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安慶市懷寧縣、定安縣龍湖鎮(zhèn)、泰安市新泰市、黔東南天柱縣、成都市彭州市、岳陽市云溪區(qū)、佛山市順德區(qū)
臨滄市鳳慶縣、宜春市高安市、貴陽市白云區(qū)、洛陽市伊川縣、青島市城陽區(qū)、常州市天寧區(qū)、珠海市香洲區(qū)、遂寧市安居區(qū)、南京市玄武區(qū)、南京市溧水區(qū)
寧夏吳忠市青銅峽市、無錫市新吳區(qū)、邵陽市邵陽縣、濟寧市梁山縣、紅河建水縣
鹽城市響水縣、河源市和平縣、澄邁縣中興鎮(zhèn)、肇慶市廣寧縣、上饒市婺源縣、陵水黎族自治縣文羅鎮(zhèn)、東莞市橋頭鎮(zhèn)、伊春市南岔縣、寧德市霞浦縣
長治市沁縣、撫順市新賓滿族自治縣、懷化市新晃侗族自治縣、宜春市樟樹市、南充市南部縣、東莞市麻涌鎮(zhèn)、常州市新北區(qū)
安康市鎮(zhèn)坪縣、臺州市仙居縣、達州市開江縣、湘潭市湘鄉(xiāng)市、遼陽市弓長嶺區(qū)、甘孜爐霍縣、杭州市下城區(qū)、三亞市崖州區(qū)
肇慶市高要區(qū)、南昌市東湖區(qū)、汕頭市潮南區(qū)、阜陽市潁東區(qū)、隨州市曾都區(qū)、哈爾濱市巴彥縣、韶關(guān)市南雄市、開封市蘭考縣、綏化市肇東市、廣西賀州市八步區(qū)
玉溪市華寧縣、岳陽市云溪區(qū)、甘南瑪曲縣、日照市五蓮縣、定安縣雷鳴鎮(zhèn)、白沙黎族自治縣細水鄉(xiāng)、鐵嶺市昌圖縣、廣西南寧市興寧區(qū)
梅州市蕉嶺縣、東莞市鳳崗鎮(zhèn)、宣城市涇縣、永州市雙牌縣、文昌市重興鎮(zhèn)、儋州市南豐鎮(zhèn)
上饒市弋陽縣、北京市通州區(qū)、遵義市播州區(qū)、駐馬店市遂平縣、黔西南貞豐縣、周口市淮陽區(qū)、太原市迎澤區(qū)、德州市臨邑縣、鶴壁市山城區(qū)、濱州市陽信縣
安順市西秀區(qū)、臨汾市翼城縣、東莞市企石鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市磴口縣、池州市石臺縣、六盤水市六枝特區(qū)、黃石市下陸區(qū)、梅州市蕉嶺縣、哈爾濱市依蘭縣、廣西柳州市柳北區(qū)
常州市武進區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市東河區(qū)、寧夏吳忠市鹽池縣、汕尾市陸豐市、西安市碑林區(qū)、慶陽市合水縣、貴陽市清鎮(zhèn)市
運城市芮城縣、安陽市龍安區(qū)、晉中市祁縣、駐馬店市正陽縣、大連市莊河市
咸陽市長武縣、廣元市利州區(qū)、白沙黎族自治縣青松鄉(xiāng)、普洱市景谷傣族彝族自治縣、懷化市靖州苗族侗族自治縣、肇慶市高要區(qū)、黑河市五大連池市
內(nèi)蒙古錫林郭勒盟鑲黃旗、隨州市曾都區(qū)、寧波市慈溪市、貴陽市白云區(qū)、黔東南黎平縣、九江市彭澤縣、三明市建寧縣
榆林市府谷縣、上饒市弋陽縣、廣西桂林市恭城瑤族自治縣、文昌市文教鎮(zhèn)、臨夏臨夏市、儋州市白馬井鎮(zhèn)、阿壩藏族羌族自治州阿壩縣
伊春市豐林縣、邵陽市新寧縣、徐州市銅山區(qū)、白山市撫松縣、重慶市大足區(qū)、咸陽市長武縣、長治市沁源縣、許昌市長葛市、遵義市赤水市、中山市南區(qū)街道
大理祥云縣、東莞市洪梅鎮(zhèn)、鹽城市建湖縣、亳州市渦陽縣、云浮市新興縣、寧夏吳忠市紅寺堡區(qū)
惠州市惠城區(qū)、黔東南天柱縣、宿州市碭山縣、漢中市略陽縣、安陽市安陽縣、安康市白河縣、四平市鐵東區(qū)
郴州市宜章縣、黑河市五大連池市、阿壩藏族羌族自治州小金縣、寧夏中衛(wèi)市中寧縣、南昌市東湖區(qū)、延邊汪清縣
漢中市佛坪縣、焦作市武陟縣、瓊海市陽江鎮(zhèn)、廣西桂林市雁山區(qū)、益陽市桃江縣、德宏傣族景頗族自治州瑞麗市、安慶市大觀區(qū)、寧夏固原市彭陽縣、福州市閩侯縣
內(nèi)蒙古呼和浩特市新城區(qū)、信陽市商城縣、廣西桂林市雁山區(qū)、海西蒙古族天峻縣、宜春市高安市、韶關(guān)市樂昌市
六安市舒城縣、牡丹江市綏芬河市、廈門市海滄區(qū)、安慶市懷寧縣、無錫市江陰市、宜春市袁州區(qū)
漯河市郾城區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特前旗、天水市秦州區(qū)、臺州市椒江區(qū)、文昌市文教鎮(zhèn)
廣安市岳池縣、三門峽市湖濱區(qū)、六安市霍山縣、恩施州咸豐縣、達州市開江縣
南平市建陽區(qū)、天津市西青區(qū)、錦州市北鎮(zhèn)市、東莞市寮步鎮(zhèn)、晉中市祁縣、重慶市銅梁區(qū)、綿陽市梓潼縣
泰安市岱岳區(qū)、大興安嶺地區(qū)呼中區(qū)、商洛市商南縣、濮陽市清豐縣、廣西桂林市秀峰區(qū)、商丘市虞城縣、樂山市峨邊彝族自治縣
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宿遷市泗陽縣、渭南市韓城市、三沙市南沙區(qū)、武威市民勤縣、忻州市代縣、遵義市余慶縣、宿遷市泗洪縣
廣西貴港市覃塘區(qū)、衢州市衢江區(qū)、昌江黎族自治縣烏烈鎮(zhèn)、濟南市濟陽區(qū)、麗水市松陽縣、長春市農(nóng)安縣、衡陽市衡南縣、武漢市新洲區(qū)、西寧市城中區(qū)
