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玉溪市華寧縣、佳木斯市撫遠(yuǎn)市、漢中市留壩縣、宜昌市遠(yuǎn)安縣、臨夏臨夏縣、北京市海淀區(qū)、三明市大田縣、哈爾濱市木蘭縣、嘉峪關(guān)市峪泉鎮(zhèn)
駐馬店市泌陽(yáng)縣、文昌市公坡鎮(zhèn)、東莞市東城街道、淮安市金湖縣、甘孜色達(dá)縣、文山廣南縣
楚雄祿豐市、廣西桂林市資源縣、天水市武山縣、黔東南凱里市、懷化市通道侗族自治縣、上饒市德興市、渭南市澄城縣、泰州市海陵區(qū)、襄陽(yáng)市襄州區(qū)、六安市金安區(qū)
黔南長(zhǎng)順縣、涼山金陽(yáng)縣、蘭州市安寧區(qū)、煙臺(tái)市萊山區(qū)、宜昌市遠(yuǎn)安縣、韶關(guān)市南雄市、淮安市漣水縣
內(nèi)江市市中區(qū)、晉中市介休市、內(nèi)蒙古赤峰市松山區(qū)、信陽(yáng)市新縣、晉中市左權(quán)縣
德州市寧津縣、四平市鐵東區(qū)、樂(lè)山市馬邊彝族自治縣、伊春市烏翠區(qū)、黔南龍里縣、濟(jì)寧市曲阜市
海西蒙古族茫崖市、貴陽(yáng)市南明區(qū)、黃岡市黃梅縣、三明市大田縣、衢州市江山市、肇慶市懷集縣、蕪湖市繁昌區(qū)、郴州市安仁縣、南通市崇川區(qū)
廈門市翔安區(qū)、合肥市長(zhǎng)豐縣、新鄉(xiāng)市衛(wèi)濱區(qū)、東營(yíng)市東營(yíng)區(qū)、寧德市霞浦縣
黃岡市羅田縣、景德鎮(zhèn)市樂(lè)平市、內(nèi)蒙古烏蘭察布市商都縣、廣西梧州市萬(wàn)秀區(qū)、東莞市南城街道、綿陽(yáng)市安州區(qū)、濰坊市坊子區(qū)、岳陽(yáng)市岳陽(yáng)樓區(qū)
鐵嶺市昌圖縣、廣安市岳池縣、北京市懷柔區(qū)、麗江市華坪縣、廣元市昭化區(qū)、咸寧市崇陽(yáng)縣、綏化市蘭西縣、成都市新津區(qū)
內(nèi)蒙古烏海市海勃灣區(qū)、文昌市文城鎮(zhèn)、吉林市船營(yíng)區(qū)、南京市江寧區(qū)、德宏傣族景頗族自治州隴川縣、伊春市伊美區(qū)、白銀市白銀區(qū)
景德鎮(zhèn)市浮梁縣、咸寧市崇陽(yáng)縣、鷹潭市月湖區(qū)、大慶市龍鳳區(qū)、岳陽(yáng)市汨羅市
廣州市番禺區(qū)、雙鴨山市饒河縣、寶雞市眉縣、阜新市清河門區(qū)、昆明市嵩明縣、南陽(yáng)市淅川縣、臨汾市蒲縣
長(zhǎng)治市長(zhǎng)子縣、中山市港口鎮(zhèn)、普洱市景谷傣族彝族自治縣、威海市環(huán)翠區(qū)、涼山美姑縣、齊齊哈爾市鐵鋒區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市奈曼旗、龍巖市新羅區(qū)
德州市臨邑縣、大同市新榮區(qū)、新鄉(xiāng)市封丘縣、長(zhǎng)治市長(zhǎng)子縣、東莞市長(zhǎng)安鎮(zhèn)、延邊安圖縣、黔西南興義市、荊州市江陵縣、阿壩藏族羌族自治州汶川縣
晉中市太谷區(qū)、雞西市麻山區(qū)、長(zhǎng)沙市長(zhǎng)沙縣、四平市梨樹(shù)縣、內(nèi)蒙古赤峰市紅山區(qū)、忻州市五臺(tái)縣、鶴壁市?？h、湘西州古丈縣、濰坊市寒亭區(qū)、大理賓川縣
廣安市武勝縣、黔西南普安縣、昆明市嵩明縣、天津市西青區(qū)、丹東市鳳城市、臨汾市襄汾縣、寧夏銀川市永寧縣、定西市隴西縣
安慶市迎江區(qū)、昭通市魯?shù)榭h、郴州市永興縣、北京市海淀區(qū)、麗江市永勝縣
漳州市長(zhǎng)泰區(qū)、揭陽(yáng)市普寧市、湘西州保靖縣、溫州市樂(lè)清市、常州市新北區(qū)、內(nèi)江市隆昌市、珠海市斗門區(qū)、昆明市祿勸彝族苗族自治縣、運(yùn)城市萬(wàn)榮縣
湖州市安吉縣、銅仁市松桃苗族自治縣、齊齊哈爾市訥河市、雞西市雞東縣、營(yíng)口市老邊區(qū)、海東市民和回族土族自治縣、甘孜雅江縣
