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韶關(guān)市武江區(qū)、天津市紅橋區(qū)、寧波市象山縣、黔南貴定縣、衡陽市衡東縣、長治市潞城區(qū)、邵陽市新寧縣
蕪湖市鏡湖區(qū)、黔東南凱里市、撫州市南城縣、達(dá)州市宣漢縣、九江市彭澤縣、成都市都江堰市、中山市南朗鎮(zhèn)、重慶市江津區(qū)、南通市崇川區(qū)、湛江市雷州市
成都市蒲江縣、酒泉市肅北蒙古族自治縣、泉州市洛江區(qū)、宜春市袁州區(qū)、南京市六合區(qū)、威海市文登區(qū)、呂梁市方山縣、郴州市安仁縣、大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)、株洲市荷塘區(qū)
黃岡市蘄春縣、廣州市番禺區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟阿爾山市、涼山布拖縣、朝陽市龍城區(qū)
重慶市巫溪縣、內(nèi)蒙古興安盟突泉縣、南陽市南召縣、黔東南錦屏縣、馬鞍山市雨山區(qū)、揚(yáng)州市高郵市、安陽市內(nèi)黃縣、上饒市萬年縣、懷化市洪江市
昭通市永善縣、榆林市府谷縣、廣西河池市環(huán)江毛南族自治縣、新鄉(xiāng)市衛(wèi)輝市、懷化市溆浦縣
漢中市西鄉(xiāng)縣、湘西州鳳凰縣、隴南市康縣、濮陽市濮陽縣、臨沂市河?xùn)|區(qū)、長治市長子縣、邵陽市雙清區(qū)、泉州市石獅市
北京市通州區(qū)、中山市三鄉(xiāng)鎮(zhèn)、果洛瑪沁縣、滁州市瑯琊區(qū)、貴陽市南明區(qū)、延安市安塞區(qū)、貴陽市清鎮(zhèn)市、慶陽市慶城縣
青島市市北區(qū)、阿壩藏族羌族自治州黑水縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市化德縣、商丘市梁園區(qū)、曲靖市宣威市、迪慶德欽縣、大興安嶺地區(qū)新林區(qū)、濱州市博興縣
涼山美姑縣、廣西南寧市青秀區(qū)、長沙市芙蓉區(qū)、伊春市烏翠區(qū)、煙臺市棲霞市、麗江市華坪縣
文昌市重興鎮(zhèn)、北京市海淀區(qū)、文昌市昌灑鎮(zhèn)、襄陽市?？悼h、大連市沙河口區(qū)、中山市南區(qū)街道、長治市潞州區(qū)
云浮市云城區(qū)、楚雄雙柏縣、綏化市蘭西縣、酒泉市敦煌市、岳陽市汨羅市、佳木斯市樺南縣
眉山市洪雅縣、宿遷市泗陽縣、伊春市伊美區(qū)、寧夏銀川市靈武市、黃南尖扎縣、煙臺市萊山區(qū)
昌江黎族自治縣七叉鎮(zhèn)、婁底市雙峰縣、銅川市宜君縣、本溪市溪湖區(qū)、陽江市陽東區(qū)、濟(jì)寧市任城區(qū)、咸陽市長武縣、營口市老邊區(qū)、甘孜康定市
南昌市安義縣、阜新市彰武縣、寧德市霞浦縣、鄂州市鄂城區(qū)、渭南市臨渭區(qū)、渭南市華陰市、成都市崇州市、南陽市唐河縣
廣安市鄰水縣、黔東南雷山縣、重慶市石柱土家族自治縣、晉中市靈石縣、綿陽市平武縣、臨沂市羅莊區(qū)、駐馬店市確山縣
黃岡市浠水縣、內(nèi)蒙古赤峰市巴林左旗、韶關(guān)市湞江區(qū)、南昌市青云譜區(qū)、文昌市公坡鎮(zhèn)
武漢市漢陽區(qū)、自貢市自流井區(qū)、通化市東昌區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市庫倫旗、黃岡市黃梅縣、定西市漳縣
廣州市越秀區(qū)、內(nèi)江市隆昌市、四平市鐵西區(qū)、丹東市鳳城市、肇慶市鼎湖區(qū)
珠海市斗門區(qū)、酒泉市金塔縣、上海市松江區(qū)、許昌市建安區(qū)、東方市天安鄉(xiāng)、廣西欽州市浦北縣、牡丹江市寧安市、東莞市常平鎮(zhèn)、梅州市豐順縣
酒泉市肅州區(qū)、深圳市光明區(qū)、南通市啟東市、哈爾濱市呼蘭區(qū)、廈門市湖里區(qū)、阿壩藏族羌族自治州茂縣、內(nèi)蒙古包頭市白云鄂博礦區(qū)、樂東黎族自治縣九所鎮(zhèn)、漢中市寧強(qiáng)縣、綏化市慶安縣
懷化市麻陽苗族自治縣、黔東南臺江縣、廣西崇左市天等縣、南京市雨花臺區(qū)、葫蘆島市南票區(qū)、甘孜道孚縣、泰州市靖江市
沈陽市大東區(qū)、漯河市臨潁縣、通化市集安市、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟二連浩特市、東莞市樟木頭鎮(zhèn)、鎮(zhèn)江市京口區(qū)、滁州市南譙區(qū)
大興安嶺地區(qū)漠河市、平?jīng)鍪徐`臺縣、瓊海市嘉積鎮(zhèn)、聊城市莘縣、茂名市信宜市、池州市青陽縣、日照市東港區(qū)、廣西防城港市港口區(qū)、儋州市和慶鎮(zhèn)
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”，運(yùn)泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點(diǎn)，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜。”黃道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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