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楚雄牟定縣、黔南羅甸縣、泰州市海陵區(qū)、龍巖市武平縣、吉安市新干縣、昭通市魯?shù)榭h、廣西北海市鐵山港區(qū)、清遠(yuǎn)市清新區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市固陽(yáng)縣、寧德市古田縣
上海市楊浦區(qū)、中山市五桂山街道、齊齊哈爾市克山縣、宜昌市五峰土家族自治縣、海南共和縣
重慶市潼南區(qū)、開封市杞縣、湘西州龍山縣、遼源市東豐縣、廣州市白云區(qū)、濮陽(yáng)市華龍區(qū)
大理大理市、內(nèi)蒙古包頭市東河區(qū)、晉城市澤州縣、達(dá)州市通川區(qū)、臨高縣和舍鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古呼和浩特市土默特左旗
瀘州市瀘縣、東莞市長(zhǎng)安鎮(zhèn)、青島市市南區(qū)、贛州市崇義縣、廣州市從化區(qū)
定安縣黃竹鎮(zhèn)、周口市西華縣、曲靖市麒麟?yún)^(qū)、長(zhǎng)治市潞州區(qū)、蘇州市姑蘇區(qū)、廣西桂林市恭城瑤族自治縣、重慶市南岸區(qū)、南通市啟東市、萍鄉(xiāng)市蘆溪縣
茂名市化州市、舟山市嵊泗縣、黔東南劍河縣、杭州市余杭區(qū)、廣西崇左市寧明縣、大同市左云縣、內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善右旗、襄陽(yáng)市南漳縣、大連市瓦房店市、阜陽(yáng)市阜南縣
廣西欽州市欽南區(qū)、開封市祥符區(qū)、普洱市墨江哈尼族自治縣、南京市建鄴區(qū)、榆林市清澗縣、廣西崇左市大新縣、婁底市冷水江市、懷化市中方縣、儋州市南豐鎮(zhèn)
齊齊哈爾市富?？h、韶關(guān)市樂(lè)昌市、眉山市彭山區(qū)、撫州市樂(lè)安縣、黔南甕安縣、黔南獨(dú)山縣、蚌埠市禹會(huì)區(qū)、渭南市臨渭區(qū)
黑河市嫩江市、銅仁市石阡縣、內(nèi)江市東興區(qū)、哈爾濱市平房區(qū)、黔南貴定縣、自貢市沿灘區(qū)、廣西欽州市浦北縣
天津市河北區(qū)、曲靖市師宗縣、臨汾市翼城縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市磴口縣、深圳市龍崗區(qū)、齊齊哈爾市富拉爾基區(qū)、馬鞍山市雨山區(qū)、焦作市沁陽(yáng)市、廣西防城港市上思縣
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市磴口縣、大興安嶺地區(qū)漠河市、淄博市沂源縣、重慶市石柱土家族自治縣、內(nèi)蒙古赤峰市喀喇沁旗、遵義市綏陽(yáng)縣、陵水黎族自治縣隆廣鎮(zhèn)、寧夏固原市隆德縣、大慶市肇州縣
太原市婁煩縣、定西市臨洮縣、龍巖市新羅區(qū)、大連市西崗區(qū)、黔東南黎平縣
福州市連江縣、昆明市五華區(qū)、東方市板橋鎮(zhèn)、遵義市余慶縣、商洛市丹鳳縣
蘭州市西固區(qū)、甘孜鄉(xiāng)城縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市磴口縣、東莞市橋頭鎮(zhèn)、銅仁市萬(wàn)山區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市固陽(yáng)縣
通化市柳河縣、青島市城陽(yáng)區(qū)、贛州市贛縣區(qū)、莆田市仙游縣、重慶市開州區(qū)、東方市大田鎮(zhèn)、南京市江寧區(qū)、焦作市武陟縣、長(zhǎng)春市朝陽(yáng)區(qū)、上海市閔行區(qū)
昌江黎族自治縣烏烈鎮(zhèn)、寧德市壽寧縣、長(zhǎng)春市二道區(qū)、哈爾濱市阿城區(qū)、涼山甘洛縣、咸寧市通山縣、合肥市巢湖市、新鄉(xiāng)市紅旗區(qū)、廣西崇左市寧明縣
文昌市潭牛鎮(zhèn)、青島市嶗山區(qū)、重慶市城口縣、池州市東至縣、白山市長(zhǎng)白朝鮮族自治縣、白城市鎮(zhèn)賚縣、福州市閩清縣
臨沂市郯城縣、鶴崗市東山區(qū)、荊門市沙洋縣、寶雞市扶風(fēng)縣、白沙黎族自治縣金波鄉(xiāng)、常德市漢壽縣、上海市黃浦區(qū)、五指山市通什、西安市臨潼區(qū)、佳木斯市湯原縣
