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畢節(jié)市赫章縣、撫順市新賓滿族自治縣、重慶市秀山縣、信陽(yáng)市固始縣、長(zhǎng)治市潞城區(qū)、益陽(yáng)市安化縣
西雙版納勐?？h、內(nèi)蒙古赤峰市寧城縣、天津市東麗區(qū)、牡丹江市綏芬河市、內(nèi)蒙古包頭市土默特右旗
洛陽(yáng)市汝陽(yáng)縣、綿陽(yáng)市平武縣、廣西南寧市橫州市、孝感市云夢(mèng)縣、潮州市潮安區(qū)
?？谑协偵絽^(qū)、樂(lè)山市犍為縣、阜新市細(xì)河區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市準(zhǔn)格爾旗、銅川市印臺(tái)區(qū)、荊門(mén)市京山市
漳州市龍文區(qū)、廣西桂林市疊彩區(qū)、襄陽(yáng)市?？悼h、金華市武義縣、三沙市西沙區(qū)、中山市板芙鎮(zhèn)、陽(yáng)江市陽(yáng)春市
內(nèi)江市隆昌市、寧夏固原市彭陽(yáng)縣、雅安市名山區(qū)、樂(lè)山市井研縣、三亞市天涯區(qū)、綏化市肇東市
黔西南普安縣、南昌市新建區(qū)、昭通市威信縣、沈陽(yáng)市鐵西區(qū)、寧夏石嘴山市惠農(nóng)區(qū)、張家界市永定區(qū)、重慶市大足區(qū)
荊州市荊州區(qū)、溫州市永嘉縣、咸陽(yáng)市乾縣、廣西桂林市平樂(lè)縣、廣西崇左市大新縣、贛州市全南縣、雅安市漢源縣、蘇州市昆山市、咸陽(yáng)市長(zhǎng)武縣
黃石市鐵山區(qū)、焦作市孟州市、甘南碌曲縣、鶴崗市興安區(qū)、重慶市梁平區(qū)、滁州市來(lái)安縣、大興安嶺地區(qū)呼中區(qū)、甘南合作市
沈陽(yáng)市大東區(qū)、漯河市臨潁縣、通化市集安市、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟二連浩特市、東莞市樟木頭鎮(zhèn)、鎮(zhèn)江市京口區(qū)、滁州市南譙區(qū)
黃岡市黃梅縣、安慶市岳西縣、蘇州市姑蘇區(qū)、株洲市醴陵市、咸陽(yáng)市興平市、岳陽(yáng)市湘陰縣、樂(lè)東黎族自治縣九所鎮(zhèn)、貴陽(yáng)市白云區(qū)
大理劍川縣、齊齊哈爾市依安縣、廣西桂林市興安縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市玉泉區(qū)、長(zhǎng)春市農(nóng)安縣、本溪市明山區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市霍林郭勒市、葫蘆島市龍港區(qū)、福州市閩清縣、成都市雙流區(qū)
白銀市平川區(qū)、雅安市雨城區(qū)、重慶市榮昌區(qū)、白山市江源區(qū)、文山文山市、鷹潭市貴溪市、玉溪市華寧縣、綏化市望奎縣、綿陽(yáng)市梓潼縣、綏化市海倫市
六盤(pán)水市鐘山區(qū)、長(zhǎng)春市二道區(qū)、廣西玉林市陸川縣、昌江黎族自治縣七叉鎮(zhèn)、定西市渭源縣、重慶市開(kāi)州區(qū)
武漢市江夏區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟正鑲白旗、東莞市中堂鎮(zhèn)、玉溪市華寧縣、清遠(yuǎn)市清城區(qū)、南陽(yáng)市鎮(zhèn)平縣、運(yùn)城市鹽湖區(qū)
廣西河池市巴馬瑤族自治縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市涼城縣、溫州市永嘉縣、安順市普定縣、湛江市霞山區(qū)、駐馬店市上蔡縣、六安市舒城縣、成都市雙流區(qū)、內(nèi)蒙古阿拉善盟額濟(jì)納旗、三明市寧化縣
廣安市廣安區(qū)、臨高縣南寶鎮(zhèn)、大慶市肇州縣、大連市莊河市、白沙黎族自治縣金波鄉(xiāng)、曲靖市富源縣、漢中市城固縣、蕪湖市無(wú)為市
白山市渾江區(qū)、文山麻栗坡縣、蕪湖市南陵縣、成都市錦江區(qū)、襄陽(yáng)市襄州區(qū)
內(nèi)蒙古通遼市科爾沁左翼后旗、南通市崇川區(qū)、常德市安鄉(xiāng)縣、廣西南寧市興寧區(qū)、天津市東麗區(qū)、郴州市蘇仙區(qū)
濰坊市臨朐縣、北京市海淀區(qū)、雙鴨山市四方臺(tái)區(qū)、綏化市蘭西縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市牙克石市、清遠(yuǎn)市清城區(qū)
臨汾市侯馬市、蚌埠市禹會(huì)區(qū)、荊州市監(jiān)利市、蘇州市吳中區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市商都縣
龍巖市武平縣、紅河金平苗族瑤族傣族自治縣、上饒市鄱陽(yáng)縣、廣西桂林市永福縣、廣西南寧市邕寧區(qū)、懷化市芷江侗族自治縣、南平市順昌縣、牡丹江市林口縣
南京市秦淮區(qū)、延安市甘泉縣、白城市洮南市、延邊汪清縣、鹽城市大豐區(qū)、西安市藍(lán)田縣、東方市大田鎮(zhèn)、昆明市安寧市、盤(pán)錦市盤(pán)山縣、上海市靜安區(qū)
廣西玉林市博白縣、東方市板橋鎮(zhèn)、遵義市仁懷市、麗水市蓮都區(qū)、郴州市嘉禾縣
臨汾市古縣、白銀市會(huì)寧縣、定安縣龍門(mén)鎮(zhèn)、九江市共青城市、重慶市綦江區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟扎賚特旗
臨高縣臨城鎮(zhèn)、漳州市南靖縣、淮南市潘集區(qū)、廣西桂林市永?？h、廣安市廣安區(qū)
大理鶴慶縣、攀枝花市米易縣、廣元市蒼溪縣、寧夏中衛(wèi)市海原縣、瓊海市潭門(mén)鎮(zhèn)、廣西百色市凌云縣、重慶市彭水苗族土家族自治縣、渭南市澄城縣、潮州市饒平縣
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榆林市米脂縣、文昌市文城鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼中旗、東莞市寮步鎮(zhèn)、煙臺(tái)市龍口市、黃南同仁市、三門(mén)峽市湖濱區(qū)、甘南夏河縣、南充市順慶區(qū)、樂(lè)山市五通橋區(qū)
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遵義市湄潭縣、臨汾市汾西縣、威海市文登區(qū)、安陽(yáng)市滑縣、天津市寧河區(qū)、德州市平原縣、遵義市匯川區(qū)
撫順市清原滿族自治縣、廣西來(lái)賓市武宣縣、廣西南寧市興寧區(qū)、徐州市賈汪區(qū)、西安市灞橋區(qū)、鹽城市阜寧縣、瓊海市長(zhǎng)坡鎮(zhèn)
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開(kāi)發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開(kāi)展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷(xiāo)售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專(zhuān)注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷(xiāo)售收入4.64億元、封測(cè)銷(xiāo)售收入1.48億元、材料銷(xiāo)售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷(xiāo)售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開(kāi)源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車(chē)廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門(mén)檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車(chē)用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車(chē)用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開(kāi)發(fā)。
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