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太原市小店區(qū)、九江市潯陽區(qū)、黃石市大冶市、黃南澤庫縣、廣州市越秀區(qū)、濰坊市青州市、太原市晉源區(qū)、寧波市奉化區(qū)、廣西賀州市昭平縣、哈爾濱市雙城區(qū)
阿壩藏族羌族自治州紅原縣、亳州市蒙城縣、廣西梧州市蒼梧縣、西安市藍(lán)田縣、撫順市清原滿族自治縣、安慶市懷寧縣、沈陽市蘇家屯區(qū)、黃石市陽新縣、齊齊哈爾市碾子山區(qū)
蘇州市常熟市、洛陽市偃師區(qū)、萍鄉(xiāng)市上栗縣、大慶市龍鳳區(qū)、延安市安塞區(qū)
白銀市平川區(qū)、廣西桂林市興安縣、安慶市宜秀區(qū)、廣安市岳池縣、安陽市殷都區(qū)、廣西桂林市疊彩區(qū)、懷化市通道侗族自治縣、廣西柳州市城中區(qū)、太原市小店區(qū)、普洱市景谷傣族彝族自治縣
內(nèi)蒙古赤峰市阿魯科爾沁旗、廣西河池市都安瑤族自治縣、臨夏和政縣、成都市青白江區(qū)、寧波市鎮(zhèn)海區(qū)、南平市順昌縣
淮安市淮陰區(qū)、恩施州咸豐縣、寧波市鄞州區(qū)、運(yùn)城市河津市、三門峽市盧氏縣、綏化市綏棱縣、東方市大田鎮(zhèn)
廣西來賓市興賓區(qū)、九江市都昌縣、廣西河池市金城江區(qū)、黔東南丹寨縣、忻州市五寨縣、十堰市竹溪縣、福州市晉安區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市霍林郭勒市、平?jīng)鍪徐o寧縣
紅河元陽縣、佳木斯市東風(fēng)區(qū)、洛陽市偃師區(qū)、文山馬關(guān)縣、萍鄉(xiāng)市蓮花縣
咸陽市渭城區(qū)、白沙黎族自治縣南開鄉(xiāng)、黃南尖扎縣、金華市東陽市、天津市寶坻區(qū)、武漢市漢陽區(qū)、宜賓市南溪區(qū)、重慶市萬州區(qū)、資陽市安岳縣
漢中市寧強(qiáng)縣、麗江市華坪縣、廣西桂林市雁山區(qū)、鄭州市中原區(qū)、寧德市蕉城區(qū)、海西蒙古族茫崖市
淄博市淄川區(qū)、大連市莊河市、晉中市壽陽縣、慶陽市西峰區(qū)、六盤水市盤州市
定安縣龍河鎮(zhèn)、長(zhǎng)沙市岳麓區(qū)、深圳市鹽田區(qū)、周口市川匯區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市牙克石市
內(nèi)蒙古赤峰市翁牛特旗、雅安市蘆山縣、咸寧市通城縣、韶關(guān)市乳源瑤族自治縣、吉安市廬陵新區(qū)、涼山美姑縣、焦作市孟州市、迪慶香格里拉市、廣西桂林市荔浦市、伊春市豐林縣
銅川市王益區(qū)、益陽市資陽區(qū)、廣西桂林市臨桂區(qū)、成都市郫都區(qū)、臨汾市洪洞縣、永州市新田縣、達(dá)州市宣漢縣、眉山市東坡區(qū)、大理賓川縣
漢中市南鄭區(qū)、安慶市宿松縣、吉安市吉州區(qū)、陵水黎族自治縣椰林鎮(zhèn)、楚雄武定縣、延邊延吉市、涼山越西縣、衢州市開化縣、濟(jì)南市鋼城區(qū)、昭通市巧家縣
漯河市郾城區(qū)、合肥市廬陽區(qū)、玉樹囊謙縣、煙臺(tái)市福山區(qū)、婁底市新化縣、天水市秦州區(qū)、臨高縣波蓮鎮(zhèn)、樂東黎族自治縣抱由鎮(zhèn)、昆明市安寧市、惠州市惠東縣
嘉興市海鹽縣、黔南獨(dú)山縣、合肥市肥西縣、三沙市西沙區(qū)、大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)、臨滄市滄源佤族自治縣、三明市明溪縣、廣西柳州市鹿寨縣、萬寧市三更羅鎮(zhèn)、南陽市鎮(zhèn)平縣
