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荊州市沙市區(qū)、溫州市泰順縣、黔東南黎平縣、寧德市蕉城區(qū)、阿壩藏族羌族自治州茂縣、臨沂市臨沭縣、肇慶市封開縣、嘉興市海寧市
懷化市會同縣、黑河市孫吳縣、長沙市岳麓區(qū)、中山市南頭鎮(zhèn)、雅安市蘆山縣、濰坊市寒亭區(qū)
遵義市余慶縣、廣西桂林市資源縣、玉溪市峨山彝族自治縣、宿州市埇橋區(qū)、江門市臺山市、揚(yáng)州市江都區(qū)、洛陽市洛龍區(qū)、天津市河北區(qū)
南充市營山縣、東莞市石排鎮(zhèn)、重慶市城口縣、東莞市洪梅鎮(zhèn)、孝感市漢川市、遼源市龍山區(qū)、直轄縣神農(nóng)架林區(qū)、衡陽市衡山縣
齊齊哈爾市建華區(qū)、商丘市永城市、湘西州鳳凰縣、十堰市張灣區(qū)、黔南惠水縣、棗莊市山亭區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎賚諾爾區(qū)、襄陽市谷城縣、贛州市石城縣
莆田市涵江區(qū)、泉州市石獅市、儋州市峨蔓鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古通遼市開魯縣、陵水黎族自治縣黎安鎮(zhèn)、佳木斯市湯原縣、西寧市城東區(qū)
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市杭錦后旗、上饒市德興市、莆田市荔城區(qū)、漢中市佛坪縣、駐馬店市西平縣、天津市河西區(qū)、綏化市慶安縣、上海市松江區(qū)、武威市古浪縣、永州市江華瑤族自治縣
海西蒙古族茫崖市、宜賓市屏山縣、錦州市義縣、紅河開遠(yuǎn)市、渭南市臨渭區(qū)、襄陽市襄城區(qū)、大慶市讓胡路區(qū)
內(nèi)蒙古赤峰市巴林左旗、鹽城市建湖縣、南昌市新建區(qū)、福州市長樂區(qū)、儋州市峨蔓鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古赤峰市林西縣、大同市陽高縣、長治市黎城縣、阜新市阜新蒙古族自治縣、雙鴨山市饒河縣
甘孜得榮縣、金華市永康市、成都市成華區(qū)、鹽城市鹽都區(qū)、濟(jì)南市濟(jì)陽區(qū)
慶陽市合水縣、定西市臨洮縣、廣安市岳池縣、大理祥云縣、開封市順河回族區(qū)、白銀市白銀區(qū)
廣西百色市隆林各族自治縣、寧波市慈溪市、南京市建鄴區(qū)、金華市蘭溪市、北京市順義區(qū)、撫順市新?lián)釁^(qū)
寧夏吳忠市紅寺堡區(qū)、保山市施甸縣、鄭州市金水區(qū)、臨夏臨夏縣、眉山市彭山區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市興和縣、內(nèi)蒙古阿拉善盟額濟(jì)納旗、十堰市鄖西縣、湛江市坡頭區(qū)、臨高縣博厚鎮(zhèn)
臨汾市安澤縣、駐馬店市上蔡縣、伊春市友好區(qū)、襄陽市襄城區(qū)、上海市浦東新區(qū)、延安市寶塔區(qū)、漢中市鎮(zhèn)巴縣、臨夏廣河縣、揭陽市揭西縣、遵義市赤水市
臨汾市鄉(xiāng)寧縣、阿壩藏族羌族自治州紅原縣、白銀市靖遠(yuǎn)縣、北京市石景山區(qū)、漢中市佛坪縣、淄博市淄川區(qū)、寶雞市渭濱區(qū)、天津市北辰區(qū)、渭南市蒲城縣
蘭州市紅古區(qū)、雞西市城子河區(qū)、清遠(yuǎn)市佛岡縣、四平市梨樹縣、大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)、遼陽市文圣區(qū)、雅安市寶興縣
樂山市五通橋區(qū)、黔東南榕江縣、遂寧市射洪市、北京市門頭溝區(qū)、齊齊哈爾市昂昂溪區(qū)、伊春市鐵力市、杭州市上城區(qū)
十堰市茅箭區(qū)、畢節(jié)市黔西市、直轄縣仙桃市、廣西防城港市防城區(qū)、恩施州宣恩縣、鐵嶺市昌圖縣、六盤水市盤州市、安康市寧陜縣
臨滄市云縣、贛州市龍南市、哈爾濱市香坊區(qū)、大興安嶺地區(qū)新林區(qū)、海西蒙古族都蘭縣、重慶市豐都縣、贛州市章貢區(qū)、廣西桂林市永??h、綏化市肇東市
泰州市海陵區(qū)、瓊海市會山鎮(zhèn)、宣城市寧國市、徐州市睢寧縣、煙臺市萊州市、徐州市豐縣、吉安市吉水縣、銅仁市印江縣、儋州市海頭鎮(zhèn)
昌江黎族自治縣王下鄉(xiāng)、臨沂市羅莊區(qū)、嘉峪關(guān)市文殊鎮(zhèn)、遼陽市遼陽縣、黑河市遜克縣
臨滄市臨翔區(qū)、三明市寧化縣、內(nèi)蒙古赤峰市翁牛特旗、撫順市望花區(qū)、南昌市西湖區(qū)、宜昌市五峰土家族自治縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市集寧區(qū)、廣西河池市鳳山縣、廣安市廣安區(qū)、德州市德城區(qū)
黔東南雷山縣、廣西柳州市柳江區(qū)、東莞市石排鎮(zhèn)、銅仁市沿河土家族自治縣、南陽市南召縣
齊齊哈爾市克山縣、天津市靜海區(qū)、臨高縣新盈鎮(zhèn)、郴州市蘇仙區(qū)、綏化市北林區(qū)、攀枝花市西區(qū)、遵義市赤水市
蕪湖市南陵縣、廣州市增城區(qū)、重慶市渝北區(qū)、九江市潯陽區(qū)、杭州市濱江區(qū)、永州市新田縣、大興安嶺地區(qū)漠河市、西安市蓮湖區(qū)、茂名市化州市
開封市龍亭區(qū)、廣州市天河區(qū)、普洱市瀾滄拉祜族自治縣、成都市新津區(qū)、五指山市毛道、贛州市定南縣、黔東南劍河縣、許昌市長葛市、廣西賀州市八步區(qū)、錦州市黑山縣
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十堰市茅箭區(qū)、黑河市孫吳縣、岳陽市湘陰縣、楚雄牟定縣、淮南市壽縣、玉溪市華寧縣、東方市江邊鄉(xiāng)、天水市清水縣、伊春市湯旺縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè),國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一,但長期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?,F(xiàn)在,這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日,珠海恒格微電子裝備有限公司(簡稱“恒格微電子”)發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備,標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題,具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn),可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域,適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示,目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作,一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè),雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議,將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā),推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?;瘧?yīng)用;另一家為三疊紀(jì)公司,雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及,目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證,并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段,現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。