遼源市西安區(qū)、青島市即墨區(qū)、阜新市阜新蒙古族自治縣、中山市黃圃鎮(zhèn)、牡丹江市海林市、涼山雷波縣、上饒市廣豐區(qū)
荊州市江陵縣、四平市鐵東區(qū)、黔東南天柱縣、吉安市新干縣、銅川市王益區(qū)、臨汾市蒲縣、甘南夏河縣、廣西玉林市陸川縣、長(zhǎng)沙市長(zhǎng)沙縣
甘孜理塘縣、雞西市滴道區(qū)、海東市循化撒拉族自治縣、無(wú)錫市梁溪區(qū)、寧夏銀川市金鳳區(qū)、晉城市高平市、十堰市丹江口市、臨汾市大寧縣、德宏傣族景頗族自治州瑞麗市、德陽(yáng)市旌陽(yáng)區(qū)
六安市霍山縣、威海市文登區(qū)、南平市邵武市、甘孜爐霍縣、黔南福泉市、鞍山市岫巖滿族自治縣、臨夏和政縣
蚌埠市固鎮(zhèn)縣、懷化市會(huì)同縣、河源市源城區(qū)、萬(wàn)寧市龍滾鎮(zhèn)、廣西南寧市邕寧區(qū)
運(yùn)城市聞喜縣、紹興市上虞區(qū)、青島市嶗山區(qū)、茂名市茂南區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特中旗、汕頭市潮南區(qū)
岳陽(yáng)市汨羅市、咸陽(yáng)市旬邑縣、湘西州鳳凰縣、三明市寧化縣、黔南三都水族自治縣
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丹東市振安區(qū)、鶴崗市綏濱縣、大興安嶺地區(qū)呼中區(qū)、安康市寧陜縣、漯河市臨潁縣、文昌市錦山鎮(zhèn)、朔州市朔城區(qū)、臺(tái)州市玉環(huán)市
鐵嶺市西豐縣、鶴崗市綏濱縣、宜賓市長(zhǎng)寧縣、萬(wàn)寧市大茂鎮(zhèn)、中山市三鄉(xiāng)鎮(zhèn)、廣西賀州市八步區(qū)
淮北市杜集區(qū)、臨滄市滄源佤族自治縣、惠州市龍門縣、宜賓市南溪區(qū)、雅安市漢源縣、鎮(zhèn)江市揚(yáng)中市、廣西柳州市城中區(qū)、臨夏臨夏縣
九江市瑞昌市、上饒市橫峰縣、甘孜新龍縣、廣西河池市東蘭縣、淮南市八公山區(qū)
寧波市鄞州區(qū)、景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)、濰坊市壽光市、臨高縣博厚鎮(zhèn)、撫州市南城縣、銅川市王益區(qū)、蘭州市城關(guān)區(qū)、黔東南從江縣
安陽(yáng)市安陽(yáng)縣、棗莊市薛城區(qū)、湛江市遂溪縣、中山市南區(qū)街道、滁州市定遠(yuǎn)縣、臨高縣南寶鎮(zhèn)、商丘市民權(quán)縣、溫州市瑞安市、吉安市安?？h
煙臺(tái)市芝罘區(qū)、菏澤市牡丹區(qū)、永州市東安縣、萬(wàn)寧市三更羅鎮(zhèn)、黃岡市蘄春縣、漢中市漢臺(tái)區(qū)
吉林市樺甸市、西寧市城中區(qū)、淮安市金湖縣、文昌市文城鎮(zhèn)、益陽(yáng)市安化縣、酒泉市敦煌市
漯河市召陵區(qū)、東莞市高埗鎮(zhèn)、宜賓市屏山縣、迪慶香格里拉市、儋州市蘭洋鎮(zhèn)、廣西玉林市陸川縣、黑河市遜克縣
慶陽(yáng)市鎮(zhèn)原縣、新鄉(xiāng)市牧野區(qū)、銅陵市義安區(qū)、保山市騰沖市、海西蒙古族天峻縣
廣西南寧市興寧區(qū)、西寧市湟中區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特中旗、松原市長(zhǎng)嶺縣、孝感市漢川市、北京市東城區(qū)、黔東南劍河縣、淮南市潘集區(qū)、陽(yáng)江市陽(yáng)西縣
咸寧市嘉魚(yú)縣、紅河蒙自市、深圳市龍華區(qū)、贛州市信豐縣、蘇州市相城區(qū)、安順市普定縣、廣西梧州市萬(wàn)秀區(qū)、寧夏銀川市西夏區(qū)、阜陽(yáng)市界首市、大同市平城區(qū)
資陽(yáng)市雁江區(qū)、嘉興市海鹽縣、懷化市洪江市、樂(lè)山市金口河區(qū)、河源市東源縣、屯昌縣南坤鎮(zhèn)、大理云龍縣、江門市恩平市、沈陽(yáng)市遼中區(qū)、阜新市太平區(qū)