佛山市三水區(qū)、南昌市南昌縣、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼前旗、鞍山市千山區(qū)、廣西桂林市資源縣、杭州市臨安區(qū)、新余市分宜縣、莆田市城廂區(qū)、昆明市石林彝族自治縣、文山富寧縣
天津市寧河區(qū)、徐州市賈汪區(qū)、常州市金壇區(qū)、雙鴨山市嶺東區(qū)、大興安嶺地區(qū)呼瑪縣、開封市鼓樓區(qū)、中山市民眾鎮(zhèn)、常德市臨澧縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市烏審旗
營(yíng)口市老邊區(qū)、肇慶市廣寧縣、瓊海市長(zhǎng)坡鎮(zhèn)、湘西州吉首市、黔東南麻江縣、文山廣南縣、南京市雨花臺(tái)區(qū)、揭陽市榕城區(qū)
紅河個(gè)舊市、北京市順義區(qū)、朔州市山陰縣、臺(tái)州市溫嶺市、梅州市五華縣、海北祁連縣、揚(yáng)州市邗江區(qū)、臨夏臨夏縣、無錫市惠山區(qū)
韶關(guān)市新豐縣、遼陽市太子河區(qū)、涼山德昌縣、張掖市甘州區(qū)、菏澤市牡丹區(qū)、天水市秦州區(qū)、哈爾濱市方正縣、濟(jì)南市萊蕪區(qū)、海北祁連縣、延安市安塞區(qū)
攀枝花市鹽邊縣、寶雞市千陽縣、淄博市桓臺(tái)縣、荊州市洪湖市、德州市陵城區(qū)、紹興市柯橋區(qū)、長(zhǎng)春市九臺(tái)區(qū)
齊齊哈爾市克東縣、廣西柳州市柳城縣、廣安市岳池縣、濰坊市臨朐縣、梅州市興寧市、廣西百色市田林縣、煙臺(tái)市芝罘區(qū)
洛陽市澗西區(qū)、上海市青浦區(qū)、海南同德縣、威海市榮成市、攀枝花市西區(qū)、屯昌縣坡心鎮(zhèn)
臨滄市臨翔區(qū)、臨汾市鄉(xiāng)寧縣、黑河市嫩江市、昭通市鹽津縣、韶關(guān)市南雄市、合肥市肥西縣、貴陽市云巖區(qū)
哈爾濱市尚志市、淮安市淮安區(qū)、南昌市西湖區(qū)、六安市霍邱縣、營(yíng)口市西市區(qū)
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南通市海安市、黃岡市羅田縣、廣西百色市德保縣、安康市漢陰縣、撫州市崇仁縣、甘南瑪曲縣
棗莊市山亭區(qū)、濟(jì)南市章丘區(qū)、黔東南雷山縣、中山市三角鎮(zhèn)、文山硯山縣、紅河建水縣、畢節(jié)市赫章縣、呂梁市嵐縣、衢州市衢江區(qū)、內(nèi)蒙古烏海市海南區(qū)
伊春市烏翠區(qū)、宣城市廣德市、西安市臨潼區(qū)、黃山市祁門縣、重慶市石柱土家族自治縣、漯河市舞陽縣
贛州市龍南市、上饒市玉山縣、中山市西區(qū)街道、內(nèi)蒙古呼和浩特市新城區(qū)、新鄉(xiāng)市長(zhǎng)垣市
本溪市本溪滿族自治縣、濰坊市奎文區(qū)、南京市浦口區(qū)、咸陽市淳化縣、三沙市西沙區(qū)、廣西桂林市陽朔縣
遼陽市遼陽縣、五指山市毛道、慶陽市環(huán)縣、隨州市廣水市、四平市鐵西區(qū)、文山富寧縣、黃南同仁市、湘西州龍山縣、運(yùn)城市垣曲縣、安康市白河縣
許昌市禹州市、重慶市大渡口區(qū)、商洛市柞水縣、黔南長(zhǎng)順縣、廣西北海市鐵山港區(qū)、景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)
清遠(yuǎn)市佛岡縣、重慶市豐都縣、本溪市桓仁滿族自治縣、吉安市吉州區(qū)、鄭州市登封市、深圳市龍華區(qū)
遵義市仁懷市、南京市江寧區(qū)、保山市昌寧縣、白山市臨江市、延邊龍井市、廣元市旺蒼縣、安陽市文峰區(qū)
涼山冕寧縣、蕪湖市弋江區(qū)、鶴崗市蘿北縣、重慶市開州區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟太仆寺旗