恒格微電子成立于2005年,公司官網(wǎng)顯示,主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售,產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域,包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。

公司方面表示,最早專注于PCB設(shè)備,此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步,近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道,聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié),根據(jù)SEMI數(shù)據(jù),刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞,半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān),因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用,例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)铮∧C(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備,共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上,海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示,2020年全球刻蝕機(jī)的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體(46.71%)、東京電子(26.57%)和應(yīng)用材料(16.96%)三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升,對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展,其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下,國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中,大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為,深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備,其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備(ETCH),包括CCP(電容耦合等離子刻蝕)、ICP(電感耦合等離子體干法刻蝕)、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝,是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟,與光刻相聯(lián)系的圖形化(pattern)處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備,能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕,兼容多種半導(dǎo)體材料,刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子,也培育了運(yùn)泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”,運(yùn)泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線,填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。

數(shù)據(jù)顯示,2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元,同比增長22.46%,比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn),近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出,推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模,爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年,設(shè)計(jì)業(yè)主營收入135億元,占了大頭。對比之下,生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時(shí)提到,當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”,集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮,加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè),接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞,機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向,現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中,AI業(yè)務(wù)都有所增加,也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片,其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算,這種情況下客戶會提出芯片改版的需求,使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片,AI芯片需要更高算力,有時(shí)會把幾塊芯片拼接在一起,工藝也會更加復(fù)雜。”黃道遠(yuǎn)表示。
目前,凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片,也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測試芯片,瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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