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屯昌縣西昌鎮(zhèn)、寧德市周寧縣、遂寧市大英縣、安陽(yáng)市殷都區(qū)、郴州市宜章縣
龍巖市連城縣、佛山市順德區(qū)、武漢市洪山區(qū)、吉安市泰和縣、中山市東升鎮(zhèn)、九江市武寧縣、洛陽(yáng)市欒川縣
湘西州龍山縣、惠州市龍門(mén)縣、安康市紫陽(yáng)縣、南充市嘉陵區(qū)、南陽(yáng)市宛城區(qū)、威海市榮成市、瓊海市博鰲鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市豐鎮(zhèn)市、滁州市鳳陽(yáng)縣、南充市西充縣
榆林市定邊縣、濱州市博興縣、鞍山市千山區(qū)、淮安市漣水縣、自貢市自流井區(qū)
廣西柳州市魚(yú)峰區(qū)、青島市萊西市、周口市項(xiàng)城市、重慶市巫溪縣、廣安市華鎣市
麗水市云和縣、蕪湖市鏡湖區(qū)、眉山市彭山區(qū)、海東市民和回族土族自治縣、黔南羅甸縣、臨高縣多文鎮(zhèn)
金華市東陽(yáng)市、大同市平城區(qū)、麗江市古城區(qū)、焦作市馬村區(qū)、咸陽(yáng)市淳化縣、綏化市海倫市
漢中市漢臺(tái)區(qū)、河源市紫金縣、六安市金寨縣、宜春市銅鼓縣、曲靖市宣威市、南陽(yáng)市鄧州市、馬鞍山市花山區(qū)、鄂州市華容區(qū)
濟(jì)南市槐蔭區(qū)、株洲市炎陵縣、雅安市滎經(jīng)縣、渭南市大荔縣、廣西桂林市恭城瑤族自治縣、東莞市洪梅鎮(zhèn)、陽(yáng)泉市盂縣、廣西北海市合浦縣
玉溪市紅塔區(qū)、綿陽(yáng)市涪城區(qū)、新鄉(xiāng)市輝縣市、朔州市右玉縣、三門(mén)峽市陜州區(qū)、酒泉市肅州區(qū)、安順市平壩區(qū)、儋州市白馬井鎮(zhèn)、文山麻栗坡縣、昌江黎族自治縣烏烈鎮(zhèn)
內(nèi)蒙古赤峰市敖漢旗、常德市石門(mén)縣、廣西桂林市全州縣、東莞市長(zhǎng)安鎮(zhèn)、太原市迎澤區(qū)、贛州市定南縣
黔西南貞豐縣、寧波市奉化區(qū)、大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)、東莞市萬(wàn)江街道、澄邁縣加樂(lè)鎮(zhèn)、忻州市河曲縣、西安市周至縣、河源市東源縣、河源市紫金縣、寧夏銀川市金鳳區(qū)
昆明市宜良縣、無(wú)錫市濱湖區(qū)、廣元市旺蒼縣、銅川市王益區(qū)、株洲市天元區(qū)、上饒市弋陽(yáng)縣、西安市蓮湖區(qū)
六安市霍山縣、哈爾濱市依蘭縣、黔東南臺(tái)江縣、清遠(yuǎn)市連州市、銅仁市石阡縣
周口市太康縣、濰坊市昌樂(lè)縣、韶關(guān)市曲江區(qū)、儋州市光村鎮(zhèn)、畢節(jié)市金沙縣、淄博市張店區(qū)、涼山雷波縣、廣西百色市右江區(qū)、昆明市安寧市、淮安市盱眙縣
青島市李滄區(qū)、周口市川匯區(qū)、天津市東麗區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼前旗、郴州市臨武縣、商丘市睢縣、鐵嶺市調(diào)兵山市、晉城市城區(qū)、惠州市惠陽(yáng)區(qū)
吉林市蛟河市、青島市膠州市、廣西崇左市江州區(qū)、黔南惠水縣、甘孜康定市
西寧市城北區(qū)、寶雞市岐山縣、長(zhǎng)治市武鄉(xiāng)縣、重慶市武隆區(qū)、五指山市毛道、眉山市彭山區(qū)
煙臺(tái)市棲霞市、贛州市章貢區(qū)、株洲市攸縣、齊齊哈爾市克東縣、北京市通州區(qū)
駐馬店市確山縣、四平市雙遼市、東莞市沙田鎮(zhèn)、吉安市吉水縣、忻州市寧武縣、廈門(mén)市思明區(qū)、廣安市武勝縣、云浮市郁南縣
莆田市秀嶼區(qū)、呂梁市方山縣、吉林市蛟河市、肇慶市懷集縣、保山市昌寧縣、儋州市中和鎮(zhèn)、哈爾濱市香坊區(qū)、黔東南雷山縣、常州市溧陽(yáng)市
荊門(mén)市沙洋縣、廣西北海市合浦縣、宿州市蕭縣、寧夏中衛(wèi)市海原縣、天津市北辰區(qū)、溫州市文成縣、呂梁市交城縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市康巴什區(qū)、吉林市龍?zhí)秴^(qū)
贛州市定南縣、北京市平谷區(qū)、寶雞市岐山縣、臨滄市鎮(zhèn)康縣、銅仁市石阡縣、濟(jì)南市長(zhǎng)清區(qū)、海西蒙古族天峻縣、定安縣定城鎮(zhèn)、廣西賀州市平桂區(qū)、廣西柳州市柳江區(qū)
麗江市古城區(qū)、紹興市柯橋區(qū)、延安市吳起縣、齊齊哈爾市昂昂溪區(qū)、寧德市壽寧縣、廣西桂林市恭城瑤族自治縣、安康市白河縣、內(nèi)蒙古阿拉善盟額濟(jì)納旗
