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肇慶市德慶縣、昆明市嵩明縣、蘇州市張家港市、三亞市吉陽區(qū)、西安市鄠邑區(qū)、紹興市柯橋區(qū)、沈陽市沈北新區(qū)、白山市撫松縣
臨汾市永和縣、溫州市泰順縣、瓊海市潭門鎮(zhèn)、德宏傣族景頗族自治州瑞麗市、紅河建水縣、株洲市炎陵縣、廣西南寧市西鄉(xiāng)塘區(qū)
廣州市荔灣區(qū)、廣西河池市大化瑤族自治縣、新鄉(xiāng)市衛(wèi)濱區(qū)、樂山市峨眉山市、銅仁市印江縣、儋州市中和鎮(zhèn)、運(yùn)城市夏縣
蚌埠市龍子湖區(qū)、南平市光澤縣、揚(yáng)州市高郵市、六盤水市六枝特區(qū)、福州市永泰縣、萬寧市三更羅鎮(zhèn)、珠海市金灣區(qū)、大同市左云縣
贛州市石城縣、瓊海市潭門鎮(zhèn)、楚雄永仁縣、永州市道縣、銅仁市江口縣、涼山甘洛縣、陵水黎族自治縣本號鎮(zhèn)、南通市通州區(qū)、駐馬店市上蔡縣、信陽市潢川縣
遵義市湄潭縣、臨汾市汾西縣、威海市文登區(qū)、安陽市滑縣、天津市寧河區(qū)、德州市平原縣、遵義市匯川區(qū)
平?jīng)鍪谐缧趴h、海南興?？h、蘇州市相城區(qū)、東方市天安鄉(xiāng)、南京市鼓樓區(qū)、銅陵市樅陽縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市化德縣
蕪湖市鳩江區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特中旗、宜春市萬載縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特右旗、達(dá)州市渠縣、鷹潭市余江區(qū)、白沙黎族自治縣細(xì)水鄉(xiāng)、徐州市銅山區(qū)
宜賓市長寧縣、張家界市永定區(qū)、定西市岷縣、澄邁縣瑞溪鎮(zhèn)、上饒市信州區(qū)、黔西南普安縣
昌江黎族自治縣王下鄉(xiāng)、常州市新北區(qū)、七臺河市新興區(qū)、周口市扶溝縣、上饒市婺源縣、撫州市南豐縣
東莞市望牛墩鎮(zhèn)、屯昌縣楓木鎮(zhèn)、撫州市南城縣、泰州市姜堰區(qū)、日照市莒縣、紹興市越城區(qū)、商丘市梁園區(qū)、宜春市高安市
紹興市上虞區(qū)、煙臺市萊山區(qū)、汕尾市陸河縣、溫州市文成縣、安慶市岳西縣、廈門市湖里區(qū)、廣西防城港市東興市、內(nèi)蒙古包頭市青山區(qū)、四平市公主嶺市
湛江市廉江市、廣西河池市羅城仫佬族自治縣、沈陽市蘇家屯區(qū)、安順市西秀區(qū)、朔州市山陰縣
廣西柳州市三江侗族自治縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市額爾古納市、通化市東昌區(qū)、呂梁市興縣、澄邁縣老城鎮(zhèn)、南陽市方城縣、成都市邛崍市、汕頭市金平區(qū)
黃山市祁門縣、朝陽市凌源市、廣西防城港市防城區(qū)、天水市秦州區(qū)、湘潭市湘潭縣
菏澤市巨野縣、長沙市開福區(qū)、成都市都江堰市、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市磴口縣、新鄉(xiāng)市獲嘉縣、杭州市淳安縣、湘潭市雨湖區(qū)、武漢市新洲區(qū)
忻州市五寨縣、三明市建寧縣、嘉興市海寧市、自貢市自流井區(qū)、西安市未央?yún)^(qū)
榆林市神木市、臨沂市蘭陵縣、日照市五蓮縣、銅仁市江口縣、德陽市廣漢市、襄陽市老河口市、荊門市京山市、肇慶市德慶縣
渭南市華陰市、懷化市鶴城區(qū)、宣城市旌德縣、廣西桂林市灌陽縣、漳州市華安縣
大慶市薩爾圖區(qū)、葫蘆島市興城市、廣西百色市平果市、曲靖市馬龍區(qū)、銅仁市沿河土家族自治縣、阜陽市潁泉區(qū)、西安市臨潼區(qū)
廣西河池市都安瑤族自治縣、內(nèi)蒙古通遼市庫倫旗、紅河石屏縣、合肥市蜀山區(qū)、安康市寧陜縣、郴州市宜章縣、廣西梧州市蒙山縣、岳陽市臨湘市、遼陽市燈塔市、吉安市新干縣
長春市二道區(qū)、儋州市白馬井鎮(zhèn)、洛陽市孟津區(qū)、屯昌縣南呂鎮(zhèn)、盤錦市盤山縣
平頂山市汝州市、濱州市沾化區(qū)、紹興市諸暨市、濟(jì)南市商河縣、白銀市平川區(qū)、濰坊市高密市、黃石市陽新縣、六安市金寨縣
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安慶市懷寧縣、呂梁市離石區(qū)、寧夏銀川市賀蘭縣、臨汾市吉縣、廣西北海市銀海區(qū)
白沙黎族自治縣金波鄉(xiāng)、濱州市博興縣、上饒市婺源縣、銅仁市萬山區(qū)、黔南甕安縣、?？谑忻捞m區(qū)、商丘市夏邑縣、荊州市監(jiān)利市、福州市長樂區(qū)、大同市廣靈縣
長沙市寧鄉(xiāng)市、重慶市彭水苗族土家族自治縣、鶴崗市南山區(qū)、西寧市湟源縣、白城市鎮(zhèn)賚縣、白城市洮北區(qū)、新鄉(xiāng)市牧野區(qū)、阜陽市潁泉區(qū)
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溫州市永嘉縣、安慶市岳西縣、淮北市相山區(qū)、呂梁市嵐縣、云浮市云城區(qū)
自貢市富順縣、南陽市內(nèi)鄉(xiāng)縣、懷化市會同縣、淄博市沂源縣、阿壩藏族羌族自治州黑水縣、信陽市平橋區(qū)
甘孜色達(dá)縣、昆明市晉寧區(qū)、慶陽市鎮(zhèn)原縣、贛州市大余縣、臨汾市曲沃縣、巴中市南江縣、益陽市資陽區(qū)、蕪湖市鳩江區(qū)、馬鞍山市當(dāng)涂縣
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涼山木里藏族自治縣、湛江市吳川市、廣西玉林市興業(yè)縣、慶陽市西峰區(qū)、德宏傣族景頗族自治州芒市、泰安市東平縣、楚雄牟定縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝?yán)铮∧C(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”，運(yùn)泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點(diǎn)，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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