汕尾市陸河縣、福州市福清市、普洱市思茅區(qū)、株洲市蘆淞區(qū)、阜新市太平區(qū)
內(nèi)蒙古烏蘭察布市興和縣、鶴崗市綏濱縣、運城市鹽湖區(qū)、汕尾市陸豐市、陵水黎族自治縣光坡鎮(zhèn)
海北門源回族自治縣、慶陽市鎮(zhèn)原縣、白城市洮北區(qū)、西雙版納勐?？h、定西市渭源縣
重慶市九龍坡區(qū)、天津市武清區(qū)、隴南市兩當(dāng)縣、淄博市高青縣、雞西市雞冠區(qū)
廣西梧州市長洲區(qū)、哈爾濱市南崗區(qū)、株洲市炎陵縣、溫州市文成縣、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼前旗、內(nèi)蒙古赤峰市巴林左旗、北京市房山區(qū)、寶雞市陳倉區(qū)
汕頭市濠江區(qū)、五指山市毛道、蚌埠市龍子湖區(qū)、葫蘆島市建昌縣、贛州市會昌縣、永州市藍山縣、黔西南安龍縣、常州市金壇區(qū)、東莞市企石鎮(zhèn)
麗水市縉云縣、甘南卓尼縣、文山馬關(guān)縣、瀘州市龍馬潭區(qū)、濟寧市任城區(qū)、襄陽市樊城區(qū)、德州市平原縣、白沙黎族自治縣打安鎮(zhèn)、安慶市大觀區(qū)
臨滄市云縣、定安縣黃竹鎮(zhèn)、武漢市江夏區(qū)、東莞市黃江鎮(zhèn)、涼山喜德縣、漳州市長泰區(qū)
內(nèi)蒙古通遼市奈曼旗、東莞市長安鎮(zhèn)、資陽市樂至縣、永州市冷水灘區(qū)、金華市義烏市、儋州市新州鎮(zhèn)、榆林市榆陽區(qū)
濟寧市兗州區(qū)、重慶市銅梁區(qū)、信陽市固始縣、四平市雙遼市、遵義市余慶縣、濱州市沾化區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市商都縣、陽江市江城區(qū)、東營市墾利區(qū)
揭陽市普寧市、溫州市文成縣、汕頭市南澳縣、本溪市南芬區(qū)、臨沂市河?xùn)|區(qū)
上海市黃浦區(qū)、龍巖市永定區(qū)、文昌市翁田鎮(zhèn)、廣州市天河區(qū)、儋州市那大鎮(zhèn)、上海市虹口區(qū)、聊城市東阿縣、中山市小欖鎮(zhèn)、連云港市東?？h
臨沂市蘭山區(qū)、榆林市吳堡縣、資陽市樂至縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特前旗、蕪湖市鏡湖區(qū)、哈爾濱市賓縣
鄭州市新鄭市、周口市商水縣、佳木斯市樺南縣、上饒市廣信區(qū)、漯河市郾城區(qū)
儋州市蘭洋鎮(zhèn)、宣城市涇縣、十堰市鄖西縣、長治市屯留區(qū)、六安市舒城縣
鄭州市金水區(qū)、永州市冷水灘區(qū)、廣西柳州市融水苗族自治縣、廣西百色市隆林各族自治縣、牡丹江市林口縣、丹東市寬甸滿族自治縣、渭南市臨渭區(qū)、淮安市金湖縣、昆明市西山區(qū)、白山市江源區(qū)
吉安市峽江縣、黔東南臺江縣、宿遷市泗洪縣、樂東黎族自治縣黃流鎮(zhèn)、汕頭市龍湖區(qū)、駐馬店市驛城區(qū)、樂山市夾江縣
鐵嶺市調(diào)兵山市、臨高縣東英鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古赤峰市松山區(qū)、綏化市蘭西縣、阜新市新邱區(qū)、海西蒙古族茫崖市、淄博市高青縣、涼山昭覺縣、白沙黎族自治縣青松鄉(xiāng)、懷化市中方縣
惠州市惠東縣、宜春市袁州區(qū)、綏化市蘭西縣、金華市磐安縣、玉樹曲麻萊縣、黃南同仁市、金華市金東區(qū)、五指山市水滿
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計業(yè)“一業(yè)獨大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗證，并進入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機、光刻機和刻蝕機是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機的多次刻蝕來實現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實現(xiàn)突破。
一個標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達國際先進水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”，運泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線，填補了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟、人工智能、人形機器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠告訴界面新聞，機器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜?！秉S道遠表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進行開發(fā)。
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