重慶市石柱土家族自治縣、六盤(pán)水市六枝特區(qū)、株洲市炎陵縣、武威市民勤縣、岳陽(yáng)市湘陰縣、江門(mén)市蓬江區(qū)、上海市徐匯區(qū)
湘潭市湘鄉(xiāng)市、駐馬店市驛城區(qū)、眉山市東坡區(qū)、沈陽(yáng)市康平縣、大理巍山彝族回族自治縣、大連市普蘭店區(qū)
東莞市中堂鎮(zhèn)、云浮市新興縣、鷹潭市貴溪市、南平市延平區(qū)、延安市洛川縣、內(nèi)江市市中區(qū)、晉城市澤州縣、甘孜新龍縣、武漢市新洲區(qū)、牡丹江市寧安市
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湘潭市雨湖區(qū)、宜昌市西陵區(qū)、四平市雙遼市、龍巖市上杭縣、本溪市桓仁滿(mǎn)族自治縣、焦作市解放區(qū)、東營(yíng)市東營(yíng)區(qū)、麗水市松陽(yáng)縣
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甘孜康定市、運(yùn)城市垣曲縣、屯昌縣坡心鎮(zhèn)、澄邁縣仁興鎮(zhèn)、宜昌市長(zhǎng)陽(yáng)土家族自治縣、西安市周至縣、齊齊哈爾市訥河市、江門(mén)市蓬江區(qū)
南平市政和縣、哈爾濱市賓縣、內(nèi)江市市中區(qū)、曲靖市麒麟?yún)^(qū)、湘西州鳳凰縣
宜昌市秭歸縣、太原市小店區(qū)、吉林市磐石市、甘南碌曲縣、寶雞市麟游縣、阜新市太平區(qū)、晉城市城區(qū)、樂(lè)東黎族自治縣佛羅鎮(zhèn)、信陽(yáng)市新縣
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通化市柳河縣、陵水黎族自治縣隆廣鎮(zhèn)、張家界市武陵源區(qū)、郴州市臨武縣、徐州市云龍區(qū)、益陽(yáng)市安化縣、廣西百色市田東縣、蕪湖市鏡湖區(qū)、廣西百色市那坡縣
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六安市裕安區(qū)、儋州市南豐鎮(zhèn)、湘西州吉首市、陽(yáng)泉市城區(qū)、資陽(yáng)市樂(lè)至縣
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開(kāi)發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開(kāi)展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶(hù)有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷(xiāo)售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專(zhuān)注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線(xiàn)中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線(xiàn)，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷(xiāo)售收入4.64億元、封測(cè)銷(xiāo)售收入1.48億元、材料銷(xiāo)售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷(xiāo)售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開(kāi)源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車(chē)廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶(hù)和目標(biāo)客戶(hù)中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門(mén)檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶(hù)會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車(chē)用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車(chē)用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開(kāi)發(fā)。
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