臺(tái)州市天臺(tái)縣、黔南三都水族自治縣、開封市尉氏縣、漯河市舞陽(yáng)縣、綏化市北林區(qū)、雙鴨山市四方臺(tái)區(qū)、哈爾濱市尚志市、阿壩藏族羌族自治州理縣、德陽(yáng)市中江縣
株洲市攸縣、忻州市忻府區(qū)、杭州市淳安縣、汕頭市濠江區(qū)、松原市扶余市、南昌市青山湖區(qū)、廣西崇左市龍州縣、南京市建鄴區(qū)、邵陽(yáng)市綏寧縣、懷化市會(huì)同縣
福州市連江縣、錦州市太和區(qū)、渭南市蒲城縣、馬鞍山市和縣、北京市東城區(qū)、大理賓川縣、玉樹玉樹市、萬(wàn)寧市禮紀(jì)鎮(zhèn)
東莞市東城街道、瓊海市塔洋鎮(zhèn)、常德市安鄉(xiāng)縣、榆林市定邊縣、東方市天安鄉(xiāng)、儋州市大成鎮(zhèn)、宿州市埇橋區(qū)
惠州市惠東縣、宜春市袁州區(qū)、綏化市蘭西縣、金華市磐安縣、玉樹曲麻萊縣、黃南同仁市、金華市金東區(qū)、五指山市水滿
本溪市本溪滿族自治縣、定安縣翰林鎮(zhèn)、周口市西華縣、白城市洮北區(qū)、淮南市壽縣、安慶市懷寧縣
本溪市明山區(qū)、陵水黎族自治縣文羅鎮(zhèn)、宿州市泗縣、泉州市洛江區(qū)、重慶市大渡口區(qū)、銅仁市石阡縣、潮州市湘橋區(qū)、萬(wàn)寧市三更羅鎮(zhèn)、遼陽(yáng)市燈塔市
通化市輝南縣、長(zhǎng)治市潞城區(qū)、延安市洛川縣、盤錦市雙臺(tái)子區(qū)、文山西疇縣、安慶市迎江區(qū)
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武漢市黃陂區(qū)、銅仁市石阡縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市達(dá)拉特旗、聊城市臨清市、鶴崗市綏濱縣、陵水黎族自治縣黎安鎮(zhèn)、洛陽(yáng)市西工區(qū)、臨汾市大寧縣
臨沂市蒙陰縣、蘇州市吳中區(qū)、運(yùn)城市臨猗縣、上海市黃浦區(qū)、昌江黎族自治縣海尾鎮(zhèn)、大理漾濞彝族自治縣、隴南市武都區(qū)
樂(lè)東黎族自治縣黃流鎮(zhèn)、直轄縣天門市、屯昌縣西昌鎮(zhèn)、齊齊哈爾市富拉爾基區(qū)、廣西北海市銀海區(qū)、福州市閩清縣、三亞市海棠區(qū)、昆明市呈貢區(qū)、黃山市黃山區(qū)、菏澤市東明縣
東莞市石排鎮(zhèn)、黔東南岑鞏縣、大連市甘井子區(qū)、大同市廣靈縣、忻州市寧武縣
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銅仁市萬(wàn)山區(qū)、蘭州市七里河區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市扎魯特旗、德州市寧津縣、三明市將樂(lè)縣、聊城市冠縣、佳木斯市撫遠(yuǎn)市
棗莊市市中區(qū)、撫州市東鄉(xiāng)區(qū)、海南貴南縣、南昌市南昌縣、成都市大邑縣
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內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特前旗、東莞市萬(wàn)江街道、邵陽(yáng)市新寧縣、儋州市白馬井鎮(zhèn)、蕪湖市鏡湖區(qū)
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南京市江寧區(qū)、昆明市嵩明縣、廣西賀州市昭平縣、南通市海安市、瓊海市長(zhǎng)坡鎮(zhèn)
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齊齊哈爾市依安縣、連云港市海州區(qū)、漳州市云霄縣、濟(jì)南市鋼城區(qū)、丹東市振安區(qū)
日照市五蓮縣、吉林市龍?zhí)秴^(qū)、信陽(yáng)市平橋區(qū)、衢州市江山市、畢節(jié)市織金縣、泉州市石獅市
內(nèi)蒙古赤峰市喀喇沁旗、咸寧市咸安區(qū)、珠海市斗門區(qū)、常德市澧縣、中山市五桂山街道、重慶市黔江區(qū)、福州市馬尾區(qū)、中山市古鎮(zhèn)鎮(zhèn)
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜。”黃道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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