市通?？h、吉林市龍?zhí)秴^(qū)、廣西來賓市象州縣、五指山市通什、涼山甘洛縣、株洲市荷塘區(qū)、屯昌縣楓木鎮(zhèn)
咸陽(yáng)市秦都區(qū)、西安市閻良區(qū)、舟山市岱山縣、葫蘆島市綏中縣、遵義市習(xí)水縣、榆林市橫山區(qū)、太原市清徐縣、廣西玉林市玉州區(qū)、六安市裕安區(qū)、廣州市越秀區(qū)
成都市蒲江縣、貴陽(yáng)市云巖區(qū)、廣州市黃埔區(qū)、白山市渾江區(qū)、阜新市太平區(qū)、株洲市炎陵縣、蘇州市虎丘區(qū)、廣西南寧市邕寧區(qū)
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臨汾市大寧縣、定西市通渭縣、甘孜道孚縣、綏化市慶安縣、張家界市桑植縣、北京市平谷區(qū)、樂東黎族自治縣大安鎮(zhèn)、雞西市恒山區(qū)、吉安市青原區(qū)
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南充市順慶區(qū)、三門峽市盧氏縣、揚(yáng)州市廣陵區(qū)、天津市和平區(qū)、金華市義烏市、榆林市榆陽(yáng)區(qū)、云浮市羅定市、萍鄉(xiāng)市上栗縣、徐州市邳州市、廣西來賓市金秀瑤族自治縣
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呂梁市交口縣、萬寧市龍滾鎮(zhèn)、重慶市開州區(qū)、延邊汪清縣、荊州市洪湖市
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉淼耐ㄓ?span>GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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