麗水市青田縣、濰坊市安丘市、文山文山市、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟太仆寺旗、南京市玄武區(qū)、瀘州市江陽(yáng)區(qū)、黔東南劍河縣、上饒市鉛山縣、廣州市花都區(qū)、青島市膠州市
哈爾濱市呼蘭區(qū)、涼山會(huì)理市、清遠(yuǎn)市佛岡縣、遼源市西安區(qū)、茂名市電白區(qū)、三明市明溪縣、廣西崇左市天等縣、曲靖市羅平縣
常州市武進(jìn)區(qū)、雙鴨山市四方臺(tái)區(qū)、寧夏石嘴山市平羅縣、海東市化隆回族自治縣、佳木斯市樺南縣、綿陽(yáng)市江油市
忻州市代縣、東莞市石龍鎮(zhèn)、長(zhǎng)治市沁縣、上海市松江區(qū)、慶陽(yáng)市寧縣、邵陽(yáng)市武岡市、定西市渭源縣、嘉峪關(guān)市新城鎮(zhèn)、滁州市全椒縣
果洛瑪多縣、七臺(tái)河市勃利縣、開(kāi)封市龍亭區(qū)、上饒市廣信區(qū)、襄陽(yáng)市宜城市、楚雄大姚縣、晉城市高平市、廣西桂林市興安縣
安康市漢陰縣、重慶市南川區(qū)、綿陽(yáng)市安州區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市準(zhǔn)格爾旗、南昌市西湖區(qū)、哈爾濱市尚志市
澄邁縣大豐鎮(zhèn)、內(nèi)江市隆昌市、延安市富縣、合肥市瑤海區(qū)、宜春市豐城市、昆明市宜良縣
榆林市吳堡縣、溫州市蒼南縣、濰坊市坊子區(qū)、長(zhǎng)春市榆樹(shù)市、三門峽市湖濱區(qū)、貴陽(yáng)市白云區(qū)、茂名市信宜市
重慶市大渡口區(qū)、錦州市太和區(qū)、滁州市南譙區(qū)、廣西梧州市萬(wàn)秀區(qū)、濰坊市安丘市、煙臺(tái)市芝罘區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟錫林浩特市
信陽(yáng)市羅山縣、溫州市永嘉縣、太原市迎澤區(qū)、大連市甘井子區(qū)、淮北市烈山區(qū)、澄邁縣瑞溪鎮(zhèn)、寶雞市金臺(tái)區(qū)、五指山市通什、雞西市密山市
長(zhǎng)治市潞州區(qū)、運(yùn)城市稷山縣、大連市甘井子區(qū)、臨高縣皇桐鎮(zhèn)、太原市尖草坪區(qū)、商丘市睢陽(yáng)區(qū)、宜昌市興山縣、貴陽(yáng)市南明區(qū)、蘇州市吳中區(qū)、德州市德城區(qū)
廣西防城港市港口區(qū)、四平市公主嶺市、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特前旗、銅仁市石阡縣、貴陽(yáng)市清鎮(zhèn)市、大慶市薩爾圖區(qū)、臨沂市郯城縣
湛江市遂溪縣、延安市富縣、濟(jì)南市章丘區(qū)、福州市平潭縣、江門市蓬江區(qū)、溫州市洞頭區(qū)、陽(yáng)江市陽(yáng)春市、海東市互助土族自治縣、渭南市華陰市、鞍山市千山區(qū)
焦作市山陽(yáng)區(qū)、廣西河池市羅城仫佬族自治縣、南陽(yáng)市臥龍區(qū)、寧夏吳忠市鹽池縣、延邊和龍市、商丘市睢陽(yáng)區(qū)、定安縣黃竹鎮(zhèn)、黑河市嫩江市、德州市齊河縣、杭州市淳安縣
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開(kāi)發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開(kāi)展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開(kāi)源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜。”黃道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開(kāi)發(fā)。
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