阜新市彰武縣、淮南市八公山區(qū)、贛州市安遠(yuǎn)縣、隨州市隨縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市卓資縣
呂梁市離石區(qū)、玉溪市新平彝族傣族自治縣、平頂山市寶豐縣、隴南市武都區(qū)、屯昌縣屯城鎮(zhèn)、沈陽市遼中區(qū)
漢中市略陽縣、阿壩藏族羌族自治州紅原縣、銅川市王益區(qū)、衢州市開化縣、駐馬店市平輿縣、南平市武夷山市、廣西南寧市青秀區(qū)、中山市沙溪鎮(zhèn)、黃山市休寧縣
南陽市新野縣、上饒市玉山縣、榆林市定邊縣、廣西南寧市興寧區(qū)、廣西來賓市武宣縣、張家界市慈利縣
成都市大邑縣、安慶市大觀區(qū)、黔東南黎平縣、昆明市石林彝族自治縣、九江市都昌縣
佛山市高明區(qū)、阜陽市潁東區(qū)、漯河市臨潁縣、贛州市信豐縣、廣西崇左市天等縣、臨汾市侯馬市、中山市港口鎮(zhèn)、宜賓市江安縣、錦州市凌河區(qū)、湘西州永順縣
通化市輝南縣、濮陽市臺(tái)前縣、咸寧市嘉魚縣、咸陽市禮泉縣、紅河金平苗族瑤族傣族自治縣、攀枝花市米易縣
紹興市柯橋區(qū)、撫州市黎川縣、常德市臨澧縣、上饒市弋陽縣、郴州市資興市、揚(yáng)州市邗江區(qū)
中山市橫欄鎮(zhèn)、東莞市橋頭鎮(zhèn)、上海市靜安區(qū)、泉州市德化縣、濮陽市華龍區(qū)、大同市渾源縣、內(nèi)江市資中縣、九江市武寧縣、海南貴德縣
南陽市新野縣、丹東市振安區(qū)、儋州市新州鎮(zhèn)、黃山市祁門縣、中山市橫欄鎮(zhèn)、陽江市陽春市、婁底市新化縣、長(zhǎng)治市平順縣
韶關(guān)市新豐縣、紅河瀘西縣、周口市淮陽區(qū)、廣西南寧市興寧區(qū)、澄邁縣文儒鎮(zhèn)、白沙黎族自治縣邦溪鎮(zhèn)、海西蒙古族都蘭縣、永州市零陵區(qū)
昌江黎族自治縣烏烈鎮(zhèn)、寧德市壽寧縣、長(zhǎng)春市二道區(qū)、哈爾濱市阿城區(qū)、涼山甘洛縣、咸寧市通山縣、合肥市巢湖市、新鄉(xiāng)市紅旗區(qū)、廣西崇左市寧明縣
遵義市紅花崗區(qū)、鄭州市新密市、東莞市鳳崗鎮(zhèn)、上饒市婺源縣、黃石市鐵山區(qū)、黔南長(zhǎng)順縣、貴陽市清鎮(zhèn)市、內(nèi)蒙古赤峰市紅山區(qū)、廣西崇左市憑祥市、徐州市泉山區(qū)
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黃山市歙縣、寧波市余姚市、張掖市民樂縣、煙臺(tái)市海陽市、內(nèi)蒙古赤峰市元寶山區(qū)、寶雞市太白縣、平?jīng)鍪徐`臺(tái)縣、梅州市梅江區(qū)
長(zhǎng)春市綠園區(qū)、平頂山市石龍區(qū)、廣西柳州市鹿寨縣、伊春市金林區(qū)、東營(yíng)市河口區(qū)、昭通市水富市、遵義市桐梓縣、銅仁市思南縣、龍巖市新羅區(qū)、北京市大興區(qū)
寧波市奉化區(qū)、天津市濱海新區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市賽罕區(qū)、延邊汪清縣、黃石市鐵山區(qū)、寧波市北侖區(qū)、宜賓市敘州區(qū)、澄邁縣福山鎮(zhèn)
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉淼耐ㄓ?